Soluzioni per processi di produzione di semiconduttori, nonché per monitoraggio e controllo degli impianti

CONTATTI

La produzione di wafer semiconduttori e di dispositivi microelettronici è un processo impegnativo con margine di errore ridotto. L'industria dipende da strumenti di monitoraggio e misura ad alte prestazioni per composizioni chimiche e condizioni atmosferiche precise. 

Vaisala offre misurazioni affidabili e attendibili per produttori di semiconduttori

Vaisala offre misurazioni affidabili e attendibili per produttori di semiconduttori e fonderie MEMS, fornitori di apparecchiature per semiconduttori, operatori di fabbrica e fornitori di materiali. 
I rifrattometri di processo per semiconduttori vengono impiegati per il monitoraggio della concentrazione in linea nell'erogazione di sostanze chimiche alla rinfusa e sospensioni, nonché in processi di miscelazione, spiking e lucidatura al punto di utilizzo. 
Gli accurati strumenti di misura Vaisala per pressione dell'aria, temperatura e umidità consentono di ottenere dati accurati sull'ambiente di produzione e offrono precisione superiore, stabilità a lungo termine e tempi di risposta rapidi.

 

Applicazioni

Chimica umida in tempo reale

Gli impianti per la produzione di wafer semiconduttori consumano tonnellate di sostanze chimiche durante l'intero processo produttivo. L'affidabilità di ciascuna soluzione chimica è la principale preoccupazione degli impianti di produzione, poiché anche la minima deviazione dalle specifiche può causare costose contaminazioni delle apparecchiature e scarti nella produzione di wafer. 

ULTERIORI INFORMAZIONI SUL MONITORAGGIO DEI PROCESSI CHIMICI DEGLI IMPIANTI DI PRODUZIONE

Qualità dei wafer in fotolitografia

La qualità del modello di circuito integrato nella produzione di semiconduttori dipende dalle condizioni del passo-passo. Migliora la precisione del condizionamento dell'aria e la capacità del processo passo-passo dei wafer con un'accurata misura della pressione dell'aria, della temperatura e dell'umidità.

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Aria compressa e linee di processo N2

Se si utilizzano linee di processo ad aria compressa o azoto, la misura del punto di rugiada aiuta a risparmiare risorse evitando l'eccessiva essiccazione dell'aria e la corrosione dell'apparecchiatura. La tecnologia DRYCAP di Vaisala consente tempi di risposta rapidi con precisione e bassa necessità di manutenzione.

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Controllo dell'impianto

Una ventilazione insufficiente riduce non solo il benessere dei dipendenti, ma anche la produttività in modo sostanziale, ben del 18%. Grazie a misure accurate di umidità, CO2 e temperatura con sensori HVAC affidabili, durevoli e tracciabili, è possibile ottenere contemporaneamente sia l'efficienza energetica sia il benessere dei dipendenti.

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Perché Vaisala?

Vaisala è un profondo conoscitore dell'industria dei semiconduttori e un partner di fiducia per i nostri clienti.
Conosciamo a fondo le aziende, pertanto progettiamo e realizziamo prodotti
per diversi processi critici dei semiconduttori, dalle sostanze chimiche al controllo della qualità del processo fino al monitoraggio dell'aria ambiente.

La nostra conoscenza dei processi si completa con la nostra camera bianca interna e con la produzione di microchip
di alta qualità per i prodotti Vaisala e per scopi di ricerca e sviluppo.

Vaisala si impegna a supportare i prodotti durante il loro intero ciclo di vita,
oltre a offrire servizi e assistenza di qualità superiore a livello locale.  

Maggiori informazioni

Caso clienti

Perché Vaisala è il fornitore preferito di molti impianti di fabbricazione di semiconduttori per la qualificazione della concentrazione di H2O2 nel CMP del tungsteno

La misurazione dell'IR è una tecnica semplice, economica e precisa che fornisce informazioni in tempo reale sulla composizione del liquame, rendendo un rifrattometro lo strumento metrologico preferito da molti impianti di fabbricazione.

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Blog

I semiconduttori necessitano di macchinari di qualità e delle migliori apparecchiature di monitoraggio

In questo blog esaminiamo la gamma di sensori di umidità e pressione di Vaisala che assicurano misurazioni accurate per i produttori delle macchine utilizzate per la produzione di semiconduttori.
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Blog

L'acqua è uno dei contaminanti più significativi nella produzione di semiconduttori: come misurare accuratamente l'umidità e la temperatura

Per evitare problemi di qualità e resa del prodotto, i livelli di umidità e temperatura devono essere monitorati con estrema attenzione nella produzione di semiconduttori. 

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Webinar

Ottimizza la qualità e la resa dei wafer con dati in tempo reale durante il processo CMP

Iscriviti a questo webinar e scopri perché i rifrattometri da processo Vaisala sono stati installati da centinaia di produttori di semiconduttori in tutto il mondo. Oltre a esaminare la tecnologia alla base delle nostre soluzioni di misurazione, spiegheremo quali sono le applicazioni più comuni e condivideremo alcuni casi d'uso di esempio delle aziende produttrici.

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Webinar

Garantisci il tuo rendimento nella produzione di semiconduttori e batterie

Partecipa a questo webinar on-demand e scopri le diverse tecniche per ottenere la migliore precisione e qualità di misurazione, soluzioni pratiche per mantenere condizioni di produzione ottimali in camera bianca e in camera asciutta e come scegliere il prodotto giusto per la tua applicazione.

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