Puolijohteiden valmistus Luotettavat paineen, lämpötilan, kosteuden ja nesteiden pitoisuuksien mittaukset parantavat saantoa, turvallisuutta ja tuotteiden laatua Ota yhteyttä > 1982 oma puhdastila vuodesta DRYCAP® Huipputeknologiaa puolijohteiden valmistukseen Johtavat puolijohteiden valmistajat ovat asiakkaitamme Huippuluokan piisirut valmistetaan kehittyneillä koneilla ja prosesseilla sekä vankalla osaamisella. Onnistuneiden prosessien taustalla ovat suorituskykyiset valvonta- ja mittauslaitteet.Jokainen piisiru ansaitsee toimia tarkoitetulla tavalla ja tulla valmistetuksi käyttäen juuri oikea määrä materiaalia, energiaa ja muita resursseja. Varmista onnistuminen laadukkailla mittauksilla Image Click to enlarge Märästä kuivaan ja takaisin Puolijohdekiekkojen ja mikroelektroniikan valmistuksesta puolijohteiden pakkaamiseen – varmista kriittisten prosessointivaiheidesi laatu, korkea saanto, ennustettavuus ja kustannustehokkuus luotettavilla mittauksilla.Tarjontamme kattaa mittalaitteet kosteuden, kastepisteen, lämpötilan, paineen sekä märkäkemian pitoisuuksien mittaamiseen. Jokainen tuote tuottaa tarkkaa tietoa valmistusympäristöstä ja tarjoaa erinomaisen tarkkuuden, pitkän aikavälin stabiiliuden ja nopean vasteajan prosessin optimointia, parempaa saantoa, turvallisuutta ja sirujen suorituskykyä varten.Näistä syistä Vaisala on puolijohdevalmistajien, mikrosysteemien (MEMS) valmistajien, puolijohdelaitteiden valmistajien ja alkuperäisten laitevalmistajien (OEM) sekä materiaalitoimittajien suosima mittauskumppani.Meiltä löydät tarvitsemasi mittalaitteet niin etulinjassa kuin taustalla tapahtuviin toimintoihin aina asiakkaalle saakka. MIKSI VAISALA Suunniteltu puolijohteiden valmistukseen Vaisalan kattava tarjonta juuri oikeilla parametreilla tarjoaa stabiilit mittaukset puolijohteiden valmistukseen. Mittaustarkkuus suunniteltuna tuotteessa Valitse tuotteet, joihin on saatavilla tukipalveluita optimoiduilla omistuskustannuksilla ja mahdollisimman pienillä elinkaarikustannuksilla. Vältä riskejä – valitse luotettavat tuotteet niin märkä- kuin kuivamittauksiin Vaisalan tuotevalikoima kattaa koko mittausalueen ja kaiken tarvitsemasi märkämittauksista kuivamittauksiin – sisältäen myös tiettyihin sovelluksiin räätälöityjä tuotteita. Räätälöidyt tuotteet – suunnittelu tilauksen mukaan Tiesitkö, että tuotteemme voidaan räätälöidä tiettyä käyttötarkoitusta tai asennuspaikkaa varten? Mikään ei tuota meille suurempaa iloa kuin vaikeiden mittaustehtävien ratkaiseminen yhdessä kanssasi. Ota yhteyttä! Autamme mielellämme. Olemme mukana koko matkan Vaisala valmistaa anturisiruja omiin tuotteisiinsa sekä T&K-käyttöön Vaisalan omassa puhdastilassa. Tiedämme, mitä maailmanluokan laadun tuottaminen vaatii. Lisäksi Vaisala on sitoutunut tarjoamaan tuen tuotteilleen koko niiden elinkaaren ajan. Lisäksi asiantuntijapalvelumme ja tukemme ovat käytettävissä lähelläsi, missä ikinä oletkin. Puolijohteiden valmistuksen sovellukset Ympäristömittaukset