Produzione di semiconduttori
I chip in silicio di alta qualità vengono realizzati utilizzando macchinari, processi e conoscenze sofisticati. Dietro processi efficienti vi sono strumenti di monitoraggio e misurazione altamente performanti.
Ogni chip di silicio deve funzionare come previsto e, al momento della sua creazione, è necessario utilizzare la giusta quantità di materiale, energia e altre risorse.
Garantire il successo con misurazioni di qualità
Da bagnato ad asciutto e ritorno
Dalla produzione di wafer di semiconduttori alla fabbricazione di componenti microelettronici fino al confezionamento di semiconduttori, dota le tue fasi di lavorazione critiche di misurazioni affidabili e sicure per una qualità stabile, un'elevata resa, prevedibilità ed efficienza dei costi.
La nostra offerta comprende strumenti per la misurazione di umidità, punto di rugiada, temperatura, pressione e concentrazioni di sostanze chimiche umide. Ogni prodotto produce dati precisi sull'ambiente di produzione e garantisce una precisione superiore, stabilità a lungo termine e tempi di risposta rapidi per l'ottimizzazione dei processi, una maggiore resa, sicurezza e chip dalle prestazioni più elevate.
Per questi motivi, Vaisala è il partner di misurazione preferito dai produttori di semiconduttori e dalle fonderie MEMS, dai produttori di apparecchiature per semiconduttori e OEM, dagli operatori di fabbrica e dai fornitori di materiali.
Dal front-end al back-end, fino al cliente: ci pensiamo noi.
PERCHÉ VAISALA
Progettato per la produzione di semiconduttori
L'offerta completa di Vaisala, dotata dei parametri giusti, garantisce misurazioni stabili nella produzione di semiconduttori.
Precisione di misurazione progettata nel prodotto
Seleziona prodotti circondati da un ecosistema di supporto, con costi di proprietà ottimizzati e costi del ciclo di vita minimi.
Evita i rischi: seleziona prodotti affidabili per applicazioni dal bagnato all'asciutto
I prodotti Vaisala coprono l'intera gamma di misurazione e tutto ciò di cui hai bisogno, dal bagnato all'asciutto, compresi i prodotti per applicazioni specifiche.
Prodotti su misura - Engineer to Order
Sapevi che i nostri prodotti possono essere personalizzati per un'applicazione o una posizione di installazione specifica?
Niente ci dà più gioia che risolvere insieme difficili problemi di misurazione. Contattaci. Siamo qui per aiutarti.
Noi camminiamo secondo le nostre regole
Vaisala produce chip per sensori per i prodotti Vaisala e per l'uso in ambito di ricerca e sviluppo nella nostra camera bianca interna. Sappiamo cosa serve per produrre una qualità di livello mondiale.
Inoltre, Vaisala si impegna a supportare i propri prodotti durante l'intero ciclo di vita; i nostri servizi e il nostro supporto specialistico sono disponibili vicino a te, ovunque tu sia.
Applicazioni nella produzione di semiconduttori
Misurazioni ambientali in camera bianca, impianto di riscaldamento, ventilazione e condizionamento dell'aria
Controllo dell'umidità tramite sistema di aria condizionata, impianto di riscaldamento, ventilazione e condizionamento dell'aria
Anche i livelli di umidità possono influire sul processo di produzione dei semiconduttori. Un'umidità eccessiva può causare condensa su apparecchiature sensibili, causando potenzialmente difetti nei dispositivi semiconduttori. I sistemi di condizionamento di precisione aiutano a controllare i livelli di umidità e fungono da strumento preventivo.
Monitoraggio efficiente dell'intera camera per ottimizzare il processo
Collocando le sonde in posizione strategica a intervalli appropriati, è possibile monitorare in modo efficiente la dry room o la camera bianca, assicurando un controllo completo di tutto l'ambiente, indipendentemente dalle dimensioni.
La sonda DMP1 è la scelta ottimale per garantire l'affidabilità dei processi e i livelli di essiccazione corretti negli ambienti di produzione di batterie e semiconduttori con Indigo300.
Pulizia del wafer con l'ausilio di prodotti durevoli
La pulizia del wafer è un processo fondamentale nella produzione di semiconduttori, volto a rimuovere contaminanti, particelle e residui dalla superficie dei wafer di silicio. Questo processo garantisce l'affidabilità e la funzionalità dei circuiti integrati (CI) e di altri dispositivi semiconduttori.
Durata extra
I detergenti possono contenere acidi, vari solventi e acqua; potrebbero essere presenti residui che richiedono una maggiore resistenza delle sonde di misurazione.
Vaisala offre sonde resistenti alla corrosione anche senza parti metalliche a contatto con il fluido, appositamente studiate per il processo di pulizia dei wafer, in grado di tollerare sia un'elevata umidità sia sostanze chimiche aggressive.
Dopo la pulizia è importante assicurarsi che i trucioli siano asciutti per evitare contaminazioni e l'adesione delle particelle.
Fotoripetitore dei wafer in fotolitografia
La lavorazione dei wafer nella fotolitografia è un'altra fase di lavorazione fondamentale nella produzione di circuiti integrati (CI) e altri dispositivi semiconduttori. In questa fase, un modello luminoso viene proiettato su un wafer di silicio rivestito con materiale fotosensibile (fotoresistente), incidendo così sul wafer il modello desiderato. Di conseguenza, alcune aree di fotolitografia possono avere tolleranze di umidità pari a ±1%.
