Lösungen für Halbleiterprozesse, Anlagenüberwachung und -steuerung Die Herstellung von Halbleiter-Wafern und Mikroelektronik ist ein anspruchsvoller Prozess mit wenig Spielraum für Fehler. Die Industrie ist auf leistungsstarke Überwachungs- und Messgeräte für präzise chemische Zusammensetzungen und atmosphärische Bedingungen angewiesen. Wir bieten Halbleiterprozessrefraktometer für die In-Line-Konzentrationsüberwachung bei der Dosierung von Chemikalien und Schlämmen in großen Mengen sowie für Misch-, Spitzen- und Polierprozesse am Einsatzort. Außerdem bieten wir Geräte zur Messung von Feuchte, Taupunkt, Temperatur und Druck in und rund um die Halbleiterwerkzeuge und -anlagen. Wet Chemistry in Echtzeit Bei der Herstellung von Halbleiter-Wafern werden in den Anlagen während des gesamten Herstellungsprozesses Tonnen von Chemikalien verbraucht. Die Zuverlässigkeit jeder chemischen Lösung hat daher oberste Priorität, da selbst die geringste Abweichung von der Spezifikation eine kostspielige Kontamination der Ausrüstung und Ausschuss von Wafern verursachen kann. Überwachung chemischer Herstellungsprozesse Waferqualität in der Fotolithografie Die Qualität des integrierten Schaltkreismusters bei der Halbleiterherstellung hängt von den Stepper-Bedingungen ab. Verbessern Sie die Prozesskapazität für Präzisionsklimatisierung und Wafer-Stepper durch genaue Messungen von Druck, Temperatur und Feuchte. Zugehörige Produkte finden (PDF) Druckluft- und N2-Prozesslinien Wenn Sie Druckluft- oder Stickstoffprozesslinien verwenden, unterstützt die Taupunktmessung Sie dabei, Ressourcen zu sparen, indem übermäßige Lufttrocknung und Korrosion der Geräte vermieden werden. Die Vaisala DRYCAP Technologie ermöglicht eine schnelle Ansprechzeit dank Genauigkeit und geringem Wartungsaufwand. Zugehörige Produkte finden Anlagensteuerung Eine unzureichende Belüftung verringert nicht nur das Wohlbefinden der Mitarbeiter*innen, sondern auch die Produktivität erheblich, und zwar um 18 %. Genaue Messungen von Feuchte, CO2 und Temperatur mithilfe zuverlässiger, langlebiger und rückführbarer HLK-Sensoren sorgen dafür, dass sowohl die Energieeffizienz als auch das Wohlbefinden der Mitarbeiter*innen gewährleistet werden. Zugehörige Produkte finden Warum Vaisala? Vaisala verfügt über umfassendes Fachwissen im Bereich der Halbleiterindustrie und ist ein zuverlässiger Partner für unsere Kunden. Wir kennen uns in dieser Geschäftssparte sehr gut aus, indem wir Produkte für verschiedene kritische Halbleiterprozesse entwickeln und herstellen – von der Überwachung von Chemikalien und Prozessqualität bis hin zur Überwachung der Umgebungsluft. Unser Prozessverständnis wird durch unseren eigenen Reinraum und die Herstellung hochwertiger Mikrochips für Vaisala Produkte und F&E-Zwecke vervollständigt. Vaisala ist bestrebt, Produkte über die gesamte Lebensdauer zu unterstützen. Wir bieten erstklassigen Service und Supportleistungen in Ihrer Nähe. Kontaktieren Sie uns
Die Herstellung von Halbleiter-Wafern und Mikroelektronik ist ein anspruchsvoller Prozess mit wenig Spielraum für Fehler. Die Industrie ist auf leistungsstarke Überwachungs- und Messgeräte für präzise chemische Zusammensetzungen und atmosphärische Bedingungen angewiesen. Wir bieten Halbleiterprozessrefraktometer für die In-Line-Konzentrationsüberwachung bei der Dosierung von Chemikalien und Schlämmen in großen Mengen sowie für Misch-, Spitzen- und Polierprozesse am Einsatzort. Außerdem bieten wir Geräte zur Messung von Feuchte, Taupunkt, Temperatur und Druck in und rund um die Halbleiterwerkzeuge und -anlagen.
Wet Chemistry in Echtzeit Bei der Herstellung von Halbleiter-Wafern werden in den Anlagen während des gesamten Herstellungsprozesses Tonnen von Chemikalien verbraucht. Die Zuverlässigkeit jeder chemischen Lösung hat daher oberste Priorität, da selbst die geringste Abweichung von der Spezifikation eine kostspielige Kontamination der Ausrüstung und Ausschuss von Wafern verursachen kann. Überwachung chemischer Herstellungsprozesse
Waferqualität in der Fotolithografie Die Qualität des integrierten Schaltkreismusters bei der Halbleiterherstellung hängt von den Stepper-Bedingungen ab. Verbessern Sie die Prozesskapazität für Präzisionsklimatisierung und Wafer-Stepper durch genaue Messungen von Druck, Temperatur und Feuchte. Zugehörige Produkte finden (PDF)
Druckluft- und N2-Prozesslinien Wenn Sie Druckluft- oder Stickstoffprozesslinien verwenden, unterstützt die Taupunktmessung Sie dabei, Ressourcen zu sparen, indem übermäßige Lufttrocknung und Korrosion der Geräte vermieden werden. Die Vaisala DRYCAP Technologie ermöglicht eine schnelle Ansprechzeit dank Genauigkeit und geringem Wartungsaufwand. Zugehörige Produkte finden
Anlagensteuerung Eine unzureichende Belüftung verringert nicht nur das Wohlbefinden der Mitarbeiter*innen, sondern auch die Produktivität erheblich, und zwar um 18 %. Genaue Messungen von Feuchte, CO2 und Temperatur mithilfe zuverlässiger, langlebiger und rückführbarer HLK-Sensoren sorgen dafür, dass sowohl die Energieeffizienz als auch das Wohlbefinden der Mitarbeiter*innen gewährleistet werden. Zugehörige Produkte finden
Warum Vaisala? Vaisala verfügt über umfassendes Fachwissen im Bereich der Halbleiterindustrie und ist ein zuverlässiger Partner für unsere Kunden. Wir kennen uns in dieser Geschäftssparte sehr gut aus, indem wir Produkte für verschiedene kritische Halbleiterprozesse entwickeln und herstellen – von der Überwachung von Chemikalien und Prozessqualität bis hin zur Überwachung der Umgebungsluft. Unser Prozessverständnis wird durch unseren eigenen Reinraum und die Herstellung hochwertiger Mikrochips für Vaisala Produkte und F&E-Zwecke vervollständigt. Vaisala ist bestrebt, Produkte über die gesamte Lebensdauer zu unterstützen. Wir bieten erstklassigen Service und Supportleistungen in Ihrer Nähe. Kontaktieren Sie uns
