クリーンルームが堅牢な技術の鍵となる理由

Chip manufacturing at Vaisala
送電

堅牢な科学は、最も過酷な環境向けの計測機器を作成することにつながります。また、長寿命化を重視し、メンテナンス不要になることが多い当社のお客様に対して、日常業務においてのメリットを提供することができます。このブログでは、世界で最も先進的で堅牢なオンラインDGAモニターの製造背景をご紹介します。

 

 

 

完全な品質管理、完全なカスタマイズ

堅牢な技術を生み出すことができるかどうかは、独自のチップを製造しているヴァイサラの自社クリーンルーム、ロボットによる自動化組立工場、1980年代から蓄積されたノウハウ、さらには、ヴァイサラとVTTフィンランド技術研究センターとのR&Dにおける密接な協力といった、多くのことに基づいています。実際に、これによってフィンランドのシリコン産業は大きく拡大しました。 

あるお得様は、さらなるカスタマイズを常に私たちに強く要求されました。その要求に応えるには、製造品質を管理し、市販品のチップや他社メーカーの専門知識に頼らずにいる必要があります。その点で、自社のクリーンルームを施工し、マイクロメートル単位での製造やマイクロテクノロジーに特化することは自然な流れでした。その結果、たとえば、まさにその同じクリーンルームで多くのヴァイサラ製センサの中核となる、文字通り原子から構築された薄膜が生まれました。

A person with protective clothing in a cleanroom preparing sensor wafers.

DGAモニターを作動させるマイクロテクノロジー

微細加工により、Optimus OPT100 オンライン DGAモニターなど常識を覆すような技術を生み出すことができます。この独自のモニターは、変圧器内の絶縁油に溶解したガスをモニタリングする方法を改善しようとした結果生まれました。これは堅牢な技術の大きな功績です。電力用変圧器の常時モニタリングを継続することで、重大な障害の発生を示す7つの主要な異常ガスを分刻みで読み取り、トレンドを把握することができます。それを機能させているのは、マイクロテクノロジーが実現する3つの優れた技術です。

ファブリ・ペロー干渉計という重要な装置安定性、簡潔性、堅牢性を備え、ヴァイサラ独自の可変波長間で調整可能なフィルターを装備しています。これにより複数のガスを正確かつ確実に計測でき、7つの異常ガスを計測する機能を備えたOptimus OPT100は、この用途に優れています。 

当社独自の光源であるMicroglowMicroglowは、小型でロボットによる製造に最適化されている、Optimusを機能させるためのもう1つの重要な要素です。ランプを使用する代わりに、シリコンマイクロメカニックスを採用したことで、直ちに長寿命化が実現し、従来の光源のように性能が徐々に低下するといったことがありません。Microglowの長寿命化は、検査や再検査を経て、通常の動作温度よりも数百度高い熱にさらされながら完成しました。

チップ用密閉保護パッケージとしてのセンサパッケージこのセンサパッケージはファブリ・ペロー、Microglow、熱電対列検出器を光学機器やその他の計測機器に接続することができ、数十年にわたって使用できるように作られています。

Vaisala’s Optimus™ DGA Monitor OPT100 for advanced dissolved gas analysis with total gas pressure method, detecting air leaks in transformers.

結論    

上記のことは、当社自身でチップを製造しなければ不可能でした。自社工場でチップを製造するということは、完全な品質管理を行い、他社製のチップメーカーによる突然の変更にもまったく影響されないということです。 

このことは科学に基づいた堅牢な技術を生み出す上で不可欠な要素であり、プロセスは常に最適化されています。その結果として、当社は独自に最適化された多品目少量製造の能力を実現しています。お客様が必要とする製品だけをお客様が必要とする数量で、そして、何年も何十年も信頼してお使いいただける品質でお作りします。
 


 

現状を一変させる光源の制作

光学DGAでは、光源が非常に重要です。従来の光源は数年という短い期間で摩耗し、その結果ランプの劣化によりドリフトし始めますが、ヴァイサラのMicroglowはそうなりません。小型化されたチップ技術が使用され、動作寿命は数十年単位で計算されます。このタイプの光源を備えたOptimus OPT100 DGA モニターを使用することで、交換用の光源を必要とせずに、動作寿命が終わるまで電力用変圧器を確実に保護することができます。 

Comment

M. Saleh

Nov 9, 2021
Thanks for your kind attention.

Vaisala

Nov 22, 2021
Thank you for your interest!

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