Lösungen für Halbleiterprozesse, Anlagenüberwachung und -steuerung

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Die Fertigung von Halbleiterwafern und Mikroelektronik ist ein anspruchsvoller Prozess mit wenig Spielraum für Fehler. Die Industrie ist auf leistungsstarke Überwachungs- und Messtechnik für präzise Chemikalienzusammensetzungen und atmosphärische Bedingungen angewiesen. 

Anwendungen

Nasschemikalien in Echtzeit

In den Halbleiterwaferanlagen werden während des gesamten Herstellungsprozesses Tonnen von Chemikalien verbraucht. Die Zuverlässigkeit jeder Chemikalienlösung hat daher oberste Priorität, da selbst die geringste Abweichung von der Spezifikation eine kostspielige Kontamination der Geräte und Ausschuss von Wafern verursachen kann.

MEHR ZU ÜBERWACHUNG VON FABRIKCHEMIKALIENPROZESSEN

Waferqualität in der Fotolithografie

Die Qualität des integrierten Schaltkreismusters bei der Halbleiterherstellung hängt von den Stepperbedingungen ab. Verbessern Sie Präzisionsklimatisierung und die Prozesskapazität für Waferstepper durch genaue Messungen von Luftdruck, Temperatur und Feuchte.

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Druckluft- und N2-Prozessleitungen

Wenn Sie Druckluft- oder Stickstoffprozessleitungen verwenden, hilft Ihnen die Taupunktmessung, Ressourcen zu sparen, indem übermäßige Lufttrocknung und Korrosion der Geräte vermieden werden. Die Vaisala DRYCAP Technologie ermöglicht eine schnelle Ansprechzeit dank Genauigkeit und geringem Wartungsaufwand.

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Anlagensteuerung

Eine unzureichende Belüftung verringert nicht nur das Wohlbefinden der Mitarbeiter*innen, sondern auch die Produktivität erheblich, und zwar um 18 %. Genaue Messungen von Feuchte, CO2 und Temperatur mithilfe zuverlässiger, langlebiger und rückführbarer HLK-Sensoren sorgen dafür, dass sowohl die Energieeffizienz als auch das Wohlbefinden der Mitarbeiter*innen gewährleistet werden.

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Warum Vaisala?

Vaisala verfügt über umfassendes Fachwissen im Bereich der Halbleiterindustrie und ist ein zuverlässiger
Partner für unsere Kunden. Wir kennen uns in dieser Geschäftssparte sehr gut aus, indem wir Produkte
für verschiedene kritische Halbleiterprozesse entwickeln und herstellen – von der Überwachung von Chemikalien und
Prozessqualität bis hin zur Überwachung der Umgebungsluft.

Unser Prozessverständnis wird durch unseren eigenen Reinraum und die Herstellung hochwertiger Mikrochips für
Vaisala Produkte und F&E-Zwecke vervollständigt. Vaisala ist bestrebt, Produkte über die gesamte Lebensdauer
zu unterstützen. Wir bieten erstklassigen Service und Support in Ihrer Nähe.  

Weitere Informationen

Customer case

Why Vaisala is a preferred vendor for many semiconductor fabrication plants for qualifying H2O2 concentration in CMP of tungsten

RI measurement is a simple, cost-effective, and accurate technique that provides real-time information on slurry composition, making a refractometer the metrology instrument of choice for many fabrication plants.

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Blog

Halbleiterqualitätsprodukte erfordern hochwertige Maschinen mit optimalen Überwachungsgeräten

In diesem Blog befassen wir uns mit dem Vaisala Angebot an Feuchte- und Drucksensoren, die genaue Messungen für Hersteller von Maschinen gewährleisten, die zur Halbleiterproduktion eingesetzt werden.

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Blog

Wasser ist eine der bedeutendsten Verunreinigungen in der Halbleiterfertigung – genaue Messung von Feuchtigkeit, Feuchte und Temperatur

Um Probleme in Bezug auf Produktqualität und Produktertrag zu verhindern, müssen Feuchtegehalt und Temperatur bei der Herstellung von Halbleitern äußerst sorgfältig überwacht werden.

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Webinar

Optimize Wafer Quality and Yield with Real-time Data During the CMP Process

Register for this webinar to learn why Vaisala process refractometers have been installed by hundreds of semiconductor manufacturers worldwide. We’ll review the technology behind our measurement solutions and share common applications before sharing sample use cases from fabricators.

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Webinar

Ensure your yield in semiconductor and battery manufacturing

Join this webinar and learn about different techniques for best measurement accuracy and quality, practical solutions for maintaining optimal manufacturing conditions in cleanroom and dry room conditions, and how to choose the right product for your application.

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