半导体干燥气体与晶圆测试中的露点测量
用于半导体制造工艺中的超纯气体在传输过程中可能被污染,哪怕是微量水分也可能损坏芯片。参加本期在线研讨会,了解如何让您的超纯气体真正保持干燥。
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在半导体制造过程中,“干燥”从来不是一个简单的环境条件,而是决定良率与稳定性的关键变量。从气体输送到晶圆探针测试,哪怕是极其微量的水分变化,都可能引发一系列问题:测试腔体结霜、测量误差增加、工艺波动甚至设备停机。
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半导体晶圆和微电子制造是一个要求很高、几乎不容出错的工艺过程。该行业高度依赖于高性能监测仪器,以准确测量化学品成分和环境条件。