Fabrication de semi-conducteurs
Les puces de silicium de qualité supérieure sont fabriquées à l'aide de machines, de processus et de connaissances sophistiqués. Et derrière les processus réussis se cachent des instruments de surveillance et de mesure performants.
Chaque puce de silicium mérite de fonctionner comme prévu, et lorsqu'elle est créée, en utilisant juste la bonne quantité de matériaux, d'énergie et d'autres ressources.
Garantir le succès avec des mesures de qualité
De l'humide au sec et vice versa
Qu'il s'agisse de la fabrication de plaquettes de semi-conducteurs, de la fabrication de produits microélectroniques ou de l'emballage de semi-conducteurs, équipez vos étapes de traitement critiques de mesures fiables pour une qualité stable, un rendement élevé, une prévisibilité et une rentabilité.
Notre offre comprend des instruments mesurant l'humidité, le point de rosée, la température, la pression et les concentrations de produits chimiques humides. Chaque produit génère des données précises sur l'environnement de fabrication et offre une précision supérieure, une stabilité à long terme et un temps de réponse rapide pour l'optimisation des processus, l'augmentation du rendement, la sécurité et les meilleures performances des puces.
C'est pour ces raisons que Vaisala est le partenaire de mesure privilégié des fabricants de semi-conducteurs et des fonderies de MEMS, des fabricants d'équipements de semi-conducteurs et des OEM, des opérateurs de fabriques et des fournisseurs de matériaux.
Du front-end au back-end et jusqu'au client, nous sommes là pour vous.
POURQUOI VAISALA
Conception spécifique pour la fabrication de semi-conducteurs
L'offre complète de Vaisala, avec les paramètres adéquats, permet d'obtenir des mesures stables dans la fabrication des semi-conducteurs.
Exactitude de mesure intégrée dans le produit
Sélectionnez des produits entourés d'un écosystème de support, avec un coût de possession optimisé et des coûts de cycle de vie minimes.
Évitez les risques – choisissez des produits fiables, humides ou secs
Les produits de Vaisala couvrent toute la gamme de mesures et tout ce dont vous avez besoin, de l'humide au sec, y compris des produits pour des applications spécifiques.
Produits sur mesure – Ingénieur sur commande
Saviez-vous que nos produits peuvent être personnalisés pour une application ou une position d'installation spécifique ?
Rien ne nous fait plus plaisir que de résoudre des problèmes de mesure difficiles, avec vous. Contactez-nous ! Nous sommes ici pour aider.
Nous faisons le chemin avec vous
Vaisala produit des puces de capteur pour les produits Vaisala et pour la recherche et le développement dans notre propre salle blanche. Nous savons ce qu'il faut pour produire une qualité de classe mondiale.
En outre, Vaisala s'engage à offrir un support pour ses produits tout au long de leur cycle de vie, et nos services d'experts et d'assistance sont situés près de chez vous, où que vous soyez.
Applications de fabrication de semi-conducteurs
Mesures environnementales en salle blanche, CVC
Contrôle de l'humidité par système de climatisation, CVC
Les taux d'humidité peuvent également avoir un impact sur le processus de fabrication des semi-conducteurs. Une humidité excessive peut entraîner de la condensation sur les équipements sensibles, provoquant potentiellement des défauts dans les dispositifs semi-conducteurs. Les systèmes de climatisation de précision aident à contrôler les niveaux d'humidité et agissent comme un outil préventif.
Surveillance efficace de toute la pièce pour une efficacité maximale du processus
En plaçant les sondes à des points stratégiques et à des intervalles appropriés, la salle sèche ou la salle blanche peut être surveillée efficacement, pour un contrôle environnemental exact et étendu à l'ensemble de votre pièce, quelle que soit sa taille.
Le DMP1 est optimal pour maintenir la fiabilité du processus et les niveaux de sécheresse corrects, en liaison avec Indigo300 pour la fabrication de batteries et de semi-conducteurs.
Nettoyage du wafer à l'aide de produits durables
Le nettoyage du wafer est un processus essentiel dans la fabrication des semi-conducteurs pour éliminer les contaminants, les particules et les résidus de la surface des wafers de silicium. Ce processus garantit la fiabilité et la fonctionnalité des circuits intégrés (CI) et autres dispositifs semi-conducteurs.
Durabilité supplémentaire
Les agents de nettoyage peuvent comprendre des acides, divers solvants et de l'eau, et ces résidus peuvent être présents, ce qui exige une durabilité accrue des sondes de mesure.
Vaisala propose des sondes résistantes à la corrosion, également sans pièces métalliques en contact avec le liquide, spécialement conçues pour le processus de nettoyage des plaquettes, tolérant à la fois une humidité élevée et des produits chimiques agressifs.
Il est important de veiller à ce que les copeaux soient secs après le nettoyage afin d'éviter la contamination et l'adhérence de particules.
Stepper de wafers en photolithographie
Le stepper de wafer en photolithographie est un autre élément de traitement critique dans la production de circuits intégrés (CI) et d'autres dispositifs à semi-conducteurs. Au cours de cette étape, un motif lumineux est projeté sur une plaquette de silicium recouverte d'un matériau photosensible (résine photosensible), ce qui permet de graver le motif souhaité sur la plaquette. Par conséquent, certaines zones de photolithographie peuvent avoir des tolérances d'humidité de seulement ±1 %.
Contrôle de la température pour des variations nulles dans les motifs des plaquettes
Les sondes de mesure de la qualité dans les steppers offrent des mesures de température stables et protègent les wafers contre les variations de dimensions des motifs induites par les fluctuations de température. Des dimensions incorrectes sur les modèles de plaquettes affectent négativement la qualité globale et les performances des dispositifs semi-conducteurs.
