Vaisala Polaris™ PR53S 반도체 프로세스 굴절률계

Name: Vaisala Polaris™ PR53S 반도체 프로세스 굴절률계
Brand: Vaisala

반도체 습식 공정용 실시간 인라인 화학 농도 측정

Vaisala Polaris™ PR53S는 반도체 액체 화학 공정용으로 설계된 컴팩트하고 초순도의 인라인 굴절률계입니다. 수정된 PTFE 플로우 셀과 1/4–1인치 필러 또는 플레어 연결부는 블렌딩, 세척, 에칭, CMP 단계에 걸쳐 웻 벤치, 화학 공급 시스템, 공정 장비에 원활하게 통합될 수 있도록 합니다.

PR53S는 클린룸 환경과 통합 공정 도구 내에서 실시간으로 화학 농도(CONC)를 지속적으로 측정하여 모든 단계에서 엄격한 공정 제어를 유지하는 데 도움을 줍니다.

고도의 정확성, 신뢰성, 반복성을 갖춘 측정으로 PR53S는 벌크 디스펜싱, 블렌딩, 현장 모니터링에서 단일 인라인 굴절률 측정만으로 복잡하고 고가의 분석기를 대체할 수 있습니다.

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고난도 화학물질 및 슬러리의 일관된 화학 제어

폭넓은 화학물질, 특히 까다로운 슬러리 적용까지 정확하게 측정합니다. 기포, 입자, 결정이 존재하더라도 신뢰할 수 있는 성능을 제공하여 실제 공정에서 안정적이고 신뢰할 수 있는 데이터를 제공합니다.

정밀 화학 및 반도체 산업에서의 화학 혼합과 모니터링에 이상적인 Polaris PR53S는 Vaisala K-PATENTS® 프로세스 굴절률계 시리즈의 40년 이상의 혁신을 기반으로 합니다. 최신 PR53 세대의 일부로서, 현대 공정 환경을 위한 향상된 해상도와 개선된 호환성을 제공합니다.

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주요 이점

반도체 액체 화학공정 및 슬러리용 설계

공정 제어를 위한 연속 인라인 농도(CONC) 측정

클린룸 및 공정 장비 통합 사용을 위한 초순수 변형 PTFE 플로우 셀과 컴팩트 디자인

정확하고 재현 가능하며 드리프트 없는 굴절률 측정과 통합 온도 보상

장기 안정성이 뛰어나며, 움직이는 부품이 없어 정비가 적고 높은 가동 시간을 제공합니다.

독립 실행형으로 운영하거나 Vaisala Indigo520 트랜스미터 및 Vaisala Indigo80 휴대용 표시기와 원활하게 통합할 수 있습니다.

Vaisala Polaris™ 프로세스 굴절률계용 Indigo80

Vaisala Indigo80과 Polaris™ 프로세스 굴절률계의 독보적인 조합을 경험해 보세요. Indigo80은 이동식 화면을 제공하여, 다운타임 없이 측정부를 구성하고 보정할 수 있으며, 개별 측정부의 데이터를 로깅하여 신속한 진단이 가능하고, 잠재적인 정비 필요성을 쉽게 파악할 수 있습니다.

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