维萨拉 BAROCAP® 压力传感器技术

维萨拉 Barocap 晶片在手

维萨拉 BAROCAP® 于 1985 年首次推出,是一种硅基微型机械压力传感器,可在从气象到工业测量的广泛应用中提供可靠的性能。结合采用了两项强大技术 - 单晶硅材料和电容测量 – BAROCAP 传感器具有低滞后性、出色的准确度和长期稳定性。

工作原理

BAROCAP 是一种微型机械传感器,它利用其硅膜的尺寸变化来测量压力。随着周围压力增加或降低,膜会弯曲,从而增大或减小传感器内部真空间隙的高度。真空间隙相对的两个面充当电极,随着两个电极之间距离的变化,传感器的电容也会发生变化。测量电容并将其转换为压力读数。BAROCAP 传感器属性 - 该传感器的单晶硅材质带来了良好的特性:弹性好、滞后性低、重复性好、低温依赖性和卓越的长期稳定性。电容式结构使传感器具有较宽的动态范围,并为超压阻断提供了内置机制。

Vaisala Barocap Technology description

气压测量典型应用

气压测量在气象学中具有广泛的应用。估计大气中可降雨的水蒸气量时,需要用到气压数据。典型的应用包括气象站、数据浮标、GPS 气象学和环境数据记录。气压测量也用于水文学和土壤学应用。在多种工业应用中也需要气压数据。在对压力敏感的工业设备(如激光干涉仪和光刻系统)、航空应用以及在废气分析中需对气压进行测量。计量应用包括实验室压力标准测量和校准实验室中的环境监测。维萨拉提供一系列用于室内外的专业级气压计。BAROCAP 气压计
在大跨度温度范围内适用,在高要求的应用环境下(如专业的气象和航空)也有可靠表现。

 

Vaisala Barocap sensor cross section

 

BAROCAP 在受压环境系统中的测量应用

维萨拉 DRYCAP® 露点仪器具有悠久的历史,可在压缩空气系统中提供可靠、稳定的测量结果,并在高压设备中提供 SF6 隔离气体监测。除了需要进行露点测量外,这两项应用也需要进行精确而稳定的压力测量。维萨拉已将其 DRYCAP 和 BAROCAP 技术集成到一系列产品中,这些产品为加压系统提供压力和露点测量的独特组合。在压缩空气中,露点测量与实时工艺压力数据的组合实现了独特的优势:可在线将测得的压力露点转换为大气压力或 ppm 单位,从而消除了露点数据中出现任何歧义的可能性。这一点很重要,因为受监测气体的压力变化会改变其露点。在高压设备的 SF6 气体监测中将露点和压力测量相结合,可为评估 SF6 隔离状况提供出色的工具。可以立即检测到泄漏,并针对微量水分问题进行预警。通过测量露点、压力和温度,可以计算 SF6 气体密度、当前压力、大气压力下的露点和 ppm – 这是 SF6 监测中的所有基本要素。