Ratkaisut puolijohdeteollisuuden märkäprosesseihin sekä laitosten valvontaan ja hallintaan Ota yhteyttä Puolijohdekiekkojen ja mikroelektroniikan valmistus on haastava prosessi, jossa ei ole tilaa virheille. Ala on riippuvainen erittäin suorituskykyisistä valvonta- ja mittalaitteista, joiden avulla kemialliset koostumukset ja ympäristöolosuhteet voidaan pitää tarkasti määritysten mukaisina. Sovellukset Puolijohdeteollisuuden märkäprosessit Puolijohdekiekkojen valmistuslaitoksessa kuluu prosessin aikana tonneittain kemikaaleja. Kemikaaliliuosten luotettavuus on valmistajalle ensiarvoisen tärkeää, sillä pienikin poikkeama määrityksistä voi johtaa kalliiden laitteiden kontaminaatioon ja kiekkohävikkiin. LUE LISÄÄ PUOLIJOHDEPROSESSIN VALVONNASTA Veden laatu optisessa litografiassa Integroidun piirikuvion laatu puolijohteiden valmistuksessa on riippuvainen litografialaitteen olosuhteista. Ilmastoinnin tarkkuutta ja litografiaprosessin kapasiteettia voidaan parantaa tarkalla ilmanpaineen, lämpötilan ja kosteuden mittauksella. AIHEESEEN LIITTYVÄT TUOTTEET (PDF) Paineilma ja N2-prosessilinjat Jos käytät paineilma- tai typpiprosessilinjoja, voit kastepistemittauksen avulla säästää resursseja välttämällä ilman liiallisen kuivauksen ja laitteiston ruostumisen. Vaisalan DRYCAP-teknologia mahdollistaa tarkat mittaukset, lyhyen vasteajan ja vähäiset huoltotarpeet. AIHEESEEN LIITTYVÄT TUOTTEET Laitoksen valvonta Puutteellinen ilmanvaihto heikentää paitsi työntekijöiden hyvinvointia myös heidän tuottavuuttaan merkittävästi, jopa 18 prosenttia. Luotettavilla, kestävillä ja jäljitettävällä ilmanvaihtoantureilla tehtävällä tarkalla kosteuden, hiilidioksidin ja lämpötilan mittauksella voidaan parantaa sekä energiatehokkuutta että työntekijöiden hyvinvointia. AIHEESEEN LIITTYVÄT TUOTTEET Miksi Vaisala? Vaisala tuntee puolijohdealan hyvin ja on asiakkailleen luotettu kumppani. Hyödynnämme laaja-alaista alan osaamistamme suunnittelemalla ja valmistamalla tuotteita erilaisten kriittisten puolijohdeprosessien tarpeisiin kemikaalien ja prosessin laadun valvonnasta ympäröivän ilman valvontaan. Puolijohdealan osaamisesta kertoo sekin, että valmistamme omassa puhdashuoneessamme laadukkaita mikrosiruja Vaisalan tuotteita ja tuotekehitystyötä varten. Vaisala on sitoutunut tukemaan tuotteitaan koko niiden elinkaaren ajan, ja tarjoamme ensiluokkaista palvelua ja tukea paikallisesti lähelläsi. Ota yhteyttä Lisätietoa Customer case Why Vaisala is a preferred vendor for many semiconductor fabrication plants for qualifying H2O2 concentration in CMP of tungsten RI measurement is a simple, cost-effective, and accurate technique that provides real-time information on slurry composition, making a refractometer the metrology instrument of choice for many fabrication plants. Learn more Blogi Laadukkaiden puolijohdetuotteiden valmistus edellyttää laadukkaita valmistusposesseja ja niiden monitorointia Tässä blogikirjoituksessa tarkastelemme puolijohdeteollisuuden valmistuslaitteistoja toimittavien tahojen mittaustarpeita ja mittaustarkkuuden varmistamista Vaisalan kosteus- ja paineantureilla. Lue lisää Blogi Vesi on yksi merkittävimmistä epäpuhtauksista puolijohteiden valmistuksessa – mittaa kosteutta ja lämpötilaa tarkasti Jotta voidaan välttää ongelmat tuotteen laadussa ja saannossa, kosteutta ja lämpötilaa on valvottava puolijohteiden valmistuksessa hyvin huolellisesti. Lue lisää Webinar Optimize Wafer Quality and Yield with Real-time Data During the CMP Process Register for this webinar to learn why Vaisala process refractometers have been installed by hundreds of semiconductor manufacturers worldwide. We’ll review the technology behind our measurement solutions and share common applications before sharing sample use cases from fabricators. Register to watch Webinar Ensure your yield in semiconductor and battery manufacturing Join this webinar and learn about different techniques for best measurement accuracy and quality, practical solutions for maintaining optimal manufacturing conditions in cleanroom and dry room conditions, and how to choose the right product for your application. Register to watch
