用于半导体工艺、设施监测和控制的解决方案

半导体晶圆和微电子制造是一个要求很高、几乎不容出错的工艺过程。该行业高度依赖于高性能监测仪器,以准确测量化学品成分和空气条件。我们提供半导体行业用在西安折光仪,用于在线监测以下工艺点化学品溶液浓度:散装化学品和浆料配送、使用点混合、补液和抛光处理;我们还提供用于半导体设备设施内部和周围的湿度、露点、温度和压力测量仪表。

半导体 - 晶圆

湿化学品实时测量

半导体晶圆厂在整个制造工艺过程中要消耗数以吨计的化学品。每种化学溶液的可靠性是工厂最关心的问题,即使最轻微的规格偏离也会导致昂贵的设备污染和晶圆报废。

氮气气体管线

压缩空气和氮气工艺管线

如果您正在使用压缩空气或氮气工艺管线,露点测量将帮助您节约资源,因为它可以避免过度的空气干燥和设备腐蚀。维萨拉的 DRYCAP 技术具有以下优势:快速响应、准确测量和维护工作量少。

设施控制

设施控制

通风不充分不仅影响员工安康,还大大降低工作效率(降幅高达 18%)。通过使用可靠耐用、可追溯的 HVAC 传感器准确测量湿度、二氧化碳 (CO2) 和温度,既能实现高能效,也能确保员工安康。

什么选择维萨拉?

维萨拉是半导体行业的资深专家和客户可信任的合作伙伴。我们通过设计和制造针对不同关键半导体工艺的产品(从化学品和工艺质量监测到环境空气监测),对这个行业有着深刻的了解。我们对工艺的了解来自我们自己的洁净室,为维萨拉产品和研发制造高质量微芯片。。维萨拉承诺在产品的整个生命周期提供支持,并且就近为您提供优质的服务和支持。