응용 프로그램 노트

바이살라 기술 적용

환경 모니터링 시스템 데이터를 품질 관리 시스템에 통합

이 사용 설명서에서는 업계 전문가로부터 품질 관리 시스템이 규제 기관의 심사를 견딜 수 있도록 보장하는 방법을 배우게 됩니다.&

태양 전지, 즉 태양광(PV) 전지는 햇빛을 전기로 바꿔줍니다. CO2 없는 재생 에너지원인 태양을 사용한다는 점에서 광기전력 산업은 성장 산업입니다.

식각 후 잔여 폴리머 제거 공정에서 웨이퍼 표면에 남은 폴리머를 세정합니다. 이 공정은 용매 분사 장비로 진행되는데, 흔히 사용되는 식각제인 EKC®가 이 장비로 공급됩니다.

예를 들어, 수산화 칼륨 KOH 식각 공정은 가열되는 KOH/H2O 용액의 성분을 Vaisala K-PATENTS® 반도체 굴절계로 연속해서 모니터링하여 최적화할 수 있습니다.

화학적 기계적 연마(또는 평탄화)는 화학 반응과 기계적 연마가 결합된 나노 연마 공정으로서, 비용이 많이 드는 까다로운 필수 공정입니다.

Vaisala K-PATENTS® 반도체 굴절계 PR-33-S/-23-MS는 실로콘 웨이퍼 제조에 사용되는 습식 화학물질의 농도를 실시간으로 모니터링하도록 설계되었습니다.

Vaisala K-PATENTS® 반도체 굴절계를 사용하여 액체 농도를 측정하면 다음과 같은 점에서 상당한 이익과 절감을 실현할 수 있습니다.

Vaisala 사용 설명서에는 최적의 성능을 위해 권장 지점에 설치된 반도체 굴절계가 어떻게 공정을 개선할 수 있는지 설명되어 있습니다.