Dépasser les exigences de haute précision de la fabrication de circuits intégrés : le rôle des instruments de Vaisala dans les salles blanches

Le client : China Electronics System Engineering CEFOF et le fabricant de semi-conducteurs, Beijing Memory Technologies, Inc. (BJMT) 
Le défi : créer un environnement de salle blanche avec un système de surveillance capable de surveiller des tolérances de température et d'humidité relative très strictes
La solution : Vaisala HMT370EX, Vaisala HMT120 et Vaisala HMT330. Tous parfaits pour les conditions de processus difficiles offrant des mesures supérieures

Sur le marché mondial des biens de consommation, la demande de circuits intégrés (CI) continue d'augmenter. La croissance des marchés pour des produits tels que les véhicules à carburant alternatif, les systèmes de conduite intelligents, les terminaux intelligents et la 5G signifie qu'il est peu probable que cette demande ralentisse de sitôt.

En tant qu'industrie de haute précision, la fabrication de circuits intégrés a des exigences extrêmement strictes concernant l'ensemble de son processus de production et de son environnement, et c'est peut-être le plus important lorsqu'il s'agit de la nécessité de salles blanches de circuits intégrés correctement construites. Dans les usines de circuits intégrés, les opérateurs doivent porter des vêtements de protection hermétiques et des couvre-chaussures, puis franchir plusieurs portes isolées distinctes avant d'entrer dans la salle blanche. De plus, l'environnement dans les salles blanches IC doit être soigneusement surveillé et contrôlé en ce qui concerne des facteurs tels que la température et l'humidité.

Des normes de salle blanche plus élevées nécessitent une surveillance plus précise 

China Electronics System Engineering (CEFOC) a été l'une des premières entreprises chinoises à se spécialiser dans l'installation d'équipements électriques et mécaniques pour salles blanches. Ils fournissent des services d'ingénierie complets « clé en main » couvrant la conception, l'approvisionnement, la gestion de projet, la construction et la gestion des installations, ainsi que la fabrication de produits liés aux processus de salle blanche, pour les entreprises de fabrication de circuits intégrés. 

En 2021, le fabricant de semi-conducteurs Beijing Memory Technologies, Inc. (BJMT) avait besoin de nouvelles salles blanches pour circuits intégrés et avait des exigences spécifiques concernant la surveillance environnementale de haute précision et de haute stabilité. Travaillant en étroite collaboration sur ce projet, CEFOC et Vaisala ont installé avec succès le transmetteur industriel de température et d'humidité Vaisala HMT330, le transmetteur de température et d'humidité à sécurité intrinsèque Vaisala HMT370EX et les produits de la série Vaisala de transmetteur de température et d'humidité HMT120 dans la salle blanche des nouvelles salles blanches BJMT. Depuis l'installation, BJMT rapporte que tous ces instruments et émetteurs Vaisala ont fonctionné de manière stable et mesuré avec précision. 

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Le Vaisala HMT330 fournit des mesures précises dans des environnements difficiles et sous des exigences élevées, et peut également être personnalisé pour différents environnements d'application afin de répondre aux divers besoins des clients.

La précision des mesures de Vaisala offre des performances supérieures

La production des nouvelles puces plus petites de 28 nm nécessite un environnement de salle blanche avec une précision de mesure de la température maximale de ± 0,3 °C et une précision de mesure de l'humidité relative maximale de ± 3 %. Si les paramètres de température et d'humidité sont dépassés, le rendement, les performances et la fiabilité du produit IC seront considérablement affectés. Zhang Qi, directeur général du centre de gestion marketing du CEFOC, commente : « La précision des mesures des produits Vaisala répond non seulement pleinement aux normes de conception des salles blanches, mais réduit également considérablement la plage des erreurs standard. Elle est réduite à un tiers de l'erreur de référence, c'est-à-dire, humidité ± 1 % et température ± 0,1 °C, ce qui garantit le fonctionnement fiable de la salle blanche. » Zhang Qi ajoute : « Pour la précision et la stabilité globales du projet, Les instruments de mesure de Vaisala sont devenus le choix idéal pour ce projet. »

