维萨拉 Polaris™ PR53S 半导体在线折光仪
用于半导体湿法工艺的实时在线化学浓度测量
维萨拉 Polaris™ PR53S 是一款紧凑型在线折光仪，专为半导体液体化学应用设计。其改良的 PTFE 流通池和 ¼-1 英寸 Pillar 或 Flare 式连接，可实现与湿法机台、化学分配系统及工艺工具在混合、清洗、蚀刻和 CMP 步骤中的无缝集成。
PR53S 可在洁净室环境和集成工艺工具中持续实时测量化学浓度，帮助在多个阶段实现精准的工艺控制。
凭借高度准确、可靠且可重复的测量，PR53S 能够通过在线折射率测量，替代在批量分配、混合和使用点监测等环节中使用的复杂且昂贵的分析仪。
为要求严苛的化学品和研磨液提供稳定一致的化学控制
可对多种化学品进行准确测量，包括要求严苛的研磨液应用。即使存在气泡、颗粒或晶体，也能保持可靠性能，确保在实际工艺中提供稳定、可信的数据。
Polaris PR53S 非常适合精细化工和半导体行业中的化学品混合与监测，传承了维萨拉 K-PATENTS® 在线折光仪系列 40 余年的创新成果。作为新一代 PR53 系列的一部分，它为现代工艺环境带来了更高的分辨率和更佳的兼容性。
优点
专为半导体液体化学品工艺和研磨液设计
连续在线浓度测量，实现更严格的工艺控制
超纯改性 PTFE 流通池和紧凑设计，适用于洁净室及工具集成使用
准确、可重复且无漂移的折射率测量，并集成温度补偿功能
长期稳定性良好，无移动部件，维护需求低，正常运行时间长
既可独立操作，也可与维萨拉 Indigo520 数据处理单元和维萨拉 Indigo80 手持式显示表头无缝集成
适用于维萨拉 Polaris™ 在线折光仪的 Indigo80
了解维萨拉 Indigo80 和 Polaris™ 在线折光仪的优秀组合。使用 Indigo80 无需停机即可配置和校准探头，记录各个探头的数据用于快速诊断，并轻松识别潜在的维护需求。
Insight 电脑软件
使用免费的 Insight 软件，即可从电脑桌面访问您的仪表、校准 PR53S，并下载新的化学曲线。
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