Controllo della temperatura per zero variazioni nei modelli di wafer
Le sonde di misurazione della qualità nei fotoripetitori garantiscono misurazioni stabili della temperatura e proteggono i wafer dalle variazioni nelle dimensioni dei modelli indotte dalle fluttuazioni di temperatura. Dimensioni errate sui modelli di wafer influiscono negativamente sulla qualità complessiva e sulle prestazioni dei dispositivi semiconduttori.
Controllo dell'umidità per la stabilità dell'ottica
Il fotoripetitore dei wafer si affida a ottiche precise per proiettare e trasferire i modelli sul wafer. Eventuali variazioni di temperatura o di altre condizioni ambientali possono influire sulla stabilità e sulla precisione di queste ottiche.
Controllo della pressione barometrica per una litografia accurata e stabilità del processo
La misurazione della pressione barometrica è essenziale per la precisione ottica e l'accuratezza del processo litografico, poiché la pressione barometrica influenza direttamente l'indice di rifrazione dell'aria, che a sua volta influenza l'ottica del fotoripetitore dei wafer e la lunghezza d'onda della luce litografica.
Controllo della messa a fuoco e della profondità
Evita immagini sfocate misurando e controllando la pressione barometrica con strumenti di misurazione rapidi e precisi.
Mantenere la macchina di misura dei chip libera dal ghiaccio con il controllo dell'umidità
Le macchine di misura dei wafer identificano i wafer difettosi testando i chip. I test vengono eseguiti a basse temperature, fino a -40 gradi Celsius (-40 gradi Fahrenheit), per garantire che il chip funzioni a temperature estreme, ad esempio se in seguito dovesse essere utilizzato in un veicolo.
L'ambiente di prova deve essere mantenuto asciutto, con una temperatura del punto di rugiada inferiore a -40, in modo che non si formi ghiaccio sul chip, che in seguito, una volta portato a temperatura ambiente, si trasformerebbe in acqua e accumulerebbe impurità sul chip.
Vaisala offre sonde precise per il punto di rugiada per le macchine di misura dei chip.
Mantieni ultra puri i gas ultra puri
Proteggere i costosi gas di processo dalla contaminazione causata dall'umidità. La qualità del gas influisce notevolmente sulla qualità del chip, poiché anche tracce di impurità possono causare difetti o guasti. L'umidità può reagire con determinati materiali o provocare difetti durante processi come l'ossidazione.
Una sonda a reazione rapida rileverà rapidamente l'umidità e avviserà quando verrà raggiunto il limite impostato.
Pressione differenziale sicura in una camera bianca
Grazie alle nostre sonde sensibili, puoi mantenere facilmente la pressione differenziale della camera bianca secondo gli standard ISO 14644. Con il sistema modulare Indigo di Vaisala, puoi collegare le sonde di misurazione della pressione differenziale e dell'umidità allo stesso trasmettitore Indigo.
Scopri le nostre sonde di pressione differenziale PDT101 e PDT102.
Ottimizza e misura la concentrazione delle sostanze chimiche umide in tempo reale
Gli impianti per la produzione di wafer semiconduttori consumano tonnellate di sostanze chimiche durante l'intero processo produttivo. Garantisci l'affidabilità di ogni prodotto chimico ed evita deviazioni dalle specifiche che possono causare costose contaminazioni delle apparecchiature e scarti di wafer.
Contenuti di esperti e casi dei clienti
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Rifrattometro per semiconduttori Vaisala K-PATENTS® PR-33-S
Contatti
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Tecnologie a confronto
Valuta la sonda del punto di rugiada di Vaisala rispetto agli spettrometri CRDS (Cavity Ring-Down Spectrometer)
e ai trasmettitori a specchio refrigerati negli ambienti operativi più complessi come
la produzione di batterie ricaricabili e semiconduttori.
| Sonda del punto di rugiada di Vaisala | CRDS | Trasmettitore a specchio raffreddato | |
| Campo di misura Td * | -80°C - +20°C | -100 °C - -50 °C | -70 °C - +20 °C |
| Misurazione in situ | Sì | No, richiede campionamento e un'ampia differenza di pressione | No, richiede campionamento |
| Precisione Td in condizioni di laboratorio* | +/-2 °C | +/-0,2 °C | +/-0,2 °C |
| Campo di pressione* | 1…50 bar | 1…5 bar | Solo ~ 1 bar |
| Dipendenza dalle condizioni atmosferiche | Non dipendente | Dipendente. Sono necessarie condizioni atmosferiche stabili. Il campionamento potrebbe generare errori in ambienti non di laboratorio . | Dipendente. Il punto di rugiada minimo aumenta se aumenta la temperatura ambiente. Il campionamento potrebbe generare errori in ambienti non di laboratorio. |
| Tempo di risposta* | Minuti | Decine di minuti | Ore |
| Sensibilità | In alto | Bassa (non è in grado di rilevare i cambiamenti repentini, misurazione media) | Bassa (non è in grado di rilevare i cambiamenti repentini, misurazione media) |
| Dimensione | Piccolo e leggero. Si adatta facilmente a diverse posizioni | Dimensioni medie, circa 10 kg | Da grande e pesante a dimensioni medie |
| L'operatore deve fornire assistenza regolare | Non richiesto | Non richiesto | Obbligatorio |
| Componenti che richiedono servizio | Non richiesto | Non richiesto, se in ambiente pulito | Richiesto (ad esempio Peltier) |
| Calibrazione locale/ supporto disponibile | Sì | Improbabile | Improbabile |
| Dipendenza dai gas di fondo | Minore | Potenzialmente forte | Potenzialmente cruciale |
Valori tipici nella produzione di batterie e semiconduttori
