Rifrattometro di processo per semiconduttori Vaisala Polaris™ PR53S
Misura in linea in tempo reale della concentrazione chimica per i processi a umido dei semiconduttori
Vaisala Polaris™ PR53S è un rifrattometro in linea ultrapuro e compatto progettato per applicazioni chimiche liquide nel settore dei semiconduttori. La cella di flusso in PTFE modificato e i raccordi pillar o flare da ¼–1 pollici consentono una perfetta integrazione nei banchi a umido, nei sistemi di distribuzione chimici e negli strumenti di processo nelle fasi di miscelazione, pulizia, incisione e CMP.
Il rifrattometro PR53S misura in modo continuo e in tempo reale la concentrazione chimica, sia in ambienti di camera bianca sia negli strumenti di processo integrati, contribuendo a mantenere un controllo rigoroso dei processi in ogni fase.
Grazie a misurazioni altamente precise, affidabili e ripetibili, il rifrattometro PR53S è in grado di sostituire costosi e complessi analizzatori nell'erogazione di prodotti sfusi, nella miscelazione e nel monitoraggio al punto di utilizzo con una singola misura in linea dell'indice di rifrazione.
Controllo costante per sostanze chimiche aggressive e slurry
Misurazione precisa su un’ampia gamma di sostanze chimiche, incluse le applicazioni più impegnative con slurry per la planarizzazione chimico-meccanica. Prestazioni affidabili anche in presenza di bolle, particelle o cristalli garantiscono dati stabili e attendibili nelle condizioni operative reali.
Ideale per il monitoraggio e la miscelazione di sostanze chimiche nei settori della chimica fine e dei semiconduttori, il dispositivo Polaris PR53S è il risultato di oltre 40 anni di innovazione della serie di rifrattometri di processo Vaisala K-PATENTS®. Parte dell’ultima generazione PR53, offre una risoluzione superiore e una migliore compatibilità con gli ambienti di processo moderni.
Vantaggi principali
Progettato per processi chimici liquidi e slurry nel settore dei semiconduttori
Misura in linea continua della concentrazione per un controllo più rigoroso dei processi
Cella di flusso in PTFE modificato ultrapuro e design compatto per l'utilizzo in camera bianca e strumenti integrati
Misura dell'indice di rifrazione precisa, ripetibile e stabile con compensazione integrata della temperatura
Stabilità a lungo termine eccellente e assenza di parti in movimento per esigenze minime di manutenzione e tempi di attività elevati
Funzionamento in autonomia o perfetta integrazione con il trasmettitore Vaisala Indigo520 e l'indicatore portatile Vaisala Indigo80
Indigo80 per rifrattometri da processo Vaisala Polaris™
Scopri l'impareggiabile combinazione tra l'indicatore portatile Vaisala Indigo80 e i rifrattometri da processo Polaris™. Con l'indicatore portatile Indigo80 puoi configurare e calibrare le sonde senza tempi di inattività, registrare i dati dalle singole sonde per una diagnosi rapida e individuare facilmente eventuali necessità di manutenzione.
Software PC Insight
Utilizza il software gratuito Insight per accedere allo strumento dal desktop, calibrare il rifrattometro PR53S e scaricare nuove curve per la misura della concentrazione chimica.
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