维萨拉 K-PATENTS® 半导体行业用折光仪 PR-33-S

该折光仪外形紧凑,流通池采用改良超纯 PTFE 制成,适用于半导体液态化学品测量。可通过 ¼ 至 1 英寸的皮拉 Pillar 或扩口 Flare 连接。

维萨拉 K-PATENTS® 半导体行业用折光仪 PR-33-S 用于晶圆洁净室里的化学品浓度监测,通常被安装在混合、清洗、蚀刻和 (CMP) 等机台上。

PR-33-S 包含一个超纯改性 PTFE 流通池主体和一根以太网线,任何标准的以太网供电 (PoE) 开关均可通过以太网线向传感器供电,并将数据传输给计算机。PR-33-S 实时监测化学品浓度,当化学品浓度超出规定范围时,立即通过以太网反馈报警。例如,可通过配置低浓度和高浓度警报来控制和延长溶液使用寿命。这里的浓度通过对溶液折射率 nD 和温度测量来确定。

PR-33-S 直接通过喇叭形或pillar配件进行安装。PR-33-S 结构紧凑,不含金属,体积小。

关键要素:

  • N.I.S.T. 标准下的可追溯校准及验证,采用标准折射率液体和验证程序进行验证。
  • 独特光学核心设计。 
  • 通过以太网进行数据记录和远程界面操作。
  • 标准 UDP/IP 通信。
  • 过程温度范围:-20°C – 85°C (-4°F – 185°F)。
  • 内置 Pt1000 快速温度测量及自动温度补偿 。
+ 显示更多

主要优点

全数字化设备
维萨拉 K-PATENTS® 半导体行业用折光仪 PR-33-S 用于过程监控,可提供连续的以太网输出信号,设计紧凑,可直接串接在过程管路上。
满量程下保持精确稳定测量
折光率测量范围 nD 1.3200–1.5300,相当于 0-100%(重量百分比)。对于高浓度 HF,可选范围为 nD 1.2600–1.4700。标称准确度为 R.I.+ 0.0002,通常相当于 0.1%(按重量百分比计),例如,盐酸浓度。

测量不受颗粒、气泡、紊流及 PPM 浓度级别微量杂质影响。
易于维护
独特光学核心设计。
无漂移。无需重新校准。无需进行机械调节。

下载

客户案例