Contrôle de l'humidité pour la stabilité optique
Le stepper s'appuie sur une optique précise pour projeter et transférer des motifs sur le wafer. Toute variation de température ou d'autres conditions environnementales peut affecter la stabilité et la précision de ces optiques.
Contrôle de la pression barométrique pour une lithographie précise et la stabilité du processus
La mesure de la pression barométrique est indispensable à la précision optique et à l'exactitude du processus de lithographie, car la pression barométrique influence directement l'indice de réfraction de l'air, qui à son tour influe sur l'optique du stepper de la plaquette et sur la longueur d'onde de la lumière de lithographie.
Contrôle de la mise au point et de la profondeur
Évitez les images défocalisées en mesurant et en contrôlant la pression barométrique à l'aide d'instruments de mesure rapides et précis.
Maintenir la machine de traitement des copeaux exempte de glace grâce au contrôle de l'humidité
Les machines de sondage de wafers identifient les plaquettes défectueuses en testant les puces. Les tests sont effectués à des températures froides, jusqu'à -40 °C, afin de s'assurer que la puce fonctionne à des températures extrêmes, par exemple si elle est destinée à être utilisée ultérieurement dans un véhicule.
L'environnement d'essai doit rester sec, avec une température du point de rosée inférieure à -40, afin d'éviter tout dépôt de glace sur la puce qui, une fois ramenée à température ambiante, se transformerait en eau et accumulerait des impuretés sur la puce.
Vaisala propose des sondes de point de rosée précises pour les machines de sondage de puces.
Gardez les gaz ultra-purs ultra-purs
Protéger les gaz de process coûteux de la contamination par l'humidité. La qualité du gaz influe considérablement sur la qualité de la puce, car même des impuretés à l'état de traces peuvent entraîner des défauts ou des défaillances. L'humidité peut réagir avec certains matériaux ou introduire des défauts lors de processus tels que l'oxydation.
Une sonde à réaction rapide détecte rapidement toute trace d'humidité et donne l'alerte lorsque la limite fixée est atteinte.
Pression différentielle sécurisée dans une salle blanche
Maintenez facilement la pression différentielle de la salle blanche aux normes ISO 14644 avec nos sondes sensibles. Avec le système modulaire Indigo de Vaisala, vous pouvez connecter vos sondes de mesure de pression différentielle et d'humidité au même transmetteur Indigo.
Découvrez nos sondes de pression différentielle PDT101 et PDT102.
Optimisez et mesurez la concentration des produits chimiques humides en temps réel
Les usines de plaquettes pour semi-conducteurs consomment des tonnes de produits chimiques, à tous les stades de production. Garantissez la fiabilité de chaque produit chimique et éviter les écarts par rapport aux spécifications qui peuvent entraîner une contamination coûteuse de l'équipement et la mise au rebut des plaquettes.
Contenus d'experts et cas clients
Produits associés
Sonde de mesure du point de rosée DMP1
Transmetteur de point de rosée DMT152
Sonde de point de rosée et de température DMP7
Appareil de mesure portable Indigo80
Transmetteur Indigo300
Transmetteurs de la série Indigo500
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Transmetteurs de point de rosée miniatures DMT143 & DMT143L (long)
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Transmetteur de pression différentielle PDT102
Réfractomètre Semicon Vaisala K‑PATENTS® PR-33-S
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Comparaison des technologies
Voyez la comparaison entre la sonde de point de rosée de Vaisala et les transmetteurs à miroir CRDS (Cavity Ring-Down Spectrometer)
Chilled dans les environnements d’exploitation les plus exigeants, tels que
la fabrication de batteries rechargeables et de semi-conducteurs.
| Sonde de point de rosée de Vaisala | CRDS | Émetteur à miroir réfrigéré | |
| Plage de mesure Td * | -80 °C...+20 °C | -100 °C à -50 °C | -70 °C à +20 °C |
| Mesure in situ | Oui | Non, nécessite un échantillonnage et une grande différence de pression | Non, nécessite un échantillonnage |
| Exactitude Td dans des conditions de laboratoire* | +/-2 °C | +/-0,2 °C | +/-0,2 °C |
| Plage de pression* | 1 à 50 bar | 1…5 bar | ~ 1 bar seulement |
| Dépendance des conditions atmosphériques | Indépendant | Dépendant. Conditions atmosphériques stables requises. L'échantillonnage peut générer des erreurs dans un environnement hors laboratoire. | Dépendant. Le point de rosée minimum augmente si la température ambiante augmente. L'échantillonnage peut générer des erreurs dans un environnement hors laboratoire. |
| Temps de réponse* | minutes | Des dizaines de minutes | Heures |
| Sensibilité | Haut | Faible (impossible de détecter les changements rapides, mesure moyenne) | Faible (impossible de détecter les changements rapides, mesure moyenne) |
| Taille | Compact et léger. S'adapte facilement à plusieurs emplacements | Taille moyenne, environ 10 kg | De grand et lourd à taille moyenne |
| L’opérateur doit fournir un service régulier | Non requis | Non requis | Requis |
| Composants nécessitant un service | Non requis | Non requis, si dans un environnement propre | Requis (par exemple, Peltier) |
| Étalonnage/ assistance locale disponible | Oui | Peu probable | Peu probable |
| Dépendance par rapport aux gaz de fond | Mineure | Potentiellement forte | Potentiellement cruciale |
Valeurs typiques dans la fabrication de batteries et de semi-conducteurs
