Soluzioni per processi di produzione di semiconduttori, nonché per monitoraggio e controllo degli impianti Contatti La produzione di wafer semiconduttori e di dispositivi microelettronici è un processo impegnativo con margine di errore ridotto. L'industria dipende da strumenti di monitoraggio e misura ad alte prestazioni per composizioni chimiche e condizioni atmosferiche precise. Applicazioni Chimica umida in tempo reale Gli impianti per la produzione di wafer semiconduttori consumano tonnellate di sostanze chimiche durante l'intero processo produttivo. L'affidabilità di ciascuna soluzione chimica è la principale preoccupazione degli impianti di produzione, poiché anche la minima deviazione dalle specifiche può causare costose contaminazioni delle apparecchiature e scarti nella produzione di wafer. ULTERIORI INFORMAZIONI SU MONITORAGGIO DEI PROCESSI CHIMICI DEGLI IMPIANTI DI … Qualità dei wafer in fotolitografia La qualità del modello di circuito integrato nella produzione di semiconduttori dipende dalle condizioni del passo-passo. Migliora la precisione del condizionamento dell'aria e la capacità del processo passo-passo dei wafer con un'accurata misura della pressione dell'aria, della temperatura e dell'umidità. TROVA I PRODOTTI CORRELATI (PDF) Aria compressa e linee di processo N2 Se si utilizzano linee di processo ad aria compressa o azoto, la misura del punto di rugiada aiuta a risparmiare risorse evitando l'eccessiva essiccazione dell'aria e la corrosione dell'apparecchiatura. La tecnologia DRYCAP di Vaisala consente tempi di risposta rapidi con precisione e bassa necessità di manutenzione. TROVA I PRODOTTI CORRELATI Controllo dell'impianto Una ventilazione insufficiente riduce non solo il benessere dei dipendenti, ma anche la produttività in modo sostanziale, ben del 18%. Grazie a misure accurate di umidità, CO2 e temperatura con sensori HVAC affidabili, durevoli e tracciabili, è possibile ottenere contemporaneamente sia l'efficienza energetica sia il benessere dei dipendenti. TROVA I PRODOTTI CORRELATI Perché Vaisala? Vaisala è un profondo conoscitore dell'industria dei semiconduttori e un partner di fiducia per i nostri clienti. Conosciamo a fondo le aziende, pertanto progettiamo e realizziamo prodotti per diversi processi critici dei semiconduttori, dalle sostanze chimiche e dal monitoraggio della qualità del processo al monitoraggio dell'aria ambiente. La nostra conoscenza dei processi si completa con la nostra camera bianca interna e con la produzione di microchip di alta qualità per i prodotti Vaisala e per scopi di ricerca e sviluppo. Vaisala si impegna a sostenere i prodotti durante l'intero ciclo di vita e offriamo localmente vicino a te servizi e assistenza di qualità superiore. Contatti Maggiori informazioni Customer case Why Vaisala is a preferred vendor for many semiconductor fabrication plants for qualifying H2O2 concentration in CMP of tungsten RI measurement is a simple, cost-effective, and accurate technique that provides real-time information on slurry composition, making a refractometer the metrology instrument of choice for many fabrication plants. Learn more Blog I semiconduttori necessitano di macchinari di qualità e delle migliori apparecchiature di monitoraggio In questo blog esaminiamo la gamma di sensori di umidità e pressione di Vaisala che assicurano misurazioni accurate per i produttori delle macchine utilizzate per la produzione di semiconduttori. Scopri di più Blog L'acqua è uno dei contaminanti più significativi nella produzione di semiconduttori: come misurare accuratamente l'umidità e la temperatura Per evitare problemi di qualità e resa del prodotto, i livelli di umidità e temperatura devono essere monitorati con estrema attenzione nella produzione di semiconduttori. Scopri di più Webinar Optimize Wafer Quality and Yield with Real-time Data During the CMP Process Register for this webinar to learn why Vaisala process refractometers have been installed by hundreds of semiconductor manufacturers worldwide. We’ll review the technology behind our measurement solutions and share common applications before sharing sample use cases from fabricators. Register to watch Webinar Ensure your yield in semiconductor and battery manufacturing Join this webinar and learn about different techniques for best measurement accuracy and quality, practical solutions for maintaining optimal manufacturing conditions in cleanroom and dry room conditions, and how to choose the right product for your application. Register to watch
