Puolijohteiden valmistus

Ota yhteyttä

>

1982

oma puhdastila vuodesta

DRYCAP®

Huipputeknologiaa puolijohteiden valmistukseen

Johtavat

puolijohteiden valmistajat ovat asiakkaitamme

Huippuluokan piisirut valmistetaan kehittyneillä koneilla ja prosesseilla sekä vankalla osaamisella. Onnistuneiden prosessien taustalla ovat suorituskykyiset valvonta- ja mittauslaitteet.

Jokainen piisiru ansaitsee toimia tarkoitetulla tavalla ja tulla valmistetuksi käyttäen juuri oikea määrä materiaalia, energiaa ja muita resursseja.

 

Varmista onnistuminen laadukkailla mittauksilla

Image
INFOGRAPHIC Semiconductor
Click to enlarge

Märästä kuivaan ja takaisin

Puolijohdekiekkojen ja mikroelektroniikan valmistuksesta puolijohteiden pakkaamiseen – varmista kriittisten prosessointivaiheidesi laatu, korkea saanto, ennustettavuus ja kustannustehokkuus luotettavilla mittauksilla.

Tarjontamme kattaa mittalaitteet kosteuden, kastepisteen, lämpötilan, paineen sekä märkäkemian pitoisuuksien mittaamiseen. Jokainen tuote tuottaa tarkkaa tietoa valmistusympäristöstä ja tarjoaa erinomaisen tarkkuuden, pitkän aikavälin stabiiliuden ja nopean vasteajan prosessin optimointia, parempaa saantoa, turvallisuutta ja sirujen suorituskykyä varten.

Näistä syistä Vaisala on puolijohdevalmistajien, mikrosysteemien (MEMS) valmistajien, puolijohdelaitteiden valmistajien ja alkuperäisten laitevalmistajien (OEM) sekä materiaalitoimittajien suosima mittauskumppani.

Meiltä löydät tarvitsemasi mittalaitteet niin etulinjassa kuin taustalla tapahtuviin toimintoihin aina asiakkaalle saakka.  

MIKSI VAISALA

Suunniteltu puolijohteiden valmistukseen

Vaisalan kattava tarjonta juuri oikeilla parametreilla tarjoaa stabiilit mittaukset puolijohteiden valmistukseen.  
 

Mittaustarkkuus suunniteltuna tuotteessa

Valitse tuotteet, joihin on saatavilla tukipalveluita optimoiduilla omistuskustannuksilla ja mahdollisimman pienillä elinkaarikustannuksilla. 

Vältä riskejä – valitse luotettavat tuotteet niin märkä- kuin kuivamittauksiin

Vaisalan tuotevalikoima kattaa koko mittausalueen ja kaiken tarvitsemasi  märkämittauksista kuivamittauksiin – sisältäen myös tiettyihin sovelluksiin räätälöityjä tuotteita. 

Räätälöidyt tuotteet – suunnittelu tilauksen mukaan

Tiesitkö, että tuotteemme voidaan räätälöidä tiettyä käyttötarkoitusta tai asennuspaikkaa varten? 

Mikään ei tuota meille suurempaa iloa kuin vaikeiden mittaustehtävien ratkaiseminen yhdessä kanssasi. Ota yhteyttä! Autamme mielellämme. 

Olemme mukana koko matkan

Vaisala valmistaa anturisiruja omiin tuotteisiinsa sekä T&K-käyttöön Vaisalan omassa puhdastilassa. Tiedämme, mitä maailmanluokan laadun tuottaminen vaatii. 

Lisäksi Vaisala on sitoutunut tarjoamaan tuen tuotteilleen koko niiden elinkaaren ajan. Lisäksi asiantuntijapalvelumme ja tukemme ovat käytettävissä lähelläsi, missä ikinä oletkin. 

