Réfractomètre Semicon Vaisala K‑PATENTS® PR-33-S

Un réfractomètre compact avec un corps de cellule d'écoulement en PTFE modifié ultra pur pour les procédés chimiques liquides semi-conducteurs.  Connecté au processus par un raccord évasé ou Pillar de ¼ — 1 pouce.

Le réfractomètre Vaisala K-PATENTS® Semicon PR-33-S surveille la concentration des produits chimiques de fabrication dans l'environnement de la salle blanche et dans les outils de processus intégrés (mélange, nettoyage, gravure et CMP).

Le PR-33-S se compose d'un corps de cellule d'écoulement en PTFE modifié ultra pur et d'un câble Ethernet que tout commutateur PoE (Power-over-Ethernet) standard peut utiliser pour transmettre l'alimentation au capteur et les données à un ordinateur. Le PR-33-S surveille les concentrations chimiques en temps réel et fournit un signal de sortie Ethernet et un retour immédiat, si le produit chimique n'est pas conforme aux spécifications. Par exemple, des alarmes de concentration faible et élevée peuvent être configurées pour contrôler et augmenter la durée de vie du bain. La concentration est déterminée en effectuant une mesure optique de l'indice de réfraction nD et de la température de la solution.

Le PR-33-S est monté directement en ligne avec une fixation évasée ou Pillar. Le PR-33-S bénéficie d'une construction compacte, sans métal et son encombrement est réduit.

Éléments clé :

  • Étalonnage traçable N.I.S.T, vérification avec des liquides R.I. standard et procédure validée.
  • CORE-Optics breveté (brevet américain n° US6067151). 
  • Panneau distant via Ethernet pour la journalisation des données et le fonctionnement à distance.
  • La communication est établie par les protocoles standard UDP/IP.
  • Plage de température du process : -20 °C à 85 °C.
  • Mesure rapide de la température du process par Pt1000 intégré et compensation numérique automatique de la température.
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Avantages clés

Completely digital device
Vaisala K-PATENTS® Semicon Refractometer PR-33-S is used for process control and monitoring, and it provides a continuous Ethernet output signal. Compact design, and device is mounted directly in-line.
Accurate and stable measurements over the full range
Full measurement range of Refractive Index nD 1.3200–1.5300, which corresponds to 0-100 % by weight. Optional range nD 1.2600–1.4700 for strong HF. Typical accuracy R.I.+ 0.0002, which typically corresponds to 0.1% by weight, e.g. for HCl in water.

Measurement is not influenced by particles, bubbles, turbulent flow or impurities in the PPM range.
Easy maintenance
No drift. No re-calibration. No mechanical adjustments.

Témoignages de clients