Rifrattometro per semiconduttori Vaisala K-PATENTS® PR-33-S
per processi chimici liquidi per semiconduttori
Un rifrattometro compatto con un corpo con celle di flusso in PTFE ultra puro modificato per processi chimici liquidi per semiconduttori. Collegato al processo tramite adattatore svasato o verticale da ¼" a 1".
Il rifrattometro per semiconduttori Vaisala K-PATENTS® PR-33-S monitora la concentrazione delle sostanze chimiche degli impianti di produzione nell'ambiente delle camere bianche e negli strumenti di processo integrati (miscelazione, pulizia, incisione e CMP).
Il PR-33-S è costituito da un corpo con celle di flusso in PTFE ultra puro modificato e da un cavo Ethernet che qualsiasi switch PoE (Power-over-Ethernet) standard può utilizzare per alimentare sensore e trasmettere i dati a un computer. Il PR-33-S monitora le concentrazioni chimiche in tempo reale e fornisce un segnale di uscita Ethernet e un feedback immediato, qualora la sostanza chimica non sia conforme alle specifiche. Ad esempio, è possibile configurare allarmi a bassa e alta concentrazione per controllare e aumentare la durata del bagno. La concentrazione viene determinata effettuando una misurazione ottica dell'indice di rifrazione nD della soluzione e della temperatura.
Il PR-33-S viene montato direttamente in linea tramite adattatore svasato o verticale. Il PR-33 presenta un design compatto e privo di metallo e si caratterizza per l'ingombro ridotto.
Caratteristiche principali:
- Taratura tracciabile N.I.S.T., verifica con liquidi R.I. standard e procedura validata.
- Ottica CORE brevettata (brevetto USA n. US6067151).
- Interfaccia remota via Ethernet per la registrazione dei dati e il funzionamento remoto.
- La comunicazione è basata sui protocolli UDP/IP standard.
- Intervallo temperatura di esercizio: -20°C – 85°C (-4°F – 185°F).
- Misurazione rapida della temperatura del processo tramite Pt1000 integrata e compensazione automatica digitale della temperatura.
