维萨拉 K-PATENTS® 半导体行业用折光仪 PR-23-MS

该折光仪外形紧凑,流通池采用改良超纯 PTFE 而成,适用于半导体液态化学品测量。可通过 ¼ 至 1 英寸的皮拉 Pillar 或扩口 Flare 连接。

维萨拉 K-PATENTS® 半导体行业用折光仪 PR-23-MS 内置的流通池由改良超纯 PTFE 制成,旨在防止任何金属和易腐蚀部件与工艺过程中的液体接触。与液体接触的所有部件均为改良超纯 PTFE 和蓝宝石棱镜。

PR-23-MS 直接通过柱形或喇叭形配件串接进行安装。紧紧凑型设计方便集成到机台或机柜里,而无需占用过多有限空间。

该折光仪通过光学原理测量溶液折射率来获得溶液浓度。正是凭借这一原理,同一台仪器可用于各种溶液测量。

PR-23-MS 可提供连续的 4-20 mA 或数字测量信号,并在化学物质的浓度超出规定的范围时向控制系统提供即时反馈。PR-23-MS 是一种小型设备,易于安装,适用于散装化学品配送、使用点化学品调配、制程中浓度变化监测。

维萨拉 K-PATENTS® PR-23-MS 可帮助您实现:

  • 防止错误的化学品进入制造流程。
  • 优化蚀刻工艺并延长蚀刻液(例如加热的 KOH)的使用时间。
  • 通常可使晶圆的产量提高 5%,并减少 FEOL 和 BEOL 清洗工艺中清洗化学品的消耗(例如 SC-1 或 EKC-265)。
  • 对 CMP 浆料进行严格控制,并提高抛光的均匀性。

关键特性:

  • 标称准确度为 0.1%(重量百分比),例如,盐酸。对于多组分溶液,测量信号则用为各组分总和。
  • 独特光学核心构造光学器件。 
  • 双探头连接:一个变送器可同时连接和管理两个传感器,第二个传感器可在之后轻松添加。
  • 过程温度范围:-20°C – 150°C (-4°F – 300°F)
  • 内置 Pt1000,快速温度测量及自动温度补偿功。
  • ATEX 防爆认证,Zone 2,EX II 3 G EEx nA II T4。
  • FM 防爆认证,Class I, Div. 2, Groups A, B, C and D, T6. CSA certified for Class I, Div. 2.
  • CSA 防爆认证,Class I, Div. 2, Groups A, B, C and D, T4.
  • cCSAus 电气安全认证,传感器:I 类,污染等级为 3 级;变送器:I 类,污染等级为 2 级;安装类别为 II 类。
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主要优势

全数字化设备
维萨拉 K‑PATENTS® 半导体行业用折光仪 PR-33-S 用于监控工艺流程,可提供连续的以太网输出信号。设计紧凑,直接串接在过程管路上。
满量程下保持准确稳定测量
折射率测量范围为 nD 1.3200–1.5300,相当于 0-100%(重量百分比)。对于高浓度 HF,可选范围为 nD 1.2600–1.4700。标称准确度为 R.I.+ 0.0002,通常相当于 0.1%(重量百分比),例如,盐酸。

测量颗粒、气泡、紊流及 PPM 浓度级别的微量杂质影响。
易于维护
独特光学核心设计。
无漂移,无需重新校准。无需进行机械调节。