Rifrattometro per semiconduttori Vaisala K-PATENTS® PR-23-MS

Un rifrattometro compatto con un corpo con celle di flusso in PTFE modificato ultra puro per processi chimici liquidi per semiconduttori. Collegato al processo tramite adattatore svasato o verticale da ¼" a 1".

Il rifrattometro per semiconduttori Vaisala K-PATENTS® PR-23-MS è composto da una cella di flusso in PTFE modificato ultra puro, progettata per impedire a tutte le parti metalliche e corrosive di entrare in contatto con il liquido di processo. Tutte le parti a contatto con il fluido sono realizzate in PTFE modificato ultra puro. Il prisma è in zaffiro.

Il PR-23-MS viene montato direttamente in linea tramite adattatore svasato o verticale. Il design compatto consente l'integrazione con un banco bagnato o cabinet, caratterizzandosi per un ingombro particolarmente ridotto.

La concentrazione di solidi disciolti viene determinata effettuando una misurazione ottica dell'indice di rifrazione della soluzione. Il vantaggio di questo principio è che lo stesso strumento può essere utilizzato per misurare qualsiasi sostanza chimica.

Il PR-23-MS fornisce un segnale di misurazione continuo 4 - 20 mA o digitale e un feedback immediato al sistema di controllo, qualora la sostanza chimica non rientri nelle specifiche. Strutturalmente, il PR-23-MS è un dispositivo di dimensioni ridotte ed è facile da installare nell'erogazione di sostanze chimiche in sospensione, nonché in processi di miscelazione, spiking e monitoraggio.

Con Vaisala K-PATENTS® PR-23-MS è possibile:

• Impedire l'ingresso di sostanze chimiche errate nel processo di produzione.
• Ottimizzare il processo di etch e aumentare la durata del bagno della soluzione di etch (ad es. KOH riscaldato).
• Aumentare la produzione di wafer in genere del +25% e ridurre il consumo di detergenti chimici (ad es. SC-1 o EKC-265) nella pulizia FEOL e BEOL.
• Ottenere uno stretto controllo delle sospensioni CMP e una migliore uniformità del processo di planarizzazione.

Caratteristiche principali:

• Precisione tipica dello 0,1% in peso, ad es. per HCl in acqua. Per le soluzioni multicomponente, il segnale di misurazione funziona come un valore di check sum
• Ottica CORE brevettata (brevetto USA n. US6067151). 
• Doppia connettività: un trasmettitore può gestire due sensori. Un secondo sensore può essere facilmente integrato in un secondo momento.
• Intervallo temperatura di esercizio: -20°C – 150°C (-4°F – 300°F)
• Misurazione rapida della temperatura del processo tramite Pt1000 integrata e compensazione automatica della temperatura.
• Omologazione ATEX per zona II, classificazione area EX II 3 G EEx nA II T4.
• Omologazione FM per classe I, div. 2, gruppi A, B, C e D, T6.
• Certificazione CSA per classe I, div. 2, gruppi A, B, C e D, T4.
• Certificato cCSAus per la sicurezza elettrica, sensore: classe I, grado di inquinamento 3; trasmettitore: classe I, grado di inquinamento. 2; cat. di installazione II.