Lösungen für Halbleiterprozesse, Anlagenüberwachung und -steuerung Kontaktieren Sie uns Die Fertigung von Halbleiterwafern und Mikroelektronik ist ein anspruchsvoller Prozess mit wenig Spielraum für Fehler. Die Industrie ist auf leistungsstarke Überwachungs- und Messtechnik für präzise Chemikalienzusammensetzungen und atmosphärische Bedingungen angewiesen. Anwendungen Nasschemikalien in Echtzeit In den Halbleiterwaferanlagen werden während des gesamten Herstellungsprozesses Tonnen von Chemikalien verbraucht. Die Zuverlässigkeit jeder Chemikalienlösung hat daher oberste Priorität, da selbst die geringste Abweichung von der Spezifikation eine kostspielige Kontamination der Geräte und Ausschuss von Wafern verursachen kann. MEHR ZU ÜBERWACHUNG VON FABRIKCHEMIKALIENPROZESSEN Waferqualität in der Fotolithografie Die Qualität des integrierten Schaltkreismusters bei der Halbleiterherstellung hängt von den Stepperbedingungen ab. Verbessern Sie Präzisionsklimatisierung und die Prozesskapazität für Waferstepper durch genaue Messungen von Luftdruck, Temperatur und Feuchte. ZUGEHÖRIGE PRODUKTE FINDEN (PDF) Druckluft- und N2-Prozessleitungen Wenn Sie Druckluft- oder Stickstoffprozessleitungen verwenden, hilft Ihnen die Taupunktmessung, Ressourcen zu sparen, indem übermäßige Lufttrocknung und Korrosion der Geräte vermieden werden. Die Vaisala DRYCAP Technologie ermöglicht eine schnelle Ansprechzeit dank Genauigkeit und geringem Wartungsaufwand. ZUGEHÖRIGE PRODUKTE FINDEN Anlagensteuerung Eine unzureichende Belüftung verringert nicht nur das Wohlbefinden der Mitarbeiter*innen, sondern auch die Produktivität erheblich, und zwar um 18 %. Genaue Messungen von Feuchte, CO2 und Temperatur mithilfe zuverlässiger, langlebiger und rückführbarer HLK-Sensoren sorgen dafür, dass sowohl die Energieeffizienz als auch das Wohlbefinden der Mitarbeiter*innen gewährleistet werden. ZUGEHÖRIGE PRODUKTE FINDEN Warum Vaisala? Vaisala verfügt über umfassendes Fachwissen im Bereich der Halbleiterindustrie und ist ein zuverlässiger Partner für unsere Kunden. Wir kennen uns in dieser Geschäftssparte sehr gut aus, indem wir Produkte für verschiedene kritische Halbleiterprozesse entwickeln und herstellen – von der Überwachung von Chemikalien und Prozessqualität bis hin zur Überwachung der Umgebungsluft. Unser Prozessverständnis wird durch unseren eigenen Reinraum und die Herstellung hochwertiger Mikrochips für Vaisala Produkte und F&E-Zwecke vervollständigt. Vaisala ist bestrebt, Produkte über die gesamte Lebensdauer zu unterstützen. Wir bieten erstklassigen Service und Support in Ihrer Nähe. Kontaktieren Sie uns Weitere Informationen Customer case Why Vaisala is a preferred vendor for many semiconductor fabrication plants for qualifying H2O2 concentration in CMP of tungsten RI measurement is a simple, cost-effective, and accurate technique that provides real-time information on slurry composition, making a refractometer the metrology instrument of choice for many fabrication plants. Learn more Blog Halbleiterqualitätsprodukte erfordern hochwertige Maschinen mit optimalen Überwachungsgeräten In diesem Blog befassen wir uns mit dem Vaisala Angebot an Feuchte- und Drucksensoren, die genaue Messungen für Hersteller von Maschinen gewährleisten, die zur Halbleiterproduktion eingesetzt werden. Weiterlesen Blog Wasser ist eine der bedeutendsten Verunreinigungen in der Halbleiterfertigung – genaue Messung von Feuchtigkeit, Feuchte und Temperatur Um Probleme in Bezug auf Produktqualität und Produktertrag zu verhindern, müssen Feuchtegehalt und Temperatur bei der Herstellung von Halbleitern äußerst sorgfältig überwacht werden. Weiterlesen Webinar Optimize Wafer Quality and Yield with Real-time Data During the CMP Process Register for this webinar to learn why Vaisala process refractometers have been installed by hundreds of semiconductor manufacturers worldwide. We’ll review the technology behind our measurement solutions and share common applications before sharing sample use cases from fabricators. Register to watch Webinar Sicherstellung des Ertrags in der Halbleiter- und Batteriefertigung In diesem On-Demand-Webinar (auf Englisch) erfahren Sie mehr über verschiedene Techniken für perfekte Messgenauigkeit und -qualität, praktische Lösungen zur Aufrechterhaltung optimaler Fertigungsbedingungen in Reinraum- und Trockenraumumgebungen und die Auswahl des richtigen Produkts für Ihre Anwendung. Zum Anschauen registrieren
