Lösungen für Halbleiterprozesse, Anlagenüberwachung und -steuerung

Die Fertigung von Halbleiterwafern und Mikroelektronik ist ein anspruchsvoller Prozess mit wenig Spielraum für Fehler. Die Industrie ist auf leistungsstarke Überwachungs- und Messtechnik für präzise Chemikalienzusammensetzungen und atmosphärische Bedingungen angewiesen. Wir bieten Halbleiterprozessrefraktometer für die Inline-Konzentrationsüberwachung bei der Dosierung von Massenchemikalien und Schlämmen sowie für Misch-, Spikebildungs- und Polierprozesse am Einsatzort. Außerdem bieten wir Geräte zur Messung von Feuchte, Taupunkt, Temperatur und Druck in und rund um die Halbleiterwerkzeuge und -anlagen.  

Halbleiter – Wafer

Nasschemikalien in Echtzeit

In den Halbleiterwaferanlagen werden während des gesamten Herstellungsprozesses Tonnen von Chemikalien verbraucht. Die Zuverlässigkeit jeder Chemikalienlösung hat daher oberste Priorität, da selbst die geringste Abweichung von der Spezifikation eine kostspielige Kontamination der Geräte und Ausschuss von Wafern verursachen kann.

N2-Gasleitung

Druckluft- und N2-Prozessleitungen

Wenn Sie Druckluft- oder Stickstoffprozessleitungen verwenden, hilft Ihnen die Taupunktmessung, Ressourcen zu sparen, indem übermäßige Lufttrocknung und Korrosion der Geräte vermieden werden. Die Vaisala DRYCAP Technologie ermöglicht eine schnelle Ansprechzeit dank Genauigkeit und geringem Wartungsaufwand.

Anlagensteuerung

Anlagensteuerung

Eine unzureichende Belüftung verringert nicht nur das Wohlbefinden der Mitarbeiter*innen, sondern auch die Produktivität erheblich, und zwar um 18 %. Genaue Messungen von Feuchte, CO2 und Temperatur mithilfe zuverlässiger, langlebiger und rückführbarer HLK-Sensoren sorgen dafür, dass sowohl die Energieeffizienz als auch das Wohlbefinden der Mitarbeiter*innen gewährleistet werden.

Warum Vaisala?

Vaisala verfügt über umfassendes Fachwissen im Bereich der Halbleiterindustrie und ist ein zuverlässiger Partner für unsere Kunden. Wir kennen uns in dieser Geschäftssparte sehr gut aus, indem wir Produkte für verschiedene kritische Halbleiterprozesse entwickeln und herstellen – von der Überwachung von Chemikalien und Prozessqualität bis hin zur Überwachung der Umgebungsluft. Unser Prozessverständnis wird durch unseren eigenen Reinraum und die Herstellung hochwertiger Mikrochips für Vaisala Produkte und F&E-Zwecke vervollständigt. Vaisala ist bestrebt, Produkte über die gesamte Lebensdauer zu unterstützen. Wir bieten erstklassigen Service und Support in Ihrer Nähe.