Ratkaisut puolijohdeteollisuuden märkäprosesseihin sekä laitosten valvontaan ja hallintaan

Ota yhteyttä

Puolijohdekiekkojen ja mikroelektroniikan valmistus on haastava prosessi, jossa ei ole tilaa virheille. Ala on riippuvainen erittäin suorituskykyisistä valvonta- ja mittalaitteista, joiden avulla kemialliset koostumukset ja ympäristöolosuhteet voidaan pitää tarkasti määritysten mukaisina. 

Sovellukset

Miksi Vaisala?

Vaisala tuntee puolijohdealan hyvin ja on asiakkailleen luotettu kumppani.
Hyödynnämme laaja-alaista alan osaamistamme suunnittelemalla ja valmistamalla tuotteita
erilaisten kriittisten puolijohdeprosessien tarpeisiin kemikaalien ja prosessin laadun valvonnasta ympäröivän ilman valvontaan.

Puolijohdealan osaamisesta kertoo sekin, että valmistamme omassa puhdashuoneessamme laadukkaita mikrosiruja
Vaisalan tuotteita ja tuotekehitystyötä varten. Vaisala on sitoutunut tukemaan tuotteitaan koko niiden elinkaaren ajan,
ja tarjoamme ensiluokkaista palvelua ja tukea paikallisesti lähelläsi.  

Lisätietoa

Customer case

Why Vaisala is a preferred vendor for many semiconductor fabrication plants for qualifying H2O2 concentration in CMP of tungsten

RI measurement is a simple, cost-effective, and accurate technique that provides real-time information on slurry composition, making a refractometer the metrology instrument of choice for many fabrication plants.

Learn more

Blogi

Laadukkaiden puolijohdetuotteiden valmistus edellyttää laadukkaita valmistusposesseja ja niiden monitorointia

Tässä blogikirjoituksessa tarkastelemme puolijohdeteollisuuden valmistuslaitteistoja toimittavien tahojen mittaustarpeita ja mittaustarkkuuden varmistamista Vaisalan kosteus- ja paineantureilla.

Lue lisää

Blogi

Vesi on yksi merkittävimmistä epäpuhtauksista puolijohteiden valmistuksessa – mittaa kosteutta ja lämpötilaa tarkasti

Jotta voidaan välttää ongelmat tuotteen laadussa ja saannossa, kosteutta ja lämpötilaa on valvottava puolijohteiden valmistuksessa hyvin huolellisesti. 

Lue lisää

Webinar

Optimize Wafer Quality and Yield with Real-time Data During the CMP Process

Register for this webinar to learn why Vaisala process refractometers have been installed by hundreds of semiconductor manufacturers worldwide. We’ll review the technology behind our measurement solutions and share common applications before sharing sample use cases from fabricators.

Register to watch

Webinar

Ensure your yield in semiconductor and battery manufacturing

Join this webinar and learn about different techniques for best measurement accuracy and quality, practical solutions for maintaining optimal manufacturing conditions in cleanroom and dry room conditions, and how to choose the right product for your application.

Register to watch