H2O2 汚染除去の計測、モニタリング、および管理

効果的なプロセス、サイクル開発、検証

過酸化水素はアイソレータ、病室、トランスファーハッチ（パスボックス）などのさまざまな用途における環境に優しい汚染除去方法です。過酸化水素蒸気（過酸化水素）の濃度が汚染除去の過程で計測され、プロセス条件が達成されたことを確認することができます。

繰り返し行う汚染除去プロセスにわたって精度を維持するために、PEROXCAP® センサには 2 つの機能、センサ素子の継続的な加温機能とパージ機能（断続的な短時間の加温機能）が組み込まれています。加温機能はセンサの結露を防止し、パージ機能はセンサを急速に加熱することで汚染物質を飛ばし影響を最小限に抑えます。HPP270 シリーズプローブインテリジェント計測技術は、高湿度の困難な汚染除去条件においても、次の校正まで計測精度を維持するのに役立ちます。

  • アイソレータ、cRABS
  • Transfer Hatches & chambers
  • 蒸気発生器
  • インキュベータ
  • 生産ライン
     

H2O2 の計測：相対水分飽和度

PEROXCAP® センサ技術には、2 つの HUMICAP® センサが使用されています。1 つは触媒レイヤがある HUMICAP® センサ、もう 1 つは触媒レイヤなしの HUMICAP® センサです。触媒レイヤは、混合蒸気の過酸化水素へ触媒作用を起こします。したがって、触媒レイヤがある HUMICAP® センサは、水蒸気のみを感知し、相対湿度（RH）を計測します。もう 1 つの触媒層なしの HUMICAP® センサは、過酸化水素蒸気と水蒸気の混合蒸気を感知します。この 2 つのセンサの計測値の差異が、過酸化水素の蒸気濃度を示します。HPP272 プローブにはさらに、温度プローブが装備されており、プロセス温度と湿度（相対湿度と相対水分飽和度）のモニタリングができます。また、汚染除去の重要なパラメータである露点と蒸気圧の計測も可能です。HPP271 プローブオプションを使用すると、過酸化水素の体積比 ppm の計測が可能になります。

除染ガイド（BIO-DECONTAMINATION GUIDE）をダウンロードする（英語のみ）
vaporized H2O2 capacitive thin film RH sensors with catalytic layer

PEROXCAP® の利点

  • 再現可能な計測を実現する独自の高分子薄膜静電容量式センサ
  • 高湿度の除染条件でも安定
  • 1 つのデバイスで複数の計測
  • 現場校正またはトレーサブルな工場出荷時の校正
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HPP272 probe with PEROXCAP® hydrogen peroxide sensor, H2O2 sensor for vaporized hydrogen peroxide concentration and other relevant parameters monitoring in bio-decontamination

HPP270シリーズ 過酸化水素・湿度・温度プローブ

ヴァイサラ PEROXCAP® HPP270シリーズプローブは、デジタル出力とアナログ出力の双方を備えています。このプローブは、除染プロセスにおいてH2O2蒸気を使用するメーカー、サービスプロバイダーおよびエンドユーザーを対象に開発されました。本製品では、H2O2 に加え、相対水分飽和度と相対湿度を参照して温度と湿度が計測され、モニタリングと制御の両方に使用することができます。HPP270シリーズプローブを使った効果的な除染方法の詳細については、以下の記事をご覧ください。

プローブはオプションのヴァイサラ Indigo 変換器とともに使用することや、スタンドアローン型プローブとして使用することができます。Indigo 変換器により、容易なユーザーインターフェースが提供され、プロセス要件に応じて設定することができます。Indigo にはプラグアンドプレイプローブ接続、LCD カラーディスプレイ（アナログモデル用のオプションのディスプレイ無しモデル）、および IP65 準拠の筐体が付属しています。プローブの設定、校正、および調整を容易にするために、プローブをヴァイサラの Insight ソフトウェアに接続することができます。

HPP270

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