H2O2溶液の濃度比、凝縮点、および達成し得る最大vH2O2

このブログは、除染用途でプロセスパラメータが凝縮と過酸化水素蒸気の最大濃度にどのように影響するかについて説明する4部構成のシリーズの第2弾です。（第1弾のブログを読む）

このシリーズでは、プロセスパラメータの4つの基本的なルールを提案します。 このブログは、2番目のルールに焦点を当てています。 

高濃度のH₂O₂溶液は、凝縮前に使用できるH₂O₂蒸気の量を増加させます。

このルールについて説明するために、次のグラフを用意しました（このトピックに関するホワイトペーパーの図 2aおよび図 2b）。グラフは、2つの類似した除染サイクルを示しています。どちらのサイクルも温度は23°C、初期の相対湿度レベルは50%RHで、調整前に10%RHまで除湿されます。

これらのプロセスは、使用するH₂O₂溶液が異なります。グラフの青い線は、12%のH2O2から88%のH₂Oまでの水溶液比率を使用して実行された除染を表しています。黒い線は、59%-mのH₂O₂から41%のH₂Oまでの溶液比率を使用した除染を表しています。 

調整時、凝縮に到達するまでH₂O₂蒸気がチャンバーに注入されます。現実的なサイクルをグラフで作成するために、vH₂O₂の10%が初期値から分解され、分解を補うためにさらにH₂O₂蒸気が除染時に注入されると想定しています。

低濃度の溶液（12%-m）には水が 88% 含まれているため、チャンバーは高濃度（59%-m）の溶液を注入したチャンバーよりも早く相対水分飽和度が100%に達します。（相対水分飽和度（RS）の詳細を見る）

RSが100%になり、凝縮に到達すると、vH₂O₂の濃度（ppm）はそれ以上上昇しないことを理解しておいてください。以下に示すように、59%-mの溶液で達成し得るvH₂O₂の最大濃度は、凝縮前の1,400ppm です。12%-mの溶液におけるvH₂O₂の最大濃度は、700ppmです。

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vH₂O₂サイクル開発の一環として、十分なlogの死滅を発生させるvH₂O₂の量を決定することが含まれます。溶液比が凝縮点（100%RS）と達成し得るvH₂O₂の最大濃度の両方にどのように影響するかを理解することで、サイクル開発を最適化し、再現性のある除染プロセスを確立できるでしょう。 

ホワイトペーパー「凝縮に対する考慮：過酸化水素蒸気除染における影響」で、すべてのルールについてご紹介しています。

このトピックに関するオンデマンドウェブセミナーはこちらです。（英語のみ）

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