半導体製造プロセス向け屈折率計

ヴァイサラ K‑PATENTS® 半導体製造プロセス向け屈折率計は小型で設置面積が小さく、ウェットケミカルの濃度計測向け計測器として、半導体製造プロセスのツールや超清浄キャビネットに組み込むために特別に設計されています。