puhdastiloissa, ilmanvaihto Kosteuden hallinta ilmastointijärjestelmän kautta, ilmanvaihto Kosteustasot voivat vaikuttaa myös puolijohteiden valmistusprosessiin. Liiallisesta kosteudesta voi seurata herkkiin puolijohdelaitteisiin vikoja aiheuttavaa kondensaatiota. Tarkkuusilmastointijärjestelmät auttavat hallitsemaan kosteustasoa ja toimivat ennaltaehkäisevänä työkaluna. Tutustu INDIGO300:aan Piikiekkojen puhdistus kestävien tuotteiden avulla Piikiekkojen puhdistus on puolijohteiden valmistuksen kriittinen prosessi, jossa poistetaan epäpuhtauksia, hiukkasia ja jäämiä piikiekkojen pinnalta. Tämä prosessi varmistaa integroitujen piirien (IC) ja muiden puolijohdelaitteiden luotettavuuden ja toimivuuden.Erityistä kestävyyttä Puhdistusaineet voivat sisältää happoja, erilaisia liuottimia sekä vettä, ja mahdolliset puhdistusainejäämät vaativat mittapäiltä erityistä kestävyyttä.Vaisala tarjoaa korroosionkestäviä mittapäitä myös ilman metallisia märkäosia. Nämä mittapäät on suunniteltu erityisesti kiekkojen puhdistusprosessia varten, ja ne kestävät sekä korkeaa kosteutta että voimakkaita kemikaaleja.On tärkeää varmistaa sirujen kuivuus puhdistuksen jälkeen kontaminoitumisen ja hiukkasten tarttumisen estämiseksi. Ota yhteyttä Litografialaite optisessa litografiassa Optinen litografia on kriittinen käsittelyvaihe integroitujen piirien (IC) ja muiden puolijohdelaitteiden valmistuksessa. Tässä vaiheessa heijastetaan valokuvio piikiekolle, joka on päällystetty valoherkällä materiaalilla (fotoresistillä). Näin haluttu kuvio syöpyy kiekkoon. Optinen litografia saattaa edellyttää niinkin tiukkaa kosteustoleranssia kuin ±1 %. Lämpötilan hallinta kiekkojen kuvioiden tasalaatuisuuden varmistamiseksiLitografialaitteiden laadukkaat mittapäät tarjoavat stabiilit lämpötilamittaukset ja auttavat ehkäisemään lämpötilan vaihtelua, joka aiheuttaisi vaihtelua kuvioiden mittoihin. Väärät mitat kiekon kuvioissa vaikuttavat haitallisesti puolijohdelaitteiden yleiseen laatuun ja suorituskykyyn. Kosteuden hallinta optiikan vakauden takaamiseksiLitografialaite käyttää tarkkaa optiikkaa kuvioiden projisointiin ja siirtämiseen kiekolle. Kaikki lämpötilan tai muiden ympäristöolosuhteiden vaihtelu voi vaikuttaa tämän optiikan vakauteen ja tarkkuuteen. Ilmanpaineen hallinta tarkan litografian ja prosessin vakauden takaamiseksiIlmanpaineen mittaaminen on optiikan ja litografiaprosessin tarkkuuden välttämätön edellytys, sillä ilmanpaine vaikuttaa suoraan ilman taitekertoimeen, joka puolestaan vaikuttaa litografialaitteen optiikkaan ja litografian valon aallonpituuteen. Tarkennuksen ja syvyyden hallinta Ehkäise kuvien epätarkkuus mittaamalla ja säätämällä ilmanpainetta nopeiden ja tarkkojen mittalaitteiden avulla. Pidä siruntestauslaite jäättömänä kosteuden hallinnan avulla Kiekkojen testauslaitteet tunnistavat vialliset kiekot testaamalla siruja. Testit suoritetaan kylmissä lämpötiloissa, jopa -40 celsiusasteessa, jotta varmistetaan sirun toimivuus äärimmäisissä