Ratkaisut puolijohdeteollisuuden märkäprosesseihin sekä laitosten valvontaan ja hallintaan

Puolijohdekiekkojen ja mikroelektroniikan valmistus on vaativa prosessi, jossa ei ole sijaa virheille. Alalla tarvitaan huippuluokan mittalaitteita, joilla kemialliset koostumukset ja ympäristön olosuhteet voidaan mitata tarkasti. Tarjoamme puolijohdeteollisuuden märkäprosesseihin refraktometreja mittaamaan pitoisuuksia bulkkikemikaalien ja slurryn annostelussa, sekoituksessa ja kiillotusprosesseissa. Tarjoamme myös mittalaitteet puolijohdetyökalujen ja niiden ympäristön kosteuden, kastepisteen, lämpötilan ja paineen mittaamiseen.  

Puolijohdekiekko

Puolijohdeteollisuuden märkäprosessit

Puolijohdekiekkojen valmistuslaitoksessa kuluu prosessin aikana tonneittain kemikaaleja. Kunkin kemikaalin luotettavuus on valmistajalle ensiarvoisen tärkeää, sillä pienikin poikkeama määrityksistä voi johtaa kalliiden laitteiden kontaminaatioon ja kiekkohävikkiin. 

N2-kaasulinja

Paineilma ja N2-prosessilinjat

Jos käytät paineilma- tai typpiprosessilinjoja, voit kastepistemittauksen avulla säästää resursseja ja välttää ylimääräistä ilman kuivausta sekä laitteiston korroosiota. Vaisalan DRYCAP-tekniikan avulla mittaus on tarkkaa, vasteajat ovat nopeita ja ylläpitotarpeet ovat vähäisiä.

Laitoksen valvonta

Laitoksen valvonta

Riittämätön ilmanvaihto heikentää työntekijöiden hyvinvointia, mutta haittaa myös tuottavuutta merkittävästi – jopa 18 %. Kun kosteutta, hiilidioksidia ja lämpötilaa mitataan luotettavilla, kestävillä ja jäljitettävillä ilmanvaihtoantureilla, voidaan samalla kertaa saavuttaa sekä energiatehokkuus että työntekijöiden hyvinvointi.

Miksi Vaisala?

Vaisala tuntee puolijohdealan hyvin ja on asiakkailleen luotettu kumppani. Vaisalalla on kattava osaaminen tuotteiden suunnittelusta ja valmistuksesta erilaisten puolijohdeprosessien tarpeisiin ja ympäröivän ilman laadunvalvontaan. Prosessin tuntemustamme täydentää oma puhdashuoneemme ja laadukkaiden mikrosirujen valmistuksemme Vaisalan tuotteita ja tuotekehitystyötä varten. Vaisala tarjoaa tuotteilleen tuen koko niiden elinkaaren ajan, ja ensiluokkaiset palvelut ja tuki ovat käytettävissä lähelläsi.