Puolijohteiden valmistuksen sovellukset

Ympäristömittaukset puhdastiloissa, ilmanvaihto

Kosteuden hallinta ilmastointijärjestelmän kautta, ilmanvaihto 

Kosteustasot voivat vaikuttaa myös puolijohteiden valmistusprosessiin. Liiallisesta kosteudesta voi seurata herkkiin puolijohdelaitteisiin vikoja aiheuttavaa kondensaatiota. Tarkkuusilmastointijärjestelmät auttavat hallitsemaan kosteustasoa ja toimivat ennaltaehkäisevänä työkaluna. 

Tutustu INDIGO300:aan

Piikiekkojen puhdistus kestävien tuotteiden avulla

Piikiekkojen puhdistus on puolijohteiden valmistuksen kriittinen prosessi, jossa poistetaan epäpuhtauksia, hiukkasia ja jäämiä piikiekkojen pinnalta. Tämä prosessi varmistaa integroitujen piirien (IC) ja muiden puolijohdelaitteiden luotettavuuden ja toimivuuden.

Erityistä kestävyyttä 

Puhdistusaineet voivat sisältää happoja, erilaisia liuottimia sekä vettä, ja mahdolliset puhdistusainejäämät vaativat mittapäiltä erityistä kestävyyttä.

Vaisala tarjoaa korroosionkestäviä mittapäitä myös ilman metallisia märkäosia. Nämä mittapäät on suunniteltu erityisesti kiekkojen puhdistusprosessia varten, ja ne kestävät sekä korkeaa kosteutta että voimakkaita kemikaaleja.

On tärkeää varmistaa sirujen kuivuus puhdistuksen jälkeen kontaminoitumisen ja hiukkasten tarttumisen estämiseksi. 
 

Ota yhteyttä

Litografialaite optisessa litografiassa 

Optinen litografia on kriittinen käsittelyvaihe integroitujen piirien (IC) ja muiden puolijohdelaitteiden valmistuksessa. Tässä vaiheessa heijastetaan valokuvio piikiekolle, joka on päällystetty valoherkällä materiaalilla (fotoresistillä). Näin haluttu kuvio syöpyy kiekkoon. Optinen litografia saattaa edellyttää niinkin tiukkaa kosteustoleranssia kuin ±1 %.

  Lämpötilan hallinta kiekkojen kuvioiden tasalaatuisuuden varmistamiseksi

Litografialaitteiden laadukkaat mittapäät tarjoavat stabiilit lämpötilamittaukset ja auttavat ehkäisemään lämpötilan vaihtelua, joka aiheuttaisi vaihtelua kuvioiden mittoihin. Väärät mitat kiekon kuvioissa vaikuttavat haitallisesti puolijohdelaitteiden yleiseen laatuun ja suorituskykyyn. 
 

  Kosteuden hallinta optiikan vakauden takaamiseksi

Litografialaite käyttää tarkkaa optiikkaa kuvioiden projisointiin ja siirtämiseen kiekolle. Kaikki lämpötilan tai muiden ympäristöolosuhteiden vaihtelu voi vaikuttaa tämän optiikan vakauteen ja tarkkuuteen.
 

  Ilmanpaineen hallinta tarkan litografian ja prosessin vakauden takaamiseksi

Ilmanpaineen mittaaminen on optiikan ja litografiaprosessin tarkkuuden välttämätön edellytys, sillä ilmanpaine vaikuttaa suoraan ilman taitekertoimeen, joka puolestaan vaikuttaa litografialaitteen optiikkaan ja litografian valon aallonpituuteen. 
 

  Tarkennuksen ja syvyyden hallinta 

Ehkäise kuvien epätarkkuus mittaamalla ja säätämällä ilmanpainetta nopeiden ja tarkkojen mittalaitteiden avulla.

 

 

Pidä siruntestauslaite jäättömänä kosteuden hallinnan avulla

Kiekkojen testauslaitteet tunnistavat vialliset kiekot testaamalla siruja. Testit suoritetaan kylmissä lämpötiloissa, jopa -40 celsiusasteessa, jotta varmistetaan sirun toimivuus äärimmäisissä lämpötiloissa esimerkiksi siltä varalta, että sitä on myöhemmin tarkoitus käyttää ajoneuvossa.

