Ratkaisut puolijohdeteollisuuden märkäprosesseihin sekä laitosten valvontaan ja hallintaan

Puolijohdekiekkojen ja mikroelektroniikan valmistus on haastava prosessi, jossa ei ole tilaa virheille. Ala on riippuvainen erittäin suorituskykyisistä valvonta- ja mittalaitteista, joiden avulla kemialliset koostumukset ja ympäristöolosuhteet voidaan pitää tarkasti määritysten mukaisina. 

Puolijohdekiekko

Puolijohdeteollisuuden märkäprosessit

Puolijohdekiekkojen valmistuslaitoksessa kuluu prosessin aikana tonneittain kemikaaleja. Kemikaaliliuosten luotettavuus on valmistajalle ensiarvoisen tärkeää, sillä pienikin poikkeama määrityksistä voi johtaa kalliiden laitteiden kontaminaatioon ja kiekkohävikkiin. 

Optinen litografia

Veden laatu optisessa litografiassa

Integroidun piirikuvion laatu puolijohteiden valmistuksessa on riippuvainen litografialaitteen olosuhteista. Ilmastoinnin tarkkuutta ja litografiaprosessin kapasiteettia voidaan parantaa tarkalla ilmanpaineen, lämpötilan ja kosteuden mittauksella.

N2-kaasulinja

Paineilma ja N2-prosessilinjat

Jos käytät paineilma- tai typpiprosessilinjoja, voit kastepistemittauksen avulla säästää resursseja välttämällä ilman liiallisen kuivauksen ja laitteiston ruostumisen. Vaisalan DRYCAP-teknologia mahdollistaa tarkat mittaukset, lyhyen vasteajan ja vähäiset huoltotarpeet.

Laitoksen valvonta

Laitoksen valvonta

Puutteellinen ilmanvaihto heikentää paitsi työntekijöiden hyvinvointia myös heidän tuottavuuttaan merkittävästi, jopa 18 prosenttia. Luotettavilla, kestävillä ja jäljitettävällä ilmanvaihtoantureilla tehtävällä tarkalla kosteuden, hiilidioksidin ja lämpötilan mittauksella voidaan parantaa sekä energiatehokkuutta että työntekijöiden hyvinvointia.

Miksi Vaisala?

Vaisala tuntee puolijohdealan hyvin ja on asiakkailleen luotettu kumppani. Hyödynnämme laaja-alaista alan osaamistamme suunnittelemalla ja valmistamalla tuotteita erilaisten kriittisten puolijohdeprosessien tarpeisiin kemikaalien ja prosessin laadun valvonnasta ympäröivän ilman valvontaan. Puolijohdealan osaamisesta kertoo sekin, että valmistamme omassa puhdashuoneessamme laadukkaita mikrosiruja Vaisalan tuotteita ja tuotekehitystyötä varten. Vaisala on sitoutunut tukemaan tuotteitaan koko niiden elinkaaren ajan, ja tarjoamme ensiluokkaista palvelua ja tukea paikallisesti lähelläsi.