半導体製造プロセス

eBook/リアルタイムデータによってCMPプロセス中のウェハー品質と歩留まりを最適化

このプロセスレポートでは、半導体およびMEMS製造における化学機械平坦化(CMP)の湿式化学面を検証し、屈折率計測(RI)の概要を説明しています。

ウエハー洗浄システムの化学薬品界面検出

ウェハークリーニングの界面検知。屈折率計は屈折率計測によって洗浄剤 とDIWを瞬時に切り替えることができ ます。

半導体製造向けウェットケミカル

  • エッチングプロセスを最適化
  • ウエハースループットの向上、洗浄剤(EKCなど)の消費量削減
  • CMPスラリーの厳格な管理、平坦化プロセスの均一性向上を実現

フッ化水素酸(HF) 脱イオン水(DIW) SC-1(H2O2、NH3)

  • 液体間の界面を継続的に監視し、タンクから洗浄ツールへの連続フローを実現
  • 洗浄剤とDIWを瞬時に切り替え

ケミカル製造/パルプ加工プロセス

硝酸製造におけるプロセス制御 (HNO3)

硝石精としても知られる硝酸(HNO3)は、肥料に使われる硝酸アンモニウムの製造に使用されます。ヴァイサラ プロセス屈折率計を使用することで、吸収プロセスを制御し、安定した硝酸濃度値を取得できます。

鉛バッテリー製造における硫酸(H2SO4)の濃度管理 

このプロセスでは、適正な酢酸濃度が必要になります。ヴァイサラ プロセス屈折率計は、鉛バッテリーの活性化による電力を確実に得るために必要な硫酸濃度をインラインで計測します。

ゴム手袋製造における凝固浴濃度計測

ヴァイサラ プロセス屈折率計は、ゴム手袋ラインのさまざまな段階に設置され、浸漬浴溶液の濃度を計測することができます。

クラフト黒液、緑液、ブラウンストック

ヴァイサラ屈折率計は、パルプ製造プロセスの幅広い分野で使用できます。

  • パルプ化プロセス
  • ファイバーラインおよび褐色原料洗浄(BSW)
  • 回収プロセス

医薬品製造プロセス

eBook/製薬およびバイオテクノロジー分野での製造向け屈折率

屈折計は研究開発段階でのPATツールでもあります。ワクチン製造の下流作業で屈折率を使用する利点について説明しています。

  • 精製ステップでウイルス画分を確実に分離。
  • 安全で高品質のワクチン製品を確保。
  • 収量と生産性を向上。

 

薬剤抽出:薬草ベースの医薬品

浸出プロセスでのメリットをご説明しています。

  • 溶媒に溶解した API 含有量の増加の計測データをリアルタイムで取得。
  • 目標濃度を常時確保。
  • 安全で継続的な計測をインラインで行い、サンプリングによる製品汚染のリスクを排除。

アスピリンの結晶化

ヴァイサラ 製薬用屈折率計によるリアルタイムの濃度計測を利用することで、下記のことが可能になります。

  • 結晶化操作を制御する。
  • 母液濃度を監視する。

ワクチンの製造

ショ糖/スクロース勾配遠心分離は、大規模生産におけるウイルスの精製と濃縮に広く使用されています。

  • 精製ステップでウイルス画分を確実に分離。
  • 安全で高品質のワクチン製品を確保。
  • 収量と生産性を向上。

食品飲料製造プロセス

eBook/食品科学に関するアプリケーション

幅広い分野についてのメリットをご紹介しています。

  • 農業と一次生産
  • 輸送と保管
  • 食品の産業用加工
  • データに基づく食糧生産
  • 食品廃棄物の価値あるリサイクル

 

インラインで麦汁のPlato値を計測し、ビール醸造プロセスを最適化

溶解固形分の重量パーセント濃度、Plato値、Brix値、Balling値、重量または密度をリアルタイムかつインラインで判断する方法を解説しています。

トマトソースの製造におけるインラインBrix値計測

プロセス全体の常時監視と制御を行う方法についてご紹介します。

  • 混合/希釈タンク内:一定のBrix値を確保
  • 最終製品の貯蔵タンクへのインライン:最終的な品質管理計測
  • 充填ライン内:最終製品の濃度計測、CIPプロセスの制御

セルロース製ソーセージケーシングの生産における苛性溶液のインラインモニタリング

苛性溶液の目標濃度を維持するために必要となるリアルタイムの継続的な情報を、ヴァイサラ 屈折率計で計測することができます。

  • 手動サンプリングや試験の必要性を排除
  • プロセスの自動操作を提供