Réfractomètre Vaisala K‑PATENTS® Semicon PR-23-MS

Un réfractomètre compact avec un corps de cellule d'écoulement en PTFE modifié ultra pur pour les procédés chimiques liquides semi-conducteurs. Connecté au processus par un raccord évasé ou Pillar de ¼ — 1 pouce.

Le réfractomètre Vaisala K-PATENTS® Semicon PR-23-MS est doté d'une cellule d'écoulement en PFTE modifié ultra pur intégrée, conçue pour empêcher toutes les pièces métalliques et corrosives d'entrer en contact avec le liquide de procédé. Toutes les pièces en contact avec le fluide sont en PTFE modifié ultra-pur. Le matériau du prisme est le saphir.

Le PR-23-MS est monté directement en ligne avec une fixation évasée ou Pillar. La conception compacte permet l'intégration à un banc humide ou à une armoire, où l'encombrement doit être très faible.

La concentration de solides dissous est déterminée en effectuant une mesure optique de l'indice de réfraