Réfractomètre de procédé pour semi-conducteurs Vaisala Polaris™ PR53S
Mesure en ligne et en temps réel de la concentration chimique pour les processus de semi-conducteurs humides
Le Vaisala Polaris™ PR53S est un réfractomètre en ligne compact et ultrapur, conçu pour les applications chimiques liquides dans le secteur des semi-conducteurs. Grâce à sa cellule d'écoulement en PTFE modifié et à ses raccords droits ou évasés de ¼–1 pouce, il s'intègre parfaitement aux bancs humides, aux systèmes de distribution de produits chimiques et aux outils de traitement utilisés lors des étapes de mélange, de nettoyage, de gravure et de CMP.
Le PR53S mesure en continu et en temps réel les concentrations chimiques, tant dans les salles blanches qu'au sein des outils de traitement intégrés, ce qui permet d'assurer un contrôle rigoureux des processus à chaque étape.
Grâce à ses mesures d'une grande précision, fiabilité et répétabilité, le PR53S peut remplacer des analyseurs complexes et onéreux dans la distribution en vrac, le mélange et la surveillance au point d’utilisation, au moyen d'une seule mesure en ligne de l’indice de réfraction.
Contrôle chimique constant pour des produits chimiques et des barbotines exigeants
Mesures précises sur une large gamme de produits chimiques — y compris dans des applications exigeantes de barbotine. Performances fiables, même en présence de bulles, de particules ou de cristaux, garantissant des données stables et dignes de confiance dans les processus industriels réels.
Idéal pour le mélange et la surveillance de produits chimiques dans les secteurs de la chimie fine et des semi-conducteurs, le Polaris PR53S s'appuie sur plus de 40 ans d’innovation de la série de réfractomètres de procédé Vaisala K-PATENTS®. Issu de la dernière génération PR53, il offre une résolution accrue et une compatibilité améliorée pour les environnements de production modernes.
Avantages clés
Conçu pour les procédés chimiques liquides et les barbotines de l'industrie des semi-conducteurs
Mesure de la concentration en continu et en ligne pour un contrôle plus rigoureux du procédé
Cellule d’écoulement ultrapure en PTFE modifié et conception compacte, pour une utilisation en salle blanche et une intégration aux outils de procédé
Mesure précise, répétable et sans dérive de l’indice de réfraction avec compensation de température intégrée
Excellente stabilité à long terme et absence de pièces mobiles pour une faible maintenance et une grande disponibilité
Fonctionnement autonome ou intégration fluide avec le transmetteur Vaisala Indigo520 et l'indicateur portable Vaisala Indigo80
Indigo80 pour les réfractomètres de procédé Vaisala Polaris™
Découvrez la combinaison inégalée des réfractomètres de procédé Vaisala Indigo80 et Polaris™. Avec l'Indigo80, un écran à emporter partout, configurez et calibrez les sondes sans interruption, enregistrez les données des sondes individuelles pour un diagnostic rapide et identifiez facilement les besoins de maintenance potentiels.
Logiciel Insight PC
Utilisez le logiciel gratuit Insight pour accéder à votre instrument depuis votre poste de travail, étalonner votre PR53S et télécharger de nouvelles courbes chimiques.
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