Tillverkning av halvledare
Kiselchips av högsta kvalitet tillverkas genom att använda sofistikerade maskiner, processer och kunskap. Bakom våra framgångsrika processer finns högpresterande övervaknings- och mätinstrument.
Det är viktigt att varje kiselchips fungerar som avsett, och att det tillverkas med precis rätt mängd material, energi och andra resurser.
Garanterad framgång med kvalitetsmätningar
Från vått till torrt och omvänt
Oavsett om det handlar om tillverkning av halvledarwafers och tillverkning av mikroelektronik eller förpackning av halvledare kan du säkerställa dina kritiska processteg med betrodda och tillförlitliga mätningar för stabil kvalitet, högt utbyte, hög förutsägbarhet och kostnadseffektivitet.
Vårt erbjudande innefattar instrument som mäter fuktighet, daggpunkt, temperatur, tryck och våtkemiska koncentrationer. Varje produkt producerar exakta data om tillverkningsmiljön och ger överlägsen noggrannhet, långsiktig stabilitet och snabb responstid för processoptimering, ökat utbyte, större säkerhet och bästa presterande chips.
Av dessa skäl är Vaisala den föredragna mätpartnern för halvledartillverkare och MEMS-gjuterier, tillverkare av halvledarutrustning och OEM-tillverkare, fabriksoperatörer och materialleverantörer.
Från frontend till backend och hela vägen till kunden, så finns vi här för dig.
Teknikjämförelse
Läs om hur Vaisalas daggpunktsprob står sig mot CRDS (Cavity Ring-Down Spectrometer)
och transmittrar med kyld spegel i de mest krävande driftmiljöerna, som
batteri- och halvledartillverkning.
| Vaisalas daggpunktprob | CRDS | transmitter för kyld spegel | |
| Td-mätning område* | –80 °C...+20 °C | –100 °C...–50 °C | –70 °C...+20 °C |
| In-situ-mätning | Ja | Nej, kräver provtagning och stor tryckskillnad | Nej, kräver provtagning |
| Td-noggrannhet under laboratorieförhållanden* | +/–2 °C | +/-0,2 °C | +/-0,2 °C |
| Tryckområde* | 1 ... 50 bar | 1–5 bar | Endast ~1 bar |
| Beroende av atmosfäriska förhållanden | Ej beroende | Beroende. Kräver stabila atmosfäriska förhållanden. Provtagning kan orsaka fel i icke-laboratorie miljö. | Beroende. Lägsta daggpunkt ökar om omgivningstemperaturen höjs. Provtagning kan generera fel i miljöer utanför laboratorium. |
| Svarstid* | Minuter | Tiotals minuter | Timmar |
| Sensitivity (Känslighet) | Hög | Låg (kan inte upptäcka snabba förändringar, medelvärdesmätning) | Låg (kan inte upptäcka snabba förändringar, medelvärdesmätning) |
| Storlek | Liten och lätt. Får enkelt plats på olika platser | Medelstor, ca 10 kg | Från stor och tung till medelstor |
| Kräver regelbunden service av operatör | Krävs ej | Krävs ej | Krävs |
| Innehåller komponenter som kräver service | Krävs ej | Krävs ej i ren miljö | Krävs (t.ex. Peltier) |
| Lokal kalibrering/ support tillgänglig | Ja | Förmodligen inte | Förmodligen inte |
| Beroende av bakgrundsgaser | Litet | Potentiellt stort | Potentiellt avgörande |
* Typiska värden vid batteri- och halvledartillverkning
VARFÖR VAISALA
Konstruerad för halvledartillverkning
Vaisalas omfattande erbjudande med precis rätt parametrar ger stabila mätningar inom halvledartillverkning.
Mätnoggrannhet designad i produkten
Välj produkter som omges av ett ekosystem av support, med optimerad ägandekostnad och med minimala livscykelkostnader.
Undvik risker – välj tillförlitliga produkter från vått till torrt
Vaisalas produkter täcker hela mätområdet och allt du behöver från vått till torrt, inklusive produkter för specifika applikationer.
Skräddarsydda produkter – engineer-to-order
Visste du att våra produkter kan anpassas till en specifik applikation eller installationsplats?
Inget ger oss mer glädje än att lösa svåra mätproblem tillsammans med dig. Kontakta oss! Vi finns här för att hjälpa dig.
Vi lever som vi lär
Vaisala producerar sensorchips för Vaisala-produkter och för FoU-användning i vårt eget interna renrum. Vi vet vad som krävs för att producera kvalitet i världsklass.
Dessutom är Vaisala engagerade i att ge support för våra produkter under hela deras livscykel och våra experttjänster och support finns nära dig, var du än befinner dig.
Applikationer för tillverkning av halvledare
Miljömätningar i renrum, VVS
Fuktkontroll genom luftkonditioneringssystem, VVS
Fuktighetsnivåer kan också påverka halvledartillverkningsprocessen. Överdriven fuktighet kan leda till kondensbildning på känslig utrustning, vilket potentiellt kan orsaka defekter i halvledarenheterna. Precisionssystem för luftkonditionering hjälper till att kontrollera fuktighetsnivåerna och fungerar som ett förebyggande verktyg.
