Fabrication de semi-conducteurs Mesures fiables de la pression, de la température, de l'humidité et de la concentration des liquides pour un meilleur rendement, une plus grande sécurité et des produits plus performants Contactez-nous > 1982 Propre salle blanche depuis DRYCAP® Technologie de pointe pour la fabrication de semi-conducteurs Leading Les fabricants pionniers de semi-conducteurs sont nos clients Les puces de silicium de qualité supérieure sont fabriquées à l'aide de machines, de processus et de connaissances sophistiqués. Et derrière les processus réussis se cachent des instruments de surveillance et de mesure performants.Chaque puce de silicium mérite de fonctionner comme prévu, et lorsqu'elle est créée, en utilisant juste la bonne quantité de matériaux, d'énergie et d'autres ressources. Garantir le succès avec des mesures de qualité Image Click to enlarge De l'humide au sec et vice versa Qu'il s'agisse de la fabrication de plaquettes de semi-conducteurs, de la fabrication de produits microélectroniques ou de l'emballage de semi-conducteurs, équipez vos étapes de traitement critiques de mesures fiables pour une qualité stable, un rendement élevé, une prévisibilité et une rentabilité.Notre offre comprend des instruments mesurant l'humidité, le point de rosée, la température, la pression et les concentrations de produits chimiques humides. Chaque produit génère des données précises sur l'environnement de fabrication et offre une précision supérieure, une stabilité à long terme et un temps de réponse rapide pour l'optimisation des processus, l'augmentation du rendement, la sécurité et les meilleures performances des puces.C'est pour ces raisons que Vaisala est le partenaire de mesure privilégié des fabricants de semi-conducteurs et des fonderies de MEMS, des fabricants d'équipements de semi-conducteurs et des OEM, des opérateurs de fabriques et des fournisseurs de matériaux.Du front-end au back-end et jusqu'au client, nous sommes là pour vous. POURQUOI VAISALA Conception spécifique pour la fabrication de semi-conducteurs L'offre complète de Vaisala, avec les paramètres adéquats, permet d'obtenir des mesures stables dans la fabrication des semi-conducteurs. Exactitude de mesure intégrée dans le produit Sélectionnez des produits entourés d'un écosystème de support, avec un coût de possession optimisé et des coûts de cycle de vie minimes. Évitez les risques – choisissez des produits fiables, humides ou secs Les produits de Vaisala couvrent toute la gamme de mesures et tout ce dont vous avez besoin, de l'humide au sec, y compris des produits pour des applications spécifiques. Produits sur mesure – Ingénieur sur commande Saviez-vous que nos produits peuvent être personnalisés pour une application ou une position d'installation spécifique ? Rien ne nous fait plus plaisir que de résoudre des problèmes de mesure difficiles, avec vous. Contactez-nous ! Nous sommes ici pour aider. Nous faisons le chemin avec vous Vaisala produit des puces de capteur pour les produits Vaisala et pour la recherche et le développement dans notre propre salle blanche. Nous savons ce qu'il faut pour produire une qualité de classe mondiale. En outre, Vaisala s'engage à offrir un support pour ses produits tout au long de leur cycle de vie, et nos services d'experts et d'assistance sont situés près de chez vous, où que vous soyez. Applications de fabrication de semi-conducteurs Mesures environnementales en salle blanche, CVC Contrôle de l'humidité par système de climatisation, CVC Les taux d'humidité peuvent également avoir un impact sur le processus de fabrication des semi-conducteurs. Une humidité excessive peut entraîner de la condensation sur les équipements sensibles, provoquant potentiellement des défauts dans les dispositifs semi-conducteurs. Les systèmes de climatisation de précision aident à contrôler les niveaux d'humidité et agissent comme un outil préventif. Découvrez l'INDIGO300 Nettoyage du wafer à l'aide de produits durables Le nettoyage du wafer est un processus essentiel dans la fabrication des semi-conducteurs pour éliminer les contaminants, les particules et les résidus de la surface des wafers de silicium. Ce processus garantit la fiabilité et la fonctionnalité des circuits intégrés (CI) et autres dispositifs semi-conducteurs.Durabilité supplémentaire Les agents de nettoyage peuvent comprendre des acides, divers solvants et de l'eau, et ces résidus peuvent être présents, ce qui exige une