Vaisalaウェビナー:液体濃度計測で実現する『半導体製造』のさらなる進化
Vaisala オープンウェビナー
SEMICON Japan 2025 出展告知!いま知るべき最新技術!
液体濃度計測で実現する『半導体製造』のさらなる進化
究極的に進化し続ける半導体製造。そのさらなる進化の一手となりうる液体濃度計測の最新情報。ぜひお気軽にご参加ください!
例えば、CMPスラリーの固形分管理や希釈、スラリーの劣化、各種ウェットエッチング薬液成分や、レジスト現象・剥離液の濃度管理、廃液や薬液リサイクル...
小さな機器ですが、従来、泡や含有物、強酸・強アルカリによる腐食など、精緻かつ連続的な液体濃度計測が不可能と思われた液体にも、ヴァイサラの液体濃度計測向けインライン屈折計は対応し、製造品質や歩留まりの改善をはじめ、廃液などの削減による環境負荷の大幅な低減、人的負荷の低減など、幅広いバリューを生み出し、半導体製造の進化に着実に貢献しています。
本ウェビナーでは、その鍵となる製品、液体濃度計測向けインライン屈折計 Polarisとその導入事例の中心にお話しします。
主な内容:
- 液体濃度計測の概要
- 各種液体計測技術の特徴:利点&課題
- ヴァイサラ独自のインライン式屈折率Polaris、その特徴
- 活用事例とその効果
SEMICON Japan 2025 (ブース番号:W2602)にて、実機を使った液体濃度計測のダイナミックデモも展示します。そちらもぜひお楽しみに!
皆様のご参加を心よりお待ちしております。
夏井 敬史
産業計測事業本部
液体計測セールスマネージャー
[email protected]