用于半导体干燥气体和晶圆测试的露点测量应用案例
用于半导体制造的超纯气体在传输过程中可能被污染，哪怕是微量水分也可能损坏芯片。参加这场 30 分钟的免费在线研讨会，了解如何让您的超纯气体真正保持干燥。
超纯气体在半导体制造中至关重要，因为即使气体中存在微量污染物，也可能导致芯片缺陷，进而引发性能问题甚至彻底失效。与此同时，气体管道环境往往并不理想，且常常存在多个潜在污染点。
在这场专家主持的会议中，产品经理 Juhani Lehto 将分享经过验证的客户案例，帮助避免超纯气体中的水分污染，并以芯片探针为例进行说明。
参加这场 30 分钟的网络研讨会，了解以下内容：
- 如何在超干燥条件下准确测量露点
- 在低湿度条件下，为什么露点测量优于 RH 或 PPM 测量
- 由吸附/解吸现象导致的温度相关霜点波动及其应对方法
- 如何在设备配置时尽可能降低污染风险，并避免浪费昂贵的气体
- 选择合适的传感器，实现快速、可靠的晶圆测试
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网络研讨会发言人：Juhani Lehto
Juhani Lehto 担任维萨拉高端产品线的产品经理。他在工业测量和传感器技术领域拥有超过 15 年的经验。他拥有芬兰埃斯波阿尔托大学的理学硕士学位。
半导体晶圆和微电子制造是一个要求很高、几乎不容出错的工艺过程。该行业高度依赖于高性能监测仪器，以准确测量化学品成分和环境条件。