半導体製造装置の計測とモニタリング

高精度かつ安定した計測器が、半導体装置を取り巻くミクロ環境の厳密な制御を可能にします。

ヴァイサラは、相対湿度と気圧計測用のコンパクトなOEMモジュールを提供しています。

関連製品

Vaisala vLog SP

vLog SP

温度&湿度のトレンディングおよび分析用
ヴァイサラ vLog SPは強力で使いやすいソフトウェアで、ヴァイサラ...
DL4000 Voltage and Current Loop Logger

OPCサーバー

DLシリーズデータロガーを他社システム(ヴァイサラ以外)で使用する場合に
ヴァイサラ...

関連事例