Vaisala K-PATENTS® PR-33-S puolijohderefraktometri puolijohteiden märkäprosesseihin Kompakti refraktometri, jossa on ultrapuhtaasta muunnellusta PTFE-muovista valmistettu virtauskenno puolijohteiden märkäprosesseihin. Laite kytketään prosessiin ¼–1 tuuman muhvi- tai kierreliitoksella. Vaisala K-PATENTS® PR-33-S puolijohderefraktometri monitoroi valmistuskemikaalien pitoisuutta puhdashuoneympäristöissä ja integroiduissa prosessityökaluissa (sekoitus, puhdistus, etsaus ja kemiallismekaaninen tasoitus eli CMP). OTA YHTEYTTÄ TUTUSTU KAIKKIIN SOVELLUKSIIN PR-33-S koostuu ultrapuhtaasta muunnellusta PTFE-muovista valmistetusta virtauskennosta sekä Ethernet-kaapelista, jota voi käyttää minkä tahansa standardinmukaisen PoE (Power-over-Ethernet) -kytkimen avulla virran siirtämiseksi anturiin ja tietojen siirtämiseksi tietokoneeseen. PR-33-S valvoo kemikaalien pitoisuuksia reaaliaikaisesti ja antaa Ethernetin kautta lähtösignaalin ja välittömän palautteen, jos kemikaalin pitoisuus ei ole määritysten mukainen. Laitteeseen voidaan määrittää esimerkiksi matalan ja korkean pitoisuuden hälytykset, mitkä auttavat kylvyn keston hallinnassa ja pidentämisessä. Pitoisuus määritetään liuoksen taitekertoimen nD-arvon optisella mittauksella sekä lämpötilamittauksella. PR-33-S asennetaan suoraan prosessilinjaan kierre- tai muhviliitoksella. PR-33-S:n rakenne on kompakti ja metalliton, ja se mahtuu pieneen tilaan. Tärkeimmät ominaisuudet: N.I.S.T.-jäljitettävä kalibrointi, tarkistus standardinmukaisilla taitekerroinnesteillä ja validoidulla menettelyllä. Patentoitu CORE-optiikka (Yhdysvaltain patenttinro US6067151). Ethernet-etäpaneeli tietojen kirjausta ja etäkäyttöä varten. Tietoliikenne perustuu standardinmukaisiin UDP/IP-protokolliin. Prosessin lämpötila-alue: −20 ... +85 °C. Nopea prosessin lämpötilamittaus sisäisen Pt1000-anturin ja automaattisen digitaalisen lämpötilakompensaation avulla. Tärkeimmät hyödyt Täysin digitaalinen laite Vaisala K‑PATENTS® PR-33-S puolijohderefraktometriä käytetään prosessin ohjaukseen ja valvontaan, ja se tuottaa jatkuvan Ethernet-lähtösignaalin. Laitteen rakenne on kompakti, ja se asennetaan suoraan prosessilinjaan. Tarkat ja luotettavat mittaukset koko mittausalueella Taitekertoimen nD-arvon koko mittausväli on 1,32–1,53, mikä vastaa 0–100 painoprosenttia. Vaihtoehtoinen mittausväli vahvalle hydrofluorihapolle (HF) on 1,26–1,47. Tyypillinen tarkkuus on +0,0002, joka tavallisesti vastaa 0,1 painoprosenttia esimerkiksi vedessä olevalle vetykloridille (HCl). Mittaukseen eivät vaikuta partikkelit, kuplat, pyörteiset virtaukset eivätkä PPM-alueella olevat epäpuhtaudet. Helppo huoltaa Patentoitu optinen elementti. Ei ryömintää. Ei uudelleenkalibrointia. Ei mekaanista säätöä. Tuotedokumentaatio Docs.vaisala.com Lisää liitteitä Asiakastarinoita Customer case Why Vaisala is a preferred vendor for many semiconductor fabrication plants for qualifying H2O2 concentration in CMP of tungsten RI measurement is a simple, cost-effective, and accurate technique that provides real-time information on slurry composition, making a refractometer the metrology instrument of choice for many fabrication plants. Learn more
