Soluciones para procesos de semiconductores, monitoreo y control de instalaciones

La fabricación de obleas de semiconductores y la fabricación de microelectrónica es un proceso exigente con poco espacio para errores. La industria depende de la instrumentación de monitoreo y la medición de alto rendimiento para composiciones químicas precisas y condiciones atmosféricas. Ofrecemos refractómetros de proceso de semiconductores para el monitoreo de concentración en línea en la dispensación de entrega de productos químicosa granel, y procesos de mezcla, adición y pulido en el punto de uso; así como instrumentos para medir la humedad, el punto de rocío, la temperatura y la presión dentro y alrededor de las herramientas y las instalaciones de los semiconductores.  

Semiconductor: oblea

Química húmeda en tiempo real

Las plantas de obleas de semiconductores consumen toneladas de productos químicos durante todo el proceso de fabricación. La confiabilidad de cada solución química es la principal preocupación de los fabricantes, ya que incluso la más mínima desviación de la especificación puede producir la contaminación del equipo y desperdicios en las obleas. 

Fotolitografía

Calidad de la oblea en fotolitografía

La calidad del patrón de circuito integrado en la fabricación de semiconductores depende de las condiciones paso a paso. Mejore la precisión del aire acondicionado y la capacidad del proceso paso a paso de obleas con una medición precisa de la presión del aire, la temperatura y la humedad.

Gasoducto N2

Líneas de proceso de aire comprimido y N2

Si está utilizando líneas de proceso de aire comprimido o nitrógeno, la medición del punto de rocío lo ayudará a ahorrar recursos al evitar el secado excesivo del aire y la corrosión del equipo. La tecnología DRYCAP de Vaisala permite un tiempo de respuesta rápido con precisión y bajas necesidades de mantenimiento.

Control de las instalaciones

Control de las instalaciones

La ventilación insuficiente disminuye no solo el bienestar de los empleados sino también la productividad de manera sustancial, hasta un 18 %. Con mediciones precisas de humedad, CO2 y temperatura que utiliza sensores HVAC confiables, duraderos y rastreables, se puede lograr simultáneamente la eficiencia energética y el bienestar de los empleados.

Por qué Vaisala

Vaisala es una gran experta en la industria de los semiconductores y un socio confiable para nuestros clientes. Tenemos una comprensión profunda y completa del negocio al diseñar y fabricar productos para diferentes procesos críticos de semiconductores, desde productos químicos y de monitoreo de calidad de procesos hasta monitoreo de aire ambiental. Nuestra comprensión del proceso se completa con nuestra propia sala limpia interna y la fabricación de microchips de alta calidad para los productos Vaisala y para otros fines. Vaisala se compromete a respaldar los productos durante todo el ciclo de vida, y se ofrecen servicios y soporte superiores a nivel local cerca de usted.