durabilité accrue des sondes de mesure.Vaisala propose des sondes résistantes à la corrosion, également sans pièces métalliques en contact avec le liquide, spécialement conçues pour le processus de nettoyage des plaquettes, tolérant à la fois une humidité élevée et des produits chimiques agressifs.Il est important de veiller à ce que les copeaux soient secs après le nettoyage afin d'éviter la contamination et l'adhérence de particules. Contactez-nous Stepper de wafers en photolithographie Le stepper de wafer en photolithographie est un autre élément de traitement critique dans la production de circuits intégrés (CI) et d'autres dispositifs à semi-conducteurs. Au cours de cette étape, un motif lumineux est projeté sur une plaquette de silicium recouverte d'un matériau photosensible (résine photosensible), ce qui permet de graver le motif souhaité sur la plaquette. Par conséquent, certaines zones de photolithographie peuvent avoir des tolérances d'humidité de seulement ±1 %. Contrôle de la température pour des variations nulles dans les motifs des plaquettesLes sondes de mesure de la qualité dans les steppers offrent des mesures de température stables et protègent les wafers contre les variations de dimensions des motifs induites par les fluctuations de température. Des dimensions incorrectes sur les modèles de plaquettes affectent négativement la qualité globale et les performances des dispositifs semi-conducteurs. Contrôle de l'humidité pour la stabilité optiqueLe stepper s'appuie sur une optique précise pour projeter et transférer des motifs sur le wafer. Toute variation de température ou d'autres conditions environnementales peut affecter la stabilité et la précision de ces optiques. Contrôle de la pression barométrique pour une lithographie précise et la stabilité du processusLa mesure de la pression barométrique est indispensable à la précision optique et à l'exactitude du processus de lithographie, car la pression barométrique influence directement l'indice de réfraction de l'air, qui à son tour influe sur l'optique du stepper de la plaquette et sur la longueur d'onde de la lumière de lithographie. Contrôle de la mise au point et de la profondeur Évitez les images défocalisées en mesurant et en contrôlant la pression barométrique à l'aide d'instruments de mesure rapides et précis. Maintenir la machine de traitement des copeaux exempte de glace grâce au contrôle de l'humidité Les machines de sondage de wafers identifient les plaquettes défectueuses en testant les puces. Les tests sont effectués à des températures froides, jusqu'à -40 °C, afin de s'assurer que la puce fonctionne à des températures extrêmes, par exemple si elle est destinée à être utilisée ultérieurement dans un véhicule.L'environnement d'essai doit rester sec, avec une température du point de rosée inférieure à -40, afin d'éviter tout dépôt de glace sur la puce qui, une fois ramenée à température ambiante, se transformerait en eau et accumulerait des impuretés sur la puce. Vaisala propose des sondes de point de rosée précises pour les machines de sondage de puces. Découvrez l'DMT143 Gardez les gaz ultra-purs ultra-purs Protéger les gaz de process coûteux de la contamination par l'humidité. La qualité du gaz influe considérablement sur la qualité de la puce, car même des impuretés à l'état de traces peuvent entraîner des défauts ou des défaillances. L'humidité peut réagir avec certains matériaux ou introduire des défauts lors de processus tels que l'oxydation. Une sonde à réaction rapide détecte rapidement toute trace d'humidité et donne l'alerte lorsque la limite fixée est atteinte. Découvrez l'DMT152 Pression différentielle sécurisée dans une salle blanche Maintenez facilement la pression différentielle de la salle blanche aux normes ISO 14644 avec nos sondes sensibles. Avec le système modulaire Indigo de Vaisala, vous pouvez connecter vos sondes de mesure de pression différentielle et d'humidité au même transmetteur Indigo.Découvrez nos sondes de pression différentielle PDT101 et PDT102. Vaisala PDT101Vaisala PDT102 Optimisez et mesurez la concentration des produits chimiques humides en temps réel Les usines de plaquettes pour semi-conducteurs consomment des tonnes de produits chimiques, à tous les stades de production. Garantissez la fiabilité de chaque produit chimique et éviter les écarts par rapport aux spécifications qui peuvent entraîner une contamination coûteuse de l'équipement et la mise au rebut des