Soluzioni per processi di produzione di semiconduttori, nonché per monitoraggio e controllo degli impianti

La produzione di wafer semiconduttori e di dispositivi microelettronici è un processo impegnativo con margine di errore ridotto. L'industria dipende da strumenti di monitoraggio e misura ad alte prestazioni per composizioni chimiche e condizioni atmosferiche precise. Offriamo rifrattometri di processo per semiconduttori per il monitoraggio della concentrazione in linea nell'erogazione di sostanze chimiche alla rinfusa e sospensioni, nonché in processi di miscelazione, spiking e lucidatura al punto di utilizzo; forniamo anche strumenti per misurare l'umidità, il punto di rugiada, la temperatura e la pressione all'interno e in prossimità di strumenti e impianti di produzione di semiconduttori.  

Wafer semiconduttori

Chimica umida in tempo reale

Gli impianti per la produzione di wafer semiconduttori consumano tonnellate di sostanze chimiche durante l'intero processo produttivo. L'affidabilità di ogni soluzione chimica è la massima preoccupazione degli impianti di produzione, poiché anche la minima deviazione dalle specifiche può causare costose contaminazioni delle apparecchiature e scarti nella produzione di wafer. 

Fotolitografia

Qualità dei wafer in fotolitografia

La qualità del modello di circuito integrato nella produzione di semiconduttori dipende dalle condizioni del passo-passo. Migliora la precisione del condizionamento dell'aria e la capacità del processo passo-passo dei wafer con un'accurata misura della pressione dell'aria, della temperatura e dell'umidità.

Linea di alimentazione N2

Aria compressa e linee di processo N2

Se si utilizzano linee di processo ad aria compressa o azoto, la misura del punto di rugiada aiuta a risparmiare risorse evitando l'eccessiva essiccazione dell'aria e la corrosione dell'apparecchiatura. La tecnologia DRYCAP di Vaisala consente tempi di risposta rapidi con precisione e bassa necessità di manutenzione.

Controllo dell'impianto

Controllo dell'impianto

Una ventilazione insufficiente riduce non solo il benessere dei dipendenti, ma anche la produttività in modo sostanziale, ben del 18%. Grazie a misure accurate di umidità, CO2 e temperatura con sensori HVAC affidabili, durevoli e tracciabili, è possibile ottenere contemporaneamente sia l'efficienza energetica sia il benessere dei dipendenti.

Perché Vaisala?

Vaisala è un profondo conoscitore dell'industria dei semiconduttori e un partner di fiducia per i nostri clienti. Conosciamo a fondo le aziende, pertanto progettiamo e realizziamo prodotti per diversi processi critici dei semiconduttori, dalle sostanze chimiche e dal monitoraggio della qualità del processo al monitoraggio dell'aria ambiente. La nostra conoscenza dei processi si completa con la nostra camera bianca interna e con la produzione di microchip di alta qualità per i prodotti Vaisala e per scopi di ricerca e sviluppo. Vaisala si impegna a sostenere i prodotti durante l'intero ciclo di vita e offriamo localmente vicino a te servizi e assistenza di qualità superiore.