Effektiv övervakning i hela rummet för maximal processeffektivitet
Genom att placera proberna strategiskt och med lämpliga intervall kan torrummet eller renrummet övervakas effektivt, vilket säkerställer omfattande kontroll av hela rummet, oavsett storlek.
DMP1 är optimal för stabil processtillförlitlighet och korrekta torrhetsnivåer i batteri och tillverkning av halvledare med Indigo300.
Rengöring av kiselbrickor med hjälp av hållbara produkter
Rengöring av kiselbrickor är en kritisk process vid halvledartillverkning för att ta bort föroreningar, partiklar och rester från ytan på kiselbrickor. Denna process säkerställer tillförlitligheten och funktionaliteten hos integrerade kretsar (IC) och andra halvledarenheter.
Extra hållbarhet
Rengöringsmedel kan innehålla syror, olika lösningsmedel och vatten, och rester av dessa kan finnas kvar, vilket kräver extra hållbara mätprober.
Vaisala erbjuder korrosionsbeständiga prober även utan metallvåtdelar, särskilt anpassade för processen för rengöring av kiselbrickor, som tål både hög fuktighet och starka kemikalier.
Det är viktigt att säkerställa att chipen är torra efter rengöring för att förhindra kontaminering och vidhäftning av partiklar.
Brickstepprar inom fotolitografi
Brickstepprar inom fotolitografi är ett annat kritiskt processteg i produktionen av integrerade kretsar (IC) och andra halvledarenheter. I detta steg projiceras ett ljusmönster på en kiselbricka belagd med fotokänsligt material (fotoresist), varigenom det önskade mönstret etsas på brickan. Som ett resultat kan vissa fotolitografiområden ha fukttoleranser så snäva som ±1 %.
Temperaturkontroll för nollvariationer i brickmönstren
Kvalitetsmätprober i stepprar erbjuder stabila temperaturmätningar och skyddar brickorna mot dimensionsvariationer i mönstren som induceras av temperaturvariationer. Fel dimensioner på brickmönstren påverkar den övergripande kvaliteten och prestandan hos halvledarenheterna negativt.
Fuktkontroll för optikstabilitet
Bricksteppern förlitar sig på precis optik för att projicera och överföra mönster till kiselbrickan. Eventuella variationer i temperatur eller andra miljöförhållanden kan påverka stabiliteten och noggrannheten hos denna optik.
Barometrisk tryckkontroll för noggrann litografi och processtabilitet
Att mäta det barometriska trycket är ett måste för optisk precision och noggrannhet i litografiprocessen eftersom det barometriska trycket direkt påverkar luftens brytningsindex, vilket i sin tur påverkar brickstepperns optik och litografiljusets våglängd.
Fokus och djupkontroll
Förhindra oskarpa bilder genom att mäta och kontrollera det barometriska trycket med snabba och exakta mätinstrument.
Håll chipprobmaskinen isfri med fuktkontroll
Brickprobmaskinerna identifierar defekta kiselbrickor genom att testa chips. Testerna utförs i kalla temperaturer ned till -40 Celsius (-40 Fahrenheit) för att säkerställa att chipet fungerar i extrema temperaturer, till exempel om det senare är tänkt att användas i ett fordon.
Testmiljön måste hållas torr med en daggpunktstemperatur under -40 så att det inte förekommer någon isbildning på chipet, som när det senare överförts till rumstemperatur smälter till vatten och ansamlar föroreningar på chipet.
Vaisala erbjuder noggranna daggpunktsprober för chipprobmaskinerna.
Håll ultrarena gaser ultrarena
Skydda dyra processgaser från att bli förorenade av fukt. Gasens kvalitet påverkar chipkvaliteten avsevärt, eftersom även spår av föroreningar kan leda till defekter eller fel. Fukt kan reagera med vissa material eller införa defekter under processer som oxidation.
En snabbt reagerande prob upptäcker eventuell fukt snabbt och varnar när den inställda gränsen nås.
Säkerställ tryckdifferensen i ett renrum
Bibehåll enkelt tryckdifferensen i renrummet i enlighet med ISO 14644-standarder med våra känsliga prober. Med Vaisalas moduluppbyggda Indigo-system kan du ansluta dina tryckdifferens- och fuktmätprober till samma Indigo-transmitter.
Läs mer om våra tryckdifferensprober PDT101 och PDT102.
Optimera och mät våtkemikoncentrationen i realtid
Anläggningar för tillverkning av kiselbrickor förbrukar mängder av kemikalier under tillverkningsprocessen. Säkerställ tillförlitligheten för varje kemikalie och undvik avvikelser från specifikationerna som kan resultera i dyr utrustningskontaminering och kassering av kiselbrickor.
Expertinnehåll och kundfall
Semiconductor manufacturing related products
Dew Point Probe DMP1
Dew Point Transmitter DMT152
Dew Point and Temperature Probe DMP7
Indigo80 handheld measurement device
Indigo300 transmitter
Indigo500 Series Transmitters
Dew Point and Temperature Probe DMP8
Miniature Dew Point Transmitters DMT143 & DMT143L (Long)
Humidity and Temperature Probe HMP110
Differential Pressure Transmitter PDT102
Vaisala K-PATENTS® Semicon Refractometer PR-33-S
Kontakta oss
Är du intresserad av att få mer information om en specifik applikation eller produkt? Hör av dig, så återkommer vi!
