Vaisala Polaris™ PR53S prosessirefraktometri puolijohdealalle
Kemikaalipitoisuuksien reaaliaikainen putkensisäinen mittaus puolijohdevalmistuksen märkäprosesseissa
Vaisala Polaris™ PR53S on kompakti, erittäin puhdas inline-refraktometri, joka on suunniteltu nestemäisiä kemikaaleja käyttäviin puolijohdeteollisuuden sovelluksiin. Sen muokattu PTFE-virtauskenno ja ¼–1 tuuman pylväs- tai kartioliitäntä mahdollistaa saumattoman integroinnin märkäpenkkeihin, kemikaalien jakelujärjestelmiin ja prosessityökaluihin sekoitus-, puhdistus-, etsaus- ja CMP-vaiheissa.
PR53S mittaa kemikaalipitoisuutta jatkuvasti reaaliajassa sekä puhdastiloissa että integroiduissa prosessityökaluissa ja auttaa pitämään prosessin tiukasti hallinnassa jokaisessa vaiheessa.
Erittäin tarkkojen, luotettavien ja toistettavien mittausten ansiosta PR53S voi korvata monimutkaiset ja kalliit analysaattorit massa-annostelussa, sekoituksessa ja käyttöpistevalvonnassa yhdellä inline-taitekerroinmittauksella.
Yhdenmukainen kemiallisten prosessien hallinta vaativille kemikaaleille ja slurryille
Tarkka mittaus laajalle kemikaalikirjolle, vaativat slurrysovellukset mukaan lukien. Luotettavat mittaustiedot todellisissa prosesseissa silloinkin, kun niissä esiintyy kuplia, hiukkasia tai kiteitä.
Polaris PR53S perustuu Vaisala K-PATENTS® ‑prosessirefraktometrisarjan innovaatioihin yli 40 vuoden ajalta, ja se sopii erinomaisesti kemikaalien sekoitukseen ja valvontaan hienokemian ja puolijohdeteollisuuden aloilla. Se edustaa uusinta PR53-sukupolvea, joka tuo entistäkin parempaa tarkkuutta ja yhteensopivuutta nykyaikaisiin prosessiympäristöihin.
Tärkeimmät edut
Suunniteltu puolijohdealan nestemäisten kemikaalien prosesseihin ja slurryprosesseihin
Jatkuva inline-pitoisuusmittaus mahdollistaa prosessin tarkan hallinnan
Erittäin puhdas muokattu PTFE-virtauskenno ja kompakti rakenne puhdastilakäyttöön ja prosessityökaluintegrointeihin
Tarkka, toistettava ja ryömimätön taitekerroinmittaus ja integroitu lämpötilakompensaatio
Erinomainen pitkäaikainen vakaus ilman liikkuvia osia, mikä varmistaa vähäiset huoltotarpeet ja käyttökatkot
Itsenäinen toiminta tai saumaton integraatio Vaisala Indigo520 ‑lähettimen ja kannettavan Vaisala Indigo80 ‑näyttölaitteen kanssa
Indigo80-näyttölaite Vaisala Polaris™ -prosessirefraktometreihin
Tutustu Vaisalan Indigo80-näyttölaitteen ja Polaris™-prosessirefraktometrin verrattomaan yhdistelmään. Kannettavan Indigo80-näyttölaitteen avulla voit määrittää ja kalibroida mittapäitä ilman seisokkeja, tallentaa yksittäisten mittapäiden tiedot nopeaa diagnosointia varten ja tunnistaa mahdolliset huoltotarpeet helposti.
Insight-PC-ohjelmisto
Maksuttoman Insight-ohjelmiston avulla voit käyttää mittalaitetta tietokoneella, kalibroida PR53S:n ja ladata uusia kemikaalikäyriä.
Tuotedokumentaatio
Lisää liitteitä
Resurssit
Edellisten sukupolvien tukimateriaali
Käyttöohjeet, hyväksynnät, sertifikaatit, turvallisuusohjeet ja videot
Palvelut
Ota yhteyttä
Haluaisitko lisätietoja jostain tietystä sovelluksesta tai tuotteesta? Ota meihin yhteyttä, niin vastaamme sinulle mahdollisimman pian.