plaquettes. Surveillance du processus de fabrication chimique Contenus d'experts et cas clients Article d'un expert Améliorez la qualité et le rendement des wafers grâce à une gestion des barbotines en temps réel basée sur les données La composition de la barbotine utilisée à l'étape de traitement de polissage mécano-chimique (CMP) a un impact considérable sur la qualité des plaquettes. Les réfractomètres de procédé en ligne de Vaisala permettent une surveillance en temps réel de la composition de la barbotine, garantissant ainsi la cohérence d'un lot à l'autre et une qualité optimale des plaquettes. En savoir plus Article d'un expert Comment améliorer les mesures d'humidité dans des environnements extrêmement secs Exemple de cas de gaz de haute pureté dans l'industrie de transformation Certains des processus industriels les plus complexes, tels que la production de gaz pur ou la fabrication de semi-conducteurs, nécessitent des mesures très précises des niveaux d'humidité à l'état de trace. Lire la suite Cas client Dépasser les exigences de haute précision de la fabrication de circuits intégrés : le rôle des instruments de Vaisala dans les salles blanches Le client : China Electronics System Engineering CEFOF et le fabricant de semi-conducteurs, Beijing Memory Technologies, Inc. (BJMT) Le défi : créer un environnement de salle blanche avec un système de surveillance capable de surveiller des tolérances de température et d'humidité relative très strictesLa solution : Vaisala HMT370EX, Vaisala HMT120 et Vaisala HMT330. Tous parfaits pour les conditions de processus difficiles offrant des mesures supérieures Lire la suite Témoignage client Pourquoi Vaisala est un fournisseur privilégié pour de nombreuses usines de fabrication de semi-conducteurs pour qualifier la concentration de H2O2 dans le CMP en tungstène La mesure IR est une technique simple, économique et précise qui fournit des informations en temps réel sur la composition de la barbotine, faisant du réfractomètre un instrument de métrologie parfait pour de nombreuses usines de fabrication. En savoir plus Guide électronique Comprendre et utiliser les données en temps réel dans le processus CMP Mesures IR et HR exactes et rapides pour optimiser les performances de l'outil CMP Saviez-vous que la mesure de l'indice de réfraction ou IR avec un réfractomètre de procédé en ligne est un moyen sûr et économique, de surveiller les processus en temps réel et avec peu d'entretien pour déterminer avec exactitude les concentrations de produits chimiques humides ? En savoir plus Blog Les semi-conducteurs haut de gamme nécessitent des machines de qualité, avec en plus un excellent matériel de surveillance Dans ce blog, nous jetons un œil sur la gamme de capteurs d'humidité et de pression Vaisala qui garantissent des mesures exactes aux fabricants des machines utilisées pour la production de semi-conducteurs. Lire la suite Blog L'eau est l'un des contaminants les plus importants dans la fabrication de semi-conducteurs ; mesurez avec précision votre humidité et votre température Pour éviter les problèmes de qualité et de rendement de produit, les niveaux d'humidité et de température doivent être surveillés de très près dans le cadre de la fabrication des semi-conducteurs. Lire la suite Webinaire Optimisez la qualité des plaquettes et le rendement avec des données en temps réel pendant le processus CMP Inscrivez-vous à ce webinaire et découvrez pourquoi les réfractomètres de procédé Vaisala ont été installés par des centaines de fabricants de semi-conducteurs dans le monde. Nous examinerons la technologie derrière nos solutions de mesure et parlerons des applications courantes avant de nous consacrer à des exemples pratiques des fabricants. Inscrivez-vous pour regarder Webinaire Assurez votre rendement dans la fabrication de semi-conducteurs et de batteries Rejoignez ce webinaire à la demande et découvrez différentes techniques pour obtenir des mesures exactes et de qualité élevée, des solutions pratiques pour maintenir des conditions de fabrication optimales en salle blanche et en salle sèche, et choisir le bon produit pour votre application. Inscrivez-vous pour regarder Produits associés Sonde de point de rosée et de température DMP7 La sonde de mesure du point de rosée et de la température DMP7 de la série DRYCAP® de Vaisala est conçue pour les espaces confinés et les applications à faible humidité. 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