ヴァイサラ K-PATENTS®| 半導体製造プロセス向け屈折率計 PR-23-MS

半導体製造プロセス中の薬液用の超高純度変性 PTFE フローセル本体が付属した小型屈折率計です。1/4~1インチのピラーまたはフレア継手でプロセスに接続します。

ヴァイサラ K-PATENTS® 半導体製造プロセス向け屈折率計PR-23-MSには、どの金属部品や腐食性部品もプロセス液と接触しないように設計された超高純度の変性 PTFE フローセルが内蔵されています。すべての接液部品は超高純度の変性PTFE製で、プリズムの素材はサファイヤです。

PR-23-MSは、ピラーまたはフレア継手を使用してインラインに直接取り付けることができます。コンパクトな設計により、ウェットベンチやキャビネットへの組み込みが可能であり、設置面積が小さくて済みます。

溶解固形物濃度は、溶液の屈折率を光学的に計測することで決定されます。この方式の利点は、同じ計測機器であらゆる化学物質を計測できることです。

PR-23-MSは、化学物質濃度が仕様範囲を逸脱した場合に、連続的な4~20mAのアナログ信号またはデジタル計測信号を出力し、即時のフィードバックを制御システムに提供します。また、小型で物理的にスペースをとらないため、バルクケミカルの塗布、使用点での化学物質の混合、添加、監視に関わるアプリケーションに簡単に設置できます。

ヴァイサラ K-PATENTS® PR-23-MS で実現できること

  • 製造プロセスでの不要な化学物質の混入を防止
  • エッチングプロセスを最適化し、エッチング溶液(加熱した水酸化カリウム溶液など)の浴寿命を向上
  • ウエハースループットを通常25%向上、FEOLおよびBEOLの洗浄における洗浄剤(SC-1やEKC-265など)の消費量を削減
  • CMPスラリーの厳格な管理および平坦化プロセスの均一性向上を実現

主な特徴

  • 標準精度:重量比0.1%(水分中の塩化水素など)。多成分溶液では、計測信号をチェックサムとして使用
  • 特許取得済みのCORE光学モジュール(米国特許番号 US6067151)
  • デュアル接続:1つの変換器で 2 つのセンサを動作させることができます。2つ目のセンサは後からでも簡単に取り付けられます。
  • プロセス温度範囲:-20~+150°C
  • 組み込みのPt1000および自動温度補正により、プロセス温度の高速計測を実現
  • ATEX認定(危険場所の分類:Zone II、EX II 3 G EEx nA II T4)
  • FM認定(クラス I、Div. 2、Groups A、B、C、D、T6)
  • CSA認証(クラス I、Div. 2、Groups A、B、C、D、T4)
  • 電気的安全性でcCSAus認証。センサ:クラス I、汚染度3。変換器:クラス I、汚染度2。設置カテゴリ II
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特長

完全にデジタルなデバイス
ヴァイサラ K-PATENTS® 半導体製造プロセス向け屈折率計PR-33-Sは、プロセス管理およびプロセスモニタリングの用途に最適であり、イーサネット出力信号を常時提供します。コンパクトなデザインで、インラインに直接取り付けができます。
高精度で安定した計測を計測範囲全域で実現
全計測範囲で屈折率 nD 1.3200~1.5300(重量比 0~100% に相当)。高フッ化水素の場合、nD 1.2600~1.4700(オプション範囲)。標準精度は R.I.+0.0002 で、通常は重量比0.1%(水分中の塩化水素など)に相当します。

計測は、ppm範囲で粒子、気泡、乱流、または不純物などの影響を受けません。
容易なメンテナンス
特許取得済みの光学系センサを内臓。
ドリフトなし。再校正なし。機械的調整なし。