Testiympäristö on pidettävä kuivana – kastepiste alle -40 astetta – jotta sirulle ei muodostu jäätä, joka myöhemmin huoneenlämpöön siirrettynä muuttuisi vedeksi ja keräisi epäpuhtauksia sirulle. 

Vaisala tarjoaa tarkat kastepistemittapäät siruntestauslaitteita varten. 

 

Tutustu DMT143:aan

Pidä ultrapuhtaat kaasut ultrapuhtaina

Suojaa kalliita prosessikaasuja kosteuden aiheuttamalta kontaminaatiolta. Kaasun laatu vaikuttaa merkittävästi sirun laatuun, sillä pienetkin epäpuhtaudet voivat aiheuttaa vikoja. Kosteus voi reagoida tiettyjen materiaalien kanssa tai aiheuttaa vikoja prosessien, kuten hapettumisen, aikana. 

Nopeasti reagoiva mittapää havaitsee kosteuden nopeasti ja hälyttää, kun asetettu raja saavutetaan. 

Tutustu DMT152:aan

Varmista paine-ero puhdastilassa

Pidä puhdastilan paine-ero helposti ISO 14644 ‑standardin mukaisena Vaisalan herkkien mittapäiden avulla. Vaisalan modulaarisen Indigo-järjestelmän ansiosta voit liittää paine-eron ja kosteuden mittapäät samaan Indigo-lähettimeen.

Tutustu paine-eromittapäihimme PDT101 ja PDT102.  

Vaisala PDT101

Vaisala PDT102

Optimoi ja mittaa märkäprosessien pitoisuudet reaaliajassa

Puolijohdekiekkojen valmistuslaitoksessa kuluu prosessin aikana tonneittain kemikaaleja. Varmista jokaisen kemikaalin luotettavuus ja vältä poikkeamat määrityksistä, sillä ne voivat johtaa kalliiseen laitteiston kontaminoitumiseen ja kiekkohävikkiin.

Puolijohdeprosessin valvonta

Asiantunteva sisältö ja asiakastarinat

Asiantuntija-artikkeli

Kiekkojen laadun ja saannon parantaminen dataan perustuvan reaaliaikaisen slurrynhallinnan avulla

Kemiallismekaanisessa kiillotuksessa käytetyn slurryn koostumus vaikuttaa huomattavasti kiekkojen laatuun. Vaisalan inline-prosessirefraktometrit mahdollistavat slurryn koostumuksen reaaliaikaisen seurannan, mikä varmistaa erien yhdenmukaisuuden ja kiekkojen optimaalisen laadun.

Lue lisää

Asiantuntija-artikkeli

Kosteusmittausten parantaminen erittäin kuivissa ympäristöissä

Esimerkki prosessiteollisuuden erittäin puhtaista kaasuista 

Jotkin haastavimmista teollisista prosesseista, kuten puhtaan kaasun tuotanto tai puolijohteiden valmistus, edellyttävät erittäin tarkkoja kosteuspitoisuuksien mittauksia.

Lue lisää

Asiakascase

Korkeiden tarkkuusvaatimusten ylittäminen mikropiirien valmistuksessa: Vaisalan mittalaitteiden merkitys puhdastiloissa

Asiakas: China Electronics System Engineering CEFOF ja puolijohdevalmistaja Beijing Memory Technologies, Inc. (BJMT) 
Haaste: puhdastilan rakentaminen ja mittausjärjestelmän toteuttaminen lämpötilan ja suhteellisen kosteuden erittäin tarkkojen toleranssien valvontaan
Ratkaisu: Vaisala HMT370EX, Vaisala HMT120 ja Vaisala HMT330. Täydellinen yhdistelmä tarkkoihin mittauksiin haastavissa prosessiolosuhteissa

Lue lisää

Asiakastarina

Miksi Vaisala on monien puolijohdevalmistajien suosima toimittaja, kun kyseessä on volframin CMP:n vetyperoksidipitoisuuden selvittäminen

Taitekerroinmittaus on yksinkertainen, kustannustehokas ja tarkka tekniikka, joka tarjoaa reaaliaikaiset tiedot lietemäisen seoksen koostumuksesta. Siksi refraktometri on ensisijainen valinta metrologiseksi mittalaitteeksi monille valmistuslaitoksille.

