半导体湿化学品

维萨拉 K-PATENTS® 半导体行业折光仪 PR-33-S/-23-MS 设计精良,用于晶圆制程中使用的湿化学品进行实时浓度监测。

半导体湿化学品

维萨拉 K-PATENTS® 半导体行业折光仪可替代一些传统上比较昂贵且复杂的分析仪,在晶圆清洗、湿法刻蚀、刻蚀后晶圆清洗和化学机械研磨 (CMP) 等晶圆处理制程中(例如在湿法工作台和湿法工艺)广泛存在的化学品供应、现场混合、补液、刻蚀和监测等环节均可应用。

如果化学品与规格不符,该半导体行业折光仪会立即向控制系统反馈。可以设置低浓度和高浓度警报,避免在储运环节或化学品供应系统中出现问题。

使用折光仪进行实时监测可以提升晶圆的潜在产量,通过延长化学品溶液使用时间和优化化学品消耗来实现。精确的化学品控制,取决于化学品浴液和顺序、化学品浓度、清洁时间和温度。

维萨拉的应用报告解释了半导体行业用折光仪,在推荐的安装位置上,改进不同制程工艺步骤以实现最佳性能。

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