用于半导体工艺、设施监测和控制的解决方案

半导体晶圆和微电子制造是一个要求很高、几乎不容出错的工艺过程。该行业高度依赖于高性能监测仪器,以准确测量化学品成分和环境条件。我们提供半导体行业折光仪,用于在线监测以下工艺点化学品溶液浓度:散装化学品和浆料配送、现场混合、补液和抛光处理;我们还提供相关仪器,用于测量半导体工具和设施内部及周围的湿度、露点、温度和气压。 

光刻

光刻中的晶圆质量

半导体制造中的集成电路质量取决于光刻机的状况。准确的气压、温度和湿度测量能增强对环境的精准调节,也有助于提高晶圆光刻机的加工能力。

氮气气体管线

压缩空气和氮气工艺管线

如果您目前使用的是压缩空气或氮气工艺管线,露点测量在避免设备腐蚀的情况下又可以避免空气过度干燥,帮助您节约资源。维萨拉的 DRYCAP 技术实现了快速响应、准确测量,并且维护工作量很小。

设施控制

设施控制

通风不足不仅会影响员工健康,还会大大降低工作效率(降幅高达 18%)。使用可靠耐用、可追溯的暖通空调传感器准确测量湿度、CO2 和温度,既能提高能源效率,也能确保员工健康。

什么选择维萨拉?

维萨拉是半导体行业的资深专家,也是客户值得信赖的合作伙伴。由于对半导体行业有着深刻且透彻的了解,从化学品和工艺质量监测,到环境空气监测,我们设计和制造了针对不同半导体关键工艺制程的产品。通过打造自己的内部洁净室,以及制造高品质的微芯片来用于维萨拉产品和实现研发目标,我们形成了自己的工艺理解。维萨拉承诺在产品的整个生命周期提供支持,并且就近为您提供优质的服务和支持。