Brochure Contatti Rifrattometro per semiconduttori Vaisala K-PATENTS® PR-23-MS per processi chimici liquidi per semiconduttori Un rifrattometro compatto con un corpo con celle di flusso in PTFE modificato ultra puro per processi chimici liquidi per semiconduttori. Collegato al processo tramite adattatore svasato o verticale da ¼" a 1". Il rifrattometro per semiconduttori Vaisala K-PATENTS® PR-23-MS è composto da una cella di flusso in PTFE modificato ultra puro, progettata per impedire a tutte le parti metalliche e corrosive di entrare in contatto con il liquido di processo. Tutte le parti a contatto con il fluido sono realizzate in PTFE modificato ultra puro. Il prisma è in zaffiro. Il PR-23-MS viene montato direttamente in linea tramite adattatore svasato o verticale. Il design compatto consente l'integrazione con un banco bagnato o cabinet, caratterizzandosi per un ingombro particolarmente ridotto. La concentrazione di solidi disciolti viene determinata effettuando una misurazione ottica dell'indice di rifrazione della soluzione. Il vantaggio di questo principio è che lo stesso strumento può essere utilizzato per misurare qualsiasi sostanza chimica. Il PR-23-MS fornisce un segnale di misurazione continuo 4 - 20 mA o digitale e un feedback immediato al sistema di controllo, qualora la sostanza chimica non rientri nelle specifiche. Strutturalmente, il PR-23-MS è un dispositivo di dimensioni ridotte ed è facile da installare nell'erogazione di sostanze chimiche in sospensione, nonché in processi di miscelazione, spiking e monitoraggio. Con Vaisala K-PATENTS® PR-23-MS è possibile: Impedire l'ingresso di sostanze chimiche errate nel processo di produzione. Ottimizzare il processo di etch e aumentare la durata del bagno della soluzione di etch (ad es. KOH riscaldato). Aumentare la produzione di wafer in genere del +25% e ridurre il consumo di detergenti chimici (ad es. SC-1 o EKC-265) nella pulizia FEOL e BEOL. Ottenere uno stretto controllo delle sospensioni CMP e una migliore uniformità del processo di planarizzazione. Caratteristiche principali: Precisione tipica dello 0,1% in peso, ad es. per HCl in acqua. Per le soluzioni multicomponente, il segnale di misurazione funziona come un valore di check sum Ottica CORE brevettata (brevetto USA n. US6067151). Doppia connettività: un trasmettitore può gestire due sensori. Un secondo sensore può essere facilmente integrato in un secondo momento. Intervallo temperatura di esercizio: -20°C – 150°C (-4°F – 300°F) Misurazione rapida della temperatura del processo tramite Pt1000 integrata e compensazione automatica della temperatura. Omologazione ATEX per zona II, classificazione area EX II 3 G EEx nA II T4. Omologazione FM per classe I, div. 2, gruppi A, B, C e D, T6. Certificazione CSA per classe I, div. 2, gruppi A, B, C e D, T4. Certificato cCSAus per la sicurezza elettrica, sensore: classe I, grado di inquinamento 3; trasmettitore: classe I, grado di inquinamento. 2; cat. di installazione II. + Show more Key Benefits Dispositivo completamente digitale Il rifrattometro Vaisala K‑PATENTS® PR-33-S viene utilizzato per il controllo e il monitoraggio del processo e fornisce un segnale di uscita Ethernet in continuo. Caratterizzato da un design compatto, il dispositivo è montato direttamente in linea. Misurazione precisa e stabile in tutto l'intervallo. Intervallo di misurazione completo dell'indice di rifrazione nD 1.3200 - 1.5300, che corrisponde allo 0 - 100% in peso. Gamma opzionale nD 1.2600–1.4700 per HF elevato. Precisione tipica R.I. + 0.0002, che corrisponde tipicamente allo 0,1% in peso, ad es. per HCl in acqua. La misurazione non è influenzata da particelle, bolle, flusso turbolento o impurità nel range PPM. Manutenzione semplice Nessuna deriva. Nessuna ritararura. Nessuna calibrazione meccanica. Downloads Manual: PR-23-MS instruction manual (9.2 MB) Brochure: Vaisala K-PATENTS® Semicon Refractometer PR-23-MS (359.03 KB) All downloads Need support? Sign up for news Contact us