Polaris™ PR53S 半導体プロセス屈折計

半導体ウェットプロセス向けリアルタイム・インライン式薬液濃度計測

ヴァイサラ Polaris™ PR53Sは、半導体薬液プロセス向けに設計された、コンパクトで超高純度対応のインライン式屈折計です。改良されたPTFE製フローセルと、1/4〜1インチのピラー／フレア接続により、ウェットベンチや薬液供給・分配システム、プロセスツールへ、ブレンド、洗浄、エッチング、CMPなどの各工程を通してシームレスに組み込むことができます。

PR53Sは、クリーンルーム環境およびプロセスツール内で薬液の化学濃度をリアルタイムかつ連続的に計測し、あらゆる段階での厳密なプロセス制御を支援します。

高精度・高信頼性・高再現性の計測性能により、PR53Sは1台のインライン屈折率計測で、バルク供給、ブレンド、ポイントオブユースでのモニタリングにおける、複雑で高価な分析計を置き換えることが可能です。