Vaisala Polaris™ PR53S halvledarprocessrefraktometer
Inline-mätning i realtid av kemiska koncentrationer för våta halvledarprocesser
Vaisala Polaris™ PR53S är en kompakt, ultraren inline-refraktometer som har designats för vätskekemiska tillämpningar inom halvledarindustrin. Den modifierade PTFE-flödescellen och ¼–1-tums pillar- eller flare-anslutningar möjliggör sömlös integration i våtbänkar, kemiska distributionssystem och processverktyg vid blandning, rengöring, etsning och CMP steg.
PR53S mäter kontinuerligt kemisk koncentration i realtid – både i renrumsmiljöer och i integrerade processverktyg – vilket hjälper till att upprätthålla noggrann processkontroll i varje steg.
Tack vare mycket noggranna, tillförlitliga och upprepningsbara mätningar kan PR53S ersätta komplexa och kostsamma analysatorer vid bulkdosering, blandning och övervakning vid användningspunkten med en enda inline-mätning av brytningsindex.
Konsekvent kemisk kontroll för krävande kemikalieblandningar och slurry
Noggranna mätningar av ett brett spektrum av kemikalier – inklusive krävande slurrytillämpningar. Tillförlitliga prestanda även vid förekomst av bubblor, partiklar eller kristaller, vilket säkerställer stabila och pålitliga data i verkliga processer.
Polaris PR53S är idealisk för kemisk blandning och övervakning inom finkemi- och halvledarindustrin och bygger på över 40 års innovationer från Vaisalas processrefraktometerserie K-PATENTS®. Den är en del av den senaste PR53-generationen och levererar därmed högre upplösning och bättre kompatibilitet för moderna processmiljöer.
Fördelar
Designad för kemiska vätskeprocesser och slurry inom halvledarprocesser
Kontinuerlig inline-koncentrationsmätning för mer noggrann processkontroll
Ultraren modifierad PTFE-flödescell och kompakt design för användning i renrum och integrering i processverktyg
Noggrann, repeterbar och avdriftsfri brytningsindexmätning med integrerad temperaturkompensation
Utmärkt långsiktig stabilitet och inga rörliga delar, vilket ger lågt underhållsbehov och hög drifttid
Fristående drift eller sömlös integration med Vaisala Indigo520-transmittern och Vaisala Indigo80 handhållen indikator
Indigo80 för Vaisala Polaris™-processrefraktometrar
Upptäck den överlägsna kombinationen av Vaisala Indigo80 och Polaris™-processrefraktometrar. Indigo80 är en skärm att bära med sig, så att du kan konfigurera och kalibrera prober utan stillestånd, logga data från enskilda prober för snabb diagnos och identifiera potentiella underhållsbehov enkelt.
Datorprogramvaran Insight
Använd den kostnadsfria programvaran Insight för att få tillgång till instrumentet från din dator, kalibrera PR53S och ladda ned nya kemiska kurvor.
Produktdokumentation
Fler nedladdningar
Resurser
Stödmaterial för tidigare generationer
Manualer, godkännanden, certifikat, säkerhetsinstruktioner och videor
Tjänster
Kontakta oss
Är du intresserad av att få mer information om en specifik applikation eller produkt? Hör av dig, så återkommer vi!
