Refratômetro semicondutor Vaisala K-PATENTS® PR-23-MS

Um refratômetro compacto com corpo de célula de fluxo PTFE modificado ultrapuro para processos químicos líquidos do semicondutor. Conectado ao processo por um pilar de ¼ — 1 polegada ou conexão expandida.

O refratômetro semicondutor Vaisala K-PATENTS® PR−23−MS tem uma célula de fluxo PTFE modificado, ultrapuro e integrado projetada para impedir que metais e peças em oxidação entrem em contato com o líquido do processo. Todas as peças úmidas são feitas de PTFE ultrapuro e modificado. O material prisma é safira.

O PR-23-MS é montado diretamente em linha com uma conexão pilar ou expandida. O design compacto permite a integração com um banco úmido ou um gabinete, onde a necessidade de superfície de construção é muito baixa.

A concentração de sólidos dissolvidos é determinada por uma medição óptica do índice de refração da solução. A vantagem desse princípio é que o mesmo instrumento pode ser usado para medir qualquer produto químico.

O PR-23-MS fornece um sinal de medição contínuo de 4 a 20 mA ou digital e feedback imediato ao sistema de controle caso o produto químico não esteja no escopo das especificações. O PR-23-MS é fisicamente um dispositivo pequeno e de fácil instalação na distribuição de produtos químicos a granel e, no ponto de uso, aplicações de mistura, adição e monitoramento de produtos químicos.

Com o Vaisala K-PATENTS® PR-23-MS, você pode:

  • Impedir que produtos químicos indevidos entrem no processo de fabricação.
  • Otimizar o processo de reação e aumentar a duração do banho da solução de reação (por exemplo, KOH aquecido).
  • Aumentar o rendimento da pastilha normalmente em +25%, e reduzir o consumo de produtos químicos de limpeza (por exemplo, SC-1 ou EKC-265) na limpeza de FEOL e BEOL.
  • Atingir controle rígido das misturas de CMP e melhor uniformidade do processo de planarização.

Principais características:

  • Precisão típica de 0,1% por peso, por exemplo, para HCl em água. Para soluções de componentes múltiplos, o sinal de medição funciona como um total de comprovação.
  • Módulo óptico CORE patenteado (Patente dos EUA nº US6067151). 
  • Conectividade dupla: um transmissor pode operar dois sensores. Um segundo sensor pode ser facilmente integrado posteriormente.
  • Faixa de temperatura de processo: -20 °C – 150 °C (-4 °F – 300 °F)
  • Medição rápida da temperatura de processo com Pt1000 integrada e compensação automática de temperatura.
  • Aprovação ATEX para Zona II, classificação de área EX II 3 G EEx nA II T4.
  • Aprovação FM para Classe I, Div. 2, Grupos A, B, C e D, T6.
  • Certificação CSA para Classe I, Div. 2, Grupos A, B, C e D, T4.
  • Certificação cCSAus para Segurança Elétrica, Sensor: Classe I, Grau de Poluição 3; Transmissor: Classe I, Grau de Poluição 2; Cat. de instalação II
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Principais benefícios

Dispositivo totalmente digital
O refratômetro semicondutor Vaisala K-PATENTS® PR-33-S é usado para controle e monitoramento de processos e fornece um sinal de saída Ethernet contínuo. Design compacto e dispositivo montado diretamente em linha.
Medições precisas e confiáveis em todo o alcance
A faixa de medição completa do Índice de Refração nD 1,3200 – 1,5300, que corresponde a 0 - 100% por peso. Faixa opcional nD 1,2600 – 1,4700 para HF forte. Precisão típica IR +0,0002, que normalmente corresponde a 0,1% por peso, por exemplo, para HCl em água.

A medição não é influenciada por partículas, bolhas, fluxo turbulento ou impurezas no intervalo de PPM.
Fácil manutenção
Design de elemento óptico patenteado.
Sem desvio. Sem recalibração. Sem ajustes mecânicos.