Lisätietoja

e-kirja

Reaaliaikaisten tietojen ymmärtäminen ja käyttö CMP-prosessissa

Tarkat ja nopeat taitekertoimen ja suhteellisen kosteuden mittaukset CMP-työkalujen suorituskyvyn optimointiin  

Tiesitkö, että taitekertoimen mittaaminen inline-prosessinrefraktometrilla on turvallinen, kustannustehokas ja
vain vähän huoltoa tarvitseva reaaliaikainen prosessinvalvontamenetelmä, jolla voidaan määrittää märkäkemikaalien pitoisuudet tarkasti? 

Lisätietoja

Blogi

Laadukkaiden puolijohdetuotteiden valmistus edellyttää laadukkaita valmistusposesseja ja niiden monitorointia

Tässä blogikirjoituksessa tarkastelemme puolijohdeteollisuuden valmistuslaitteistoja toimittavien tahojen mittaustarpeita ja mittaustarkkuuden varmistamista Vaisalan kosteus- ja paineantureilla.

Lue lisää

Blogi

Vesi on yksi merkittävimmistä epäpuhtauksista puolijohteiden valmistuksessa – mittaa kosteutta ja lämpötilaa tarkasti

Jotta voidaan välttää ongelmat tuotteen laadussa ja saannossa, kosteutta ja lämpötilaa on valvottava puolijohteiden valmistuksessa hyvin huolellisesti. 

Lue lisää

Webinaari

Piikiekkojen laadun ja saannon optimointi reaaliaikaisilla tiedoilla CMP-prosessin aikana

Ilmoittaudu tähän englanninkieliseen webinaariin ja näe, miksi sadat puolijohdevalmistajat eri puolilla maailmaa ovat asentaneet Vaisalan prosessirefraktometrejä prosesseihinsa. Esittelemme mittausratkaisujemme taustalla olevaa teknologiaa ja yleisiä käyttökohteita, minkä jälkeen käymme läpi joitakin tosielämän käyttötapauksia.

Katso webinaari

Webinaari

Varmista saanto puolijohteiden ja akkujen valmistuksessa

Tässä englanninkielisessä webinaarissa opit tekniikoita, joilla voit varmistaa parhaan mittaustarkkuuden ja ‑laadun. Lisäksi kuulet käytännön ratkaisuja optimaalisten valmistusolosuhteiden ylläpitämiseen puhdas- ja kuivatiloissa sekä vinkkejä juuri käyttökohteeseesi sopivan tuotteen valintaan.

Katso webinaari

Liittyvät tuotteet

Indigo520 mittapään kanssa

Indigo500-sarjan lähettimet

Vaisalan Indigo500‑sarjan lähettimet ovat isäntälaitteita Vaisalan Indigo-yhteensopiville itsenäisille älykkäille mittapäille. Indigo500-sarjaan kuuluvat monikäyttöinen Indigo520-lähetin ja perustoiminnot sisältävä Indigo510-lähetin.
Humidity and Temperature Probe HMP110 with cable

Kosteuden ja lämpötilan mittapää HMP110

Pienikokoisen HMP110:n suhteellisen kosteuden mittausalue on 0 – 100 % ja lämpötilan -40 – +80 °C. Mittapäässä on käytössä uusimman sukupolven HUMICAP ® 180R -anturi parasta vakautta ja korkeaa kemikaalien sietokykyä varten.

Ota yhteyttä

Haluaisitko lisätietoja jostain tietystä sovelluksesta tai tuotteesta? Ota meihin yhteyttä, niin vastaamme sinulle mahdollisimman pian.

Ota yhteyttä
E-mail Facebook Twitter LinkedIn