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半導体製造における集積回路パターンの品質向上

ヴァイサラBAROCAP®ウエハーを手にした様子

気圧、温度、湿度を正確に計測するための計測器について
半導体製造には、高度に管理された環境 と製造環境に関する正確なデータが必要 です。これらによって、ウエハー表面での 集積回路パターンの高精度かつ高速な 露光が可能になります。 ヴァイサラのセンサ技術はまさにこの ような厳しい環境向けに設計されてい ます。BAROCAP®HUMICAP®および DRYCAP® センサ技術は、優れた精度、 長期安定性、素早い応答時間を実現しま す。さらにヴァイサラは、半導体市場とこ の業界において15年以上にわたる実績が あり、業界の厳しいニーズを満たす製品 を開発してきました。ここでは、関連製品 とその特長および利点をご説明します。

1台の変換器で、気圧、湿度、温度の3項目を計測
PTU300は独自開発製品で、重要な3つのパラメータを同時に計測することができます。この汎用性の高い計測器は、RS-232 (標 準)、RS-485 (オプション) が装備されています。そし て、その高い計測精度により、レーザー干渉計補正に最適です。データシートや詳細については、PTU300をご 覧ください。

半導体製造プロセスには、ヴァイサラの下記の製品が最適です。

気圧変動補正用
PTB330シリーズは湿度 計測が不要な場合に最適な気圧計で す。ヴァイサラ PTU300と同様の高い 信頼性と安定性があり、高度にカスタ マイズが可能です。気圧変動補正用にシンプルで小型の計測 器をお探しなら、PTB210が最適です

湿度条件モニタリング用
HMT330シリーズは、気圧計測が不要な 場合の湿度計測に最適です。PTB330シ リーズと同様に、この計測器には、プロー ブおよびカスタマイズのさまざまなオプ ションが用意されています。

プロセスガスの品質監視用
DMT340シリーズは、プロセスガス(窒素 ガスおよび圧縮乾燥空気)監視用の高精度 露点計測器です。OEM用には、小型のDMT143 露点プロー ブをご用意しています。この計測器は、加 圧システムラインに直接取り付けることが でき、メンテナンスの必要性が低減されて います。

現場での計測器の簡単なチェック用
ヴァイサラでは、現場での簡単なチェッ クと校正用に、高品質でハンディタイプ のさまざまな計測器も提供しています。
HM70
DM70
PTB330TS

 

 

 

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