Rifrattometro per semiconduttori Vaisala K-PATENTS® PR-23-MS

Un rifrattometro compatto con un corpo con celle di flusso in PTFE modificato ultra puro per processi chimici liquidi per semiconduttori. Collegato al processo tramite adattatore svasato o verticale da ¼" a 1".

Il rifrattometro per semiconduttori Vaisala K-PATENTS® PR-23-MS è composto da una cella di flusso in PTFE modificato ultra puro, progettata per impedire a tutte le parti metalliche e corrosive di entrare in contatto con il liquido di processo. Tutte le parti a contatto con il fluido sono realizzate in PTFE modificato ultra puro. Il prisma è in zaffiro.

Il PR-23-MS viene montato direttamente in linea tramite adattatore svasato o verticale. Il design compatto consente l'integrazione con un banco bagnato o cabinet, caratterizzandosi per un ingombro particolarmente ridotto.

La concentrazione di solidi disciolti viene determinata effettuando una misurazione ottica dell'indice di rifrazione della soluzione. Il vantaggio di questo principio è che lo stesso strumento può essere utilizzato per misurare qualsiasi sostanza chimica.

Il PR-23-MS fornisce un segnale di misurazione continuo 4 - 20 mA o digitale e un feedback immediato al sistema di controllo, qualora la sostanza chimica non rientri nelle specifiche. Strutturalmente, il PR-23-MS è un dispositivo di dimensioni ridotte ed è facile da installare nell'erogazione di sostanze chimiche in sospensione, nonché in processi di miscelazione, spiking e monitoraggio.

Con Vaisala K-PATENTS® PR-23-MS è possibile:

  • Impedire l'ingresso di sostanze chimiche errate nel processo di produzione.
  • Ottimizzare il processo di etch e aumentare la durata del bagno della soluzione di etch (ad es. KOH riscaldato).
  • Aumentare la produzione di wafer in genere del +25% e ridurre il consumo di detergenti chimici (ad es. SC-1 o EKC-265) nella pulizia FEOL e BEOL.
  • Ottenere uno stretto controllo delle sospensioni CMP e una migliore uniformità del processo di planarizzazione.

Caratteristiche principali:

  • Precisione tipica dello 0,1% in peso, ad es. per HCl in acqua. Per le soluzioni multicomponente, il segnale di misurazione funziona come un valore di check sum
  • Ottica CORE brevettata (brevetto USA n. US6067151). 
  • Doppia connettività: un trasmettitore può gestire due sensori. Un secondo sensore può essere facilmente integrato in un secondo momento.
  • Intervallo temperatura di esercizio: -20°C – 150°C (-4°F – 300°F)
  • Misurazione rapida della temperatura del processo tramite Pt1000 integrata e compensazione automatica della temperatura.
  • Omologazione ATEX per zona II, classificazione area EX II 3 G EEx nA II T4.
  • Omologazione FM per classe I, div. 2, gruppi A, B, C e D, T6.
  • Certificazione CSA per classe I, div. 2, gruppi A, B, C e D, T4.
  • Certificato cCSAus per la sicurezza elettrica, sensore: classe I, grado di inquinamento 3; trasmettitore: classe I, grado di inquinamento. 2; cat. di installazione II.
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Key Benefits

Dispositivo completamente digitale
Il rifrattometro Vaisala K‑PATENTS® PR-33-S viene utilizzato per il controllo e il monitoraggio del processo e fornisce un segnale di uscita Ethernet in continuo. Caratterizzato da un design compatto, il dispositivo è montato direttamente in linea.
Misurazione precisa e stabile in tutto l'intervallo.
Intervallo di misurazione completo dell'indice di rifrazione nD 1.3200 - 1.5300, che corrisponde allo 0 - 100% in peso. Gamma opzionale nD 1.2600–1.4700 per HF elevato. Precisione tipica R.I. + 0.0002, che corrisponde tipicamente allo 0,1% in peso, ad es. per HCl in acqua.

La misurazione non è influenzata da particelle, bolle, flusso turbolento o impurità nel range PPM.
Manutenzione semplice
Nessuna deriva. Nessuna ritararura. Nessuna calibrazione meccanica.