Rifrattometro per semiconduttori Vaisala K-PATENTS® PR-33-S

Un rifrattometro compatto con un corpo con celle di flusso in PTFE ultra puro modificato per processi chimici liquidi per semiconduttori. Collegato al processo tramite adattatore svasato o verticale da ¼" a 1".

Il rifrattometro per semiconduttori Vaisala K-PATENTS® PR-33-S monitora la concentrazione delle sostanze chimiche degli impianti di produzione nell'ambiente delle camere bianche e negli strumenti di processo integrati (miscelazione, pulizia, incisione e CMP).

Il PR-33-S è costituito da un corpo con celle di flusso in PTFE ultra puro modificato e da un cavo Ethernet che qualsiasi switch PoE (Power-over-Ethernet) standard può utilizzare per alimentare sensore e trasmettere i dati a un computer. Il PR-33-S monitora le concentrazioni chimiche in tempo reale e fornisce un segnale di uscita Ethernet e un feedback immediato, qualora la sostanza chimica non sia conforme alle specifiche. Ad esempio, è possibile configurare allarmi a bassa e alta concentrazione per controllare e aumentare la durata del bagno. La concentrazione viene determinata effettuando una misurazione ottica dell'indice di rifrazione nD della soluzione e della temperatura.

Il PR-33-S viene montato direttamente in linea tramite adattatore svasato o verticale. Il PR-33 presenta un design compatto e privo di metallo e si caratterizza per l'ingombro ridotto.

Caratteristiche principali:

  • Taratura tracciabile N.I.S.T., verifica con liquidi R.I. standard e procedura validata.
  • Ottica CORE brevettata (brevetto USA n. US6067151). 
  • Interfaccia remota via Ethernet per la registrazione dei dati e il funzionamento remoto.
  • La comunicazione è basata sui protocolli UDP/IP standard.
  • Intervallo temperatura di esercizio: -20°C – 85°C (-4°F – 185°F).
  • Misurazione rapida della temperatura del processo tramite Pt1000 integrata e compensazione automatica digitale della temperatura.
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Vantaggi principali

Dispositivo completamente digitale
Il rifrattometro Vaisala K‑PATENTS® PR-33-S viene utilizzato per il controllo e il monitoraggio del processo e fornisce un segnale di uscita Ethernet in continuo. Caratterizzato da un design compatto, il dispositivo è montato direttamente in linea.
Misurazione precisa e stabile in tutto l'intervallo.
Intervallo di misurazione completo dell'indice di rifrazione nD 1.3200 - 1.5300, che corrisponde allo 0 - 100% in peso. Gamma opzionale nD 1.2600–1.4700 per HF elevato. Precisione tipica R.I. + 0.0002, che corrisponde tipicamente allo 0,1% in peso, ad es. per HCl in acqua.

La misurazione non è influenzata da particelle, bolle, flusso turbolento o impurità nel range PPM.
Manutenzione semplice
Nessuna deriva. Nessuna ritaratura. Nessuna calibrazione meccanica.

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