Refratômetros semicondutores Vaisala K-PATENTS® PR-33-S

Um refratômetro compacto com corpo de célula de fluxo PTFE modificado ultrapuro para processos químicos líquidos do semicondutor. Conectado ao processo por um pilar de ¼ — 1 polegada ou conexão expandida.

O refratômetro semicondutor Vaisala K-PATENTS® PR-33-S monitora a concentração de produtos químicos do fabricante em ambiente de sala limpa e nas ferramentas integradas do processo (mistura, limpeza, reação e CMP).

O PR-33-S consiste em um corpo de célula de fluxo PTFE modificado ultrapuro e um cabo Ethernet que qualquer switch PoE (Power-over-Ethernet) padrão pode usar para transmitir energia ao sensor e dados a um computador. O PR-33-S monitora as concentrações químicas em tempo real e fornece um sinal de saída Ethernet e feedback imediato se o produto químico estiver fora das especificações. Por exemplo, alarmes de baixa e alta concentração podem ser configurados de modo a controlar e aumentar a duração do banho. A concentração é determinada por uma medição óptica do Índice de Refração nD e da temperatura da solução.

O PR-33-S é montado diretamente em linha com uma conexão expandida ou de pilar. O PR-33-S tem uma estrutura compacta e isenta de metais e precisa apenas de uma pequena superfície de construção.

Elementos principais:

  • calibração rastreável NIST, verificação com líquidos por IR padrão e procedimento validado.
  • Módulo óptico CORE patenteado (Patente dos EUA nº US6067151). 
  • Painel remoto via Ethernet para registro de dados e operação remota.
  • A comunicação é criada pelos protocolos UDP/IP padrão.
  • Faixa de temperatura de processo: -20 °C – 85 °C (-4 °F – 185 °F).
  • Medição rápida da temperatura de processo com Pt1000 integrada e compensação automática de temperatura digital.
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Principais benefícios

Dispositivo totalmente digital
O refratômetro semicondutor Vaisala K-PATENTS® PR-33-S é usado para controle e monitoramento de processos e fornece um sinal de saída Ethernet contínuo. Design compacto e dispositivo montado diretamente em linha.
Medições precisas e confiáveis em todo o alcance
A faixa de medição completa do Índice de Refração nD 1,3200 – 1,5300, que corresponde a 0 - 100% por peso. Faixa opcional nD 1,2600 – 1,4700 para HF forte. Precisão típica IR +0,0002, que normalmente corresponde a 0,1% por peso, por exemplo, para HCl em água.

A medição não é influenciada por partículas, bolhas, fluxo turbulento ou impurezas no intervalo de PPM.
Fácil manutenção
Design de elemento óptico patenteado.
Sem desvio. Sem recalibração. Sem ajustes mecânicos.