lämpötiloissa esimerkiksi siltä varalta, että sitä on myöhemmin tarkoitus käyttää ajoneuvossa.Testiympäristö on pidettävä kuivana – kastepiste alle -40 astetta – jotta sirulle ei muodostu jäätä, joka myöhemmin huoneenlämpöön siirrettynä muuttuisi vedeksi ja keräisi epäpuhtauksia sirulle. Vaisala tarjoaa tarkat kastepistemittapäät siruntestauslaitteita varten. Tutustu DMT143:aan Pidä ultrapuhtaat kaasut ultrapuhtaina Suojaa kalliita prosessikaasuja kosteuden aiheuttamalta kontaminaatiolta. Kaasun laatu vaikuttaa merkittävästi sirun laatuun, sillä pienetkin epäpuhtaudet voivat aiheuttaa vikoja. Kosteus voi reagoida tiettyjen materiaalien kanssa tai aiheuttaa vikoja prosessien, kuten hapettumisen, aikana. Nopeasti reagoiva mittapää havaitsee kosteuden nopeasti ja hälyttää, kun asetettu raja saavutetaan. Tutustu DMT152:aan Varmista paine-ero puhdastilassa Pidä puhdastilan paine-ero helposti ISO 14644 ‑standardin mukaisena Vaisalan herkkien mittapäiden avulla. Vaisalan modulaarisen Indigo-järjestelmän ansiosta voit liittää paine-eron ja kosteuden mittapäät samaan Indigo-lähettimeen.Tutustu paine-eromittapäihimme PDT101 ja PDT102. Vaisala PDT101Vaisala PDT102 Optimoi ja mittaa märkäprosessien pitoisuudet reaaliajassa Puolijohdekiekkojen valmistuslaitoksessa kuluu prosessin aikana tonneittain kemikaaleja. Varmista jokaisen kemikaalin luotettavuus ja vältä poikkeamat määrityksistä, sillä ne voivat johtaa kalliiseen laitteiston kontaminoitumiseen ja kiekkohävikkiin. Puolijohdeprosessin valvonta Asiantunteva sisältö ja asiakastarinat Asiantuntija-artikkeli Kiekkojen laadun ja saannon parantaminen dataan perustuvan reaaliaikaisen slurrynhallinnan avulla Kemiallismekaanisessa kiillotuksessa käytetyn slurryn koostumus vaikuttaa huomattavasti kiekkojen laatuun. Vaisalan inline-prosessirefraktometrit mahdollistavat slurryn koostumuksen reaaliaikaisen seurannan, mikä varmistaa erien yhdenmukaisuuden ja kiekkojen optimaalisen laadun. Lue lisää Asiantuntija-artikkeli Kosteusmittausten parantaminen erittäin kuivissa ympäristöissä Esimerkki prosessiteollisuuden erittäin puhtaista kaasuista Jotkin haastavimmista teollisista prosesseista, kuten puhtaan kaasun tuotanto tai puolijohteiden valmistus, edellyttävät erittäin tarkkoja kosteuspitoisuuksien mittauksia. Lue lisää Asiakascase Korkeiden tarkkuusvaatimusten ylittäminen mikropiirien valmistuksessa: Vaisalan mittalaitteiden merkitys puhdastiloissa Asiakas: China Electronics System Engineering CEFOF ja puolijohdevalmistaja Beijing Memory Technologies, Inc. (BJMT) Haaste: puhdastilan rakentaminen ja mittausjärjestelmän toteuttaminen lämpötilan ja suhteellisen kosteuden erittäin tarkkojen toleranssien valvontaanRatkaisu: Vaisala HMT370EX, Vaisala HMT120 ja Vaisala HMT330. Täydellinen yhdistelmä tarkkoihin mittauksiin haastavissa prosessiolosuhteissa Lue lisää Asiakastarina Miksi Vaisala on monien puolijohdevalmistajien suosima toimittaja, kun kyseessä on volframin CMP:n vetyperoksidipitoisuuden