Réfractomètre Semicon Vaisala K‑PATENTS® PR-33-S
pour les procédés chimiques liquides semi-conducteurs
Un réfractomètre compact avec un corps de cellule d'écoulement en PTFE modifié ultra pur pour les procédés chimiques liquides semi-conducteurs. Connecté au processus par un raccord évasé ou Pillar de ¼ — 1 pouce.
Le réfractomètre Vaisala K-PATENTS® Semicon PR-33-S surveille la concentration des produits chimiques de fabrication dans l'environnement de la salle blanche et dans les outils de processus intégrés (mélange, nettoyage, gravure et CMP).
Le PR-33-S se compose d'un corps de cellule d'écoulement en PTFE modifié ultra pur et d'un câble Ethernet que tout commutateur PoE (Power-over-Ethernet) standard peut utiliser pour transmettre l'alimentation au capteur et les données à un ordinateur. Le PR-33-S surveille les concentrations chimiques en temps réel et fournit un signal de sortie Ethernet et un retour immédiat, si le produit chimique n'est pas conforme aux spécifications. Par exemple, des alarmes de concentration faible et élevée peuvent être configurées pour contrôler et augmenter la durée de vie du bain. La concentration est déterminée en effectuant une mesure optique de l'indice de réfraction nD et de la température de la solution.
Le PR-33-S est monté directement en ligne avec une fixation évasée ou Pillar. Le PR-33-S bénéficie d'une construction compacte, sans métal et son encombrement est réduit.
Éléments clé :
- Étalonnage traçable N.I.S.T, vérification avec des liquides R.I. standard et procédure validée.
- CORE-Optics breveté (brevet américain n° US6067151).
- Panneau distant via Ethernet pour la journalisation des données et le fonctionnement à distance.
- La communication est établie par les protocoles standard UDP/IP.
- Plage de température du process : -20 °C à 85 °C.
- Mesure rapide de la température du process par Pt1000 intégré et compensation numérique automatique de la température.
