반도체 생산 환경에서의 클린룸 습도 측정 모범 사례

반도체 제조는 작은 변수도 큰 오류로 이어질 만큼 정밀한 과정입니다. 그중 하나가 바로 습도입니다. 습도가 높으면 응결 문제가 발생할 수 있고, 반대로 너무 건조하면 정전기가 쌓여 방전이 일어나 장비와 제품에 심각한 손상을 줄 수 있습니다.

이번 30분 웨비나에서는 Vaisala 전문가 Juhani Lehto가 반도체 클린룸 내 극한의 습도 조건과 측정 방법, 그리고 계측기 설치 시 반드시 알아야 할 모범 사례를 공유합니다.

본 웨비나에서 다룰 주요 내용

• 반도체 장비 내 고습·저습 모니터링 및 클린룸 습도 관리

• 반도체 클린룸 환기 시스템(HVAC) 관리

• 계측기 설치 모범 사례

참석 대상

• 반도체 제조 업계 관련자

• 반도체 장비 업계 관련자

• 초고순도 가스 업계 관련자

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