selvittäminen Taitekerroinmittaus on yksinkertainen, kustannustehokas ja tarkka tekniikka, joka tarjoaa reaaliaikaiset tiedot lietemäisen seoksen koostumuksesta. Siksi refraktometri on ensisijainen valinta metrologiseksi mittalaitteeksi monille valmistuslaitoksille. Lisätietoja e-kirja Reaaliaikaisten tietojen ymmärtäminen ja käyttö CMP-prosessissa Tarkat ja nopeat taitekertoimen ja suhteellisen kosteuden mittaukset CMP-työkalujen suorituskyvyn optimointiin Tiesitkö, että taitekertoimen mittaaminen inline-prosessinrefraktometrilla on turvallinen, kustannustehokas ja vain vähän huoltoa tarvitseva reaaliaikainen prosessinvalvontamenetelmä, jolla voidaan määrittää märkäkemikaalien pitoisuudet tarkasti? Lisätietoja Blogi Laadukkaiden puolijohdetuotteiden valmistus edellyttää laadukkaita valmistusposesseja ja niiden monitorointia Tässä blogikirjoituksessa tarkastelemme puolijohdeteollisuuden valmistuslaitteistoja toimittavien tahojen mittaustarpeita ja mittaustarkkuuden varmistamista Vaisalan kosteus- ja paineantureilla. Lue lisää Blogi Vesi on yksi merkittävimmistä epäpuhtauksista puolijohteiden valmistuksessa – mittaa kosteutta ja lämpötilaa tarkasti Jotta voidaan välttää ongelmat tuotteen laadussa ja saannossa, kosteutta ja lämpötilaa on valvottava puolijohteiden valmistuksessa hyvin huolellisesti. Lue lisää Webinaari Piikiekkojen laadun ja saannon optimointi reaaliaikaisilla tiedoilla CMP-prosessin aikana Ilmoittaudu tähän englanninkieliseen webinaariin ja näe, miksi sadat puolijohdevalmistajat eri puolilla maailmaa ovat asentaneet Vaisalan prosessirefraktometrejä prosesseihinsa. Esittelemme mittausratkaisujemme taustalla olevaa teknologiaa ja yleisiä käyttökohteita, minkä jälkeen käymme läpi joitakin tosielämän käyttötapauksia. Katso webinaari Webinaari Varmista saanto puolijohteiden ja akkujen valmistuksessa Tässä englanninkielisessä webinaarissa opit tekniikoita, joilla voit varmistaa parhaan mittaustarkkuuden ja ‑laadun. Lisäksi kuulet käytännön ratkaisuja optimaalisten valmistusolosuhteiden ylläpitämiseen puhdas- ja kuivatiloissa sekä vinkkejä juuri käyttökohteeseesi sopivan tuotteen valintaan. Katso webinaari Liittyvät tuotteet Kastepisteen ja lämpötilan mittapää DMP7 Vaisalan DRYCAP®-kastepiste- ja lämpötilamittapää DMP7 on suunniteltu ahtaisiin tiloihin ja matalan kosteuden sovelluksiin. Lue lisää Kastepisteen ja lämpötilan mittapää DMP8 Vaisalan DRYCAP®-kastepiste- ja lämpötilamittapää DMP8 on suunniteltu teollisiin matalan kosteuden sovelluksiin, joiden paine on enintään 40 baaria. Lue lisää Indigo200-sarjan lähettimet Vaisalan älykkäille mittapäille Vaisalan Indigo200‑sarjan lähettimet ovat isäntälaitteita, joiden avulla voit tarkastella Vaisalan älykkäiden kosteus-, lämpötila-, kastepiste-, öljynkosteus- CO 2 - ja H 2 O 2 -mittapäiden keräämiä mittausarvoja. Lue lisää Kannettava Indigo80 -mittalaite Indigo80 on pienikokoinen kannettava indikaattori ja dataloggeri, ja se on uusin lisäys Indigo-tuoteperheen lähettimiin ja mittapäihin. Lue lisää Indigo500-sarjan lähettimet Vaisalan Indigo500‑sarjan lähettimet ovat isäntälaitteita Vaisalan Indigo-yhteensopiville itsenäisille älykkäille mittapäille. Indigo500-sarjaan kuuluvat monikäyttöinen Indigo520-lähetin ja perustoiminnot sisältävä Indigo510-lähetin. Lue lisää Kastepistelähetin DMT152 Vaisala DRYCAP® kastepistelähetin DMT152 on suunniteltu mittaamaan matalaa kastepistettä OEM-sovelluksissa jopa –80 °C:n lämpötilassa. Lue lisää Pienikokoiset kastepistelähettimet DMT143 ja DMT143L (pitkä) Pienikokoiset kastepistelähettimet DMT143 ja DMT143L ovat hyvä valinta kastepisteen tarkkaan mittaukseen pienissä paineilmakuivaimissa, muovikuivaimissa, lisäävässä valmistuksessa ja muissa OEM-sovelluksissa. Lue lisää Kosteuden ja lämpötilan mittapää HMP110 Pienikokoisen HMP110:n suhteellisen kosteuden mittausalue on 0 – 100 % ja lämpötilan -40 – +80 °C. Mittapäässä on käytössä uusimman sukupolven HUMICAP ® 180R -anturi parasta vakautta ja korkeaa kemikaalien sietokykyä varten. Lue lisää Paine-erolähetin PDT102 Korkean suorituskyvyn PDT102 on suunniteltu ensisijaisesti life sciencen ja korkean teknologian puhdashuonesovelluksiin. Lue lisää Vaisala K-PATENTS® PR-33-S puolijohderefraktometri Kompakti refraktometri, jossa on ultrapuhtaasta muunnellusta PTFE-muovista valmistettu virtauskenno puolijohteiden märkäprosesseihin. Lue lisää Ota yhteyttä Haluaisitko lisätietoja jostain tietystä sovelluksesta tai tuotteesta? Ota meihin yhteyttä, niin vastaamme sinulle mahdollisimman pian. Ota yhteyttä
Liittyvät tuotteet Kastepisteen ja lämpötilan mittapää DMP7 Vaisalan DRYCAP®-kastepiste- ja lämpötilamittapää DMP7 on suunniteltu ahtaisiin tiloihin ja matalan kosteuden sovelluksiin. Lue lisää Kastepisteen ja lämpötilan mittapää DMP8 Vaisalan DRYCAP®-kastepiste- ja lämpötilamittapää DMP8 on suunniteltu teollisiin matalan kosteuden sovelluksiin, joiden paine on enintään 40 baaria. Lue lisää Indigo200-sarjan lähettimet Vaisalan älykkäille mittapäille Vaisalan Indigo200‑sarjan lähettimet ovat isäntälaitteita, joiden avulla voit tarkastella Vaisalan älykkäiden kosteus-, lämpötila-, kastepiste-, öljynkosteus- CO 2 - ja H 2 O 2 -mittapäiden keräämiä mittausarvoja. Lue lisää Kannettava Indigo80 -mittalaite Indigo80 on pienikokoinen kannettava indikaattori ja dataloggeri, ja se on uusin lisäys Indigo-tuoteperheen lähettimiin ja mittapäihin. Lue lisää Indigo500-sarjan lähettimet Vaisalan Indigo500‑sarjan lähettimet ovat isäntälaitteita Vaisalan Indigo-yhteensopiville itsenäisille älykkäille mittapäille. Indigo500-sarjaan kuuluvat monikäyttöinen Indigo520-lähetin ja perustoiminnot sisältävä Indigo510-lähetin. Lue lisää Kastepistelähetin DMT152 Vaisala DRYCAP® kastepistelähetin DMT152 on suunniteltu mittaamaan matalaa kastepistettä OEM-sovelluksissa jopa –80 °C:n lämpötilassa. Lue lisää Pienikokoiset kastepistelähettimet DMT143 ja DMT143L (pitkä) Pienikokoiset kastepistelähettimet DMT143 ja DMT143L ovat