半導体製造装置の計測とモニタリング

高精度かつ安定した計測器が、半導体装置を取り巻くミクロ環境の厳密な制御を可能にします。

ヴァイサラは、相対湿度と気圧計測用のコンパクトなOEMモジュールを提供しています。

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