Vaisala Polaris™ Halbleiterprozessrefraktometer PR53S
Inline-Messung von Chemikalienkonzentration in Echtzeit für Halbleiternassprozesse
Das Vaisala Polaris™ PR53S ist ein kompaktes, ultrareines Inline-Refraktometer, das für nass-chemische Halbleiterprozesse entwickelt wurde. Die modifizierte PTFE-Durchflusszelle und 0,25- bis 1-Zoll-Pillar- oder Flare-Anschlussstücke ermöglichen eine nahtlose Integration in Nassbänke, chemische Verteilungssysteme und Prozesswerkzeuge über Misch-, Reinigungs-, Ätz- und CMP-Schritte.
Das PR53S misst die Chemikalienkonzentration kontinuierlich in Echtzeit – sowohl in Reinraumumgebungen als auch in integrierten Prozesswerkzeugen – und ermöglicht eine präzise Prozesssteuerung in jeder Phase.
Dank hochpräziser, zuverlässiger und wiederholbarer Messungen kann das PR53S komplexe und kostspielige Analysegeräte bei der Dosierung von Massenchemikalien, Mischprozessen und Überwachung am Einsatzort durch eine einzige Inline-Brechungsindexmessung ersetzen.
Gleichbleibende Chemikaliensteuerung für anspruchsvolle chemische Prozesse und Schlämme
Genaue Messung über eine breite Palette von Chemikalien, einschließlich anspruchsvoller Schlammanwendungen. Zuverlässige Leistung auch bei Blasen, Partikeln oder Kristallen gewährleistet stabile und vertrauenswürdige Daten in realen Prozessen.
Ideal für die Mischung und Überwachung von Chemikalien in der Feinchemie- und Halbleiterindustrie baut das Polaris PR53S auf über vierzig Jahre Innovation der Vaisala K-PATENTS® Prozessrefraktometer-Serie auf. Als Teil der neuesten PR53 Generation bietet es optimierte Auflösung und erhöhte Kompatibilität für moderne Prozessumgebungen.
Entscheidende Vorteile
Entwickelt für nass-chemische Prozesse und Schlämme in der Halbleiterfertigung
Kontinuierliche Inline-Konzentrationsmessung für eine präzisere Prozesssteuerung
Ultrareine, modifizierte PTFE-Durchflusszelle und kompakte Bauweise für die Verwendung im Reinraum und für werkzeugintegrierten Einsatz
Präzise, wiederholbare, abweichungsfreie Brechungsindexmessung dank integrierter Temperaturkompensation
Ausgezeichnete Langzeitstabilität und keine beweglichen Teile für geringen Wartungsaufwand und lange Betriebszeit
Eigenständiger Betrieb oder nahtlose Integration mit Vaisala Messwertgeber Indigo520 und tragbarem Vaisala Anzeigegerät Indigo80
Indigo80 für Vaisala Polaris™ Prozessrefraktometer
Entdecken Sie die unübertroffene Kombination aus Vaisala Indigo80 und Polaris™ Prozessrefraktometern. Mit dem Indigo80, einem Display für unterwegs, können Sie Sonden ohne Ausfallzeiten konfigurieren und kalibrieren, Daten von einzelnen Sonden zur schnellen Diagnose protokollieren und potenziellen Wartungsbedarf einfach ermitteln.
PC-Software Insight
Verwenden Sie die kostenlose Software Insight, um von Ihrem Desktop aus auf Ihr Instrument zuzugreifen, Ihr PR53S zu kalibrieren und neue chemische Kurven herunterzuladen.
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