hyvä valinta kastepisteen tarkkaan mittaukseen pienissä paineilmakuivaimissa, muovikuivaimissa, lisäävässä valmistuksessa ja muissa OEM-sovelluksissa. Lue lisää Kosteuden ja lämpötilan mittapää HMP110 Pienikokoisen HMP110:n suhteellisen kosteuden mittausalue on 0 – 100 % ja lämpötilan -40 – +80 °C. Mittapäässä on käytössä uusimman sukupolven HUMICAP ® 180R -anturi parasta vakautta ja korkeaa kemikaalien sietokykyä varten. Lue lisää Paine-erolähetin PDT102 Korkean suorituskyvyn PDT102 on suunniteltu ensisijaisesti life sciencen ja korkean teknologian puhdashuonesovelluksiin. Lue lisää Vaisala K-PATENTS® PR-33-S puolijohderefraktometri Kompakti refraktometri, jossa on ultrapuhtaasta muunnellusta PTFE-muovista valmistettu virtauskenno puolijohteiden märkäprosesseihin. Lue lisää
Kastepisteen ja lämpötilan mittapää DMP7 Vaisalan DRYCAP®-kastepiste- ja lämpötilamittapää DMP7 on suunniteltu ahtaisiin tiloihin ja matalan kosteuden sovelluksiin. Lue lisää
Kastepisteen ja lämpötilan mittapää DMP8 Vaisalan DRYCAP®-kastepiste- ja lämpötilamittapää DMP8 on suunniteltu teollisiin matalan kosteuden sovelluksiin, joiden paine on enintään 40 baaria. Lue lisää
Indigo200-sarjan lähettimet Vaisalan älykkäille mittapäille Vaisalan Indigo200‑sarjan lähettimet ovat isäntälaitteita, joiden avulla voit tarkastella Vaisalan älykkäiden kosteus-, lämpötila-, kastepiste-, öljynkosteus- CO 2 - ja H 2 O 2 -mittapäiden keräämiä mittausarvoja. Lue lisää
Kannettava Indigo80 -mittalaite Indigo80 on pienikokoinen kannettava indikaattori ja dataloggeri, ja se on uusin lisäys Indigo-tuoteperheen lähettimiin ja mittapäihin. Lue lisää
Indigo500-sarjan lähettimet Vaisalan Indigo500‑sarjan lähettimet ovat isäntälaitteita Vaisalan Indigo-yhteensopiville itsenäisille älykkäille mittapäille. Indigo500-sarjaan kuuluvat monikäyttöinen Indigo520-lähetin ja perustoiminnot sisältävä Indigo510-lähetin. Lue lisää
Kastepistelähetin DMT152 Vaisala DRYCAP® kastepistelähetin DMT152 on suunniteltu mittaamaan matalaa kastepistettä OEM-sovelluksissa jopa –80 °C:n lämpötilassa. Lue lisää
Pienikokoiset kastepistelähettimet DMT143 ja DMT143L (pitkä) Pienikokoiset kastepistelähettimet DMT143 ja DMT143L ovat hyvä valinta kastepisteen tarkkaan mittaukseen pienissä paineilmakuivaimissa, muovikuivaimissa, lisäävässä valmistuksessa ja muissa OEM-sovelluksissa. Lue lisää
Kosteuden ja lämpötilan mittapää HMP110 Pienikokoisen HMP110:n suhteellisen kosteuden mittausalue on 0 – 100 % ja lämpötilan -40 – +80 °C. Mittapäässä on käytössä uusimman sukupolven HUMICAP ® 180R -anturi parasta vakautta ja korkeaa kemikaalien sietokykyä varten. Lue lisää
Paine-erolähetin PDT102 Korkean suorituskyvyn PDT102 on suunniteltu ensisijaisesti life sciencen ja korkean teknologian puhdashuonesovelluksiin. Lue lisää
Vaisala K-PATENTS® PR-33-S puolijohderefraktometri Kompakti refraktometri, jossa on ultrapuhtaasta muunnellusta PTFE-muovista valmistettu virtauskenno puolijohteiden märkäprosesseihin. Lue lisää