Zhang Qi poursuit : « Dès 2020, lors de la phase d'appel d'offres du projet de salle blanche BJMT, nous savions que les produits de Vaisala pouvaient répondre pleinement aux exigences exigeantes du client en matière de mesure de la température et de l'humidité. Pour cette raison, notre offre incluait les instruments de mesure de Vaisala, et depuis lors, notre coopération avec Vaisala n'a cessé de s'approfondir. La précision de mesure des produits Vaisala répond non seulement pleinement aux normes de conception des salles blanches, mais réduit également considérablement la plage d'erreurs standard, la réduisant à un tiers de l'erreur de référence, c'est-à-dire humidité ± 1 % et température ± 0,1 °C. Cela garantit le fonctionnement fiable de la salle blanche, faisant des instruments de mesure de Vaisala le choix idéal pour ce projet. »

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Le Vaisala HMT370EX ne causera pas d'accidents ni de dommages matériels, même en cas de mauvaise utilisation ou de dysfonctionnement. Le produit a obtenu à ce jour un certain nombre de certificats de sécurité intrinsèque. En plus de mesurer l'humidité relative et la température, le HMT370EX prend également en charge la sortie d'autres paramètres d'humidité comme la température du point de rosée, la température du thermomètre mouillé, l'humidité absolue, le rapport de mélange, la concentration d'eau, la fraction de masse d'eau, la pression de vapeur d'eau et l'enthalpie.

Une livraison rapide est tout aussi importante qu'une précision accrue

Pour des projets de construction de haute précision comme celui-ci, la ponctualité peut être tout aussi importante que la précision de la technologie installée. Le calendrier de livraison des produits et matériaux nécessaires à un projet est souvent serré, et l'absence d'un matériau clé affectera directement l'ensemble du calendrier.

La pandémie mondiale COVID-19 a ajouté de l'incertitude à la disponibilité des produits, rendant la livraison rapide encore plus critique. Le cycle de projet de BJMT était très serré et des produits de mesure de haute qualité étaient cruciaux pour achever le projet dans les délais. Malgré les pénuries d'approvisionnement en produits, Vaisala et ses revendeurs ont garanti les produits requis pour le projet avant même la signature du contrat d'achat formel. Vaisala a assuré la coordination complète des ressources internes et externes pour livrer les produits clés dans les délais convenus.

En résumé, en répondant aux exigences élevées de la fabrication de circuits intégrés de haute précision, les produits Vaisala répondent non seulement pleinement aux normes de conception des salles blanches, mais réduisent également considérablement la plage d'erreurs standard, la réduisant à un tiers de l'erreur de référence. En conséquence, les instruments de mesure de Vaisala sont devenus le choix idéal pour le projet de salle blanche de BJMT, et la réponse rapide - même d'un océan éloigné et avec des goulots d'étranglement d'approvisionnement répandus - a assuré une livraison dans les délais.

Comme le dit Zhang Qi, « Vaisala a également gagné les faveurs et la confiance du CEFOC grâce à ses performances stables et fiables, ses excellents produits et son service de réponse rapide. Nous sommes convaincus que Vaisala s'engagera dans une coopération stratégique encore plus approfondie avec le CEFOC dans un avenir proche, aidant les marques des deux parties à renforcer leur présence dans les scénarios de construction et d'application pour des produits plus précis. »

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Le Vaisala HMT120 en cours d'installation dans l'installation, avec un autocollant de protection d'écran toujours apposé. Le HMT120 est un transmetteur de température et d'humidité conçu pour les salles blanches et environnements similaires, avec des sondes de mesure intelligentes qui peuvent être remplacées sur le terrain afin de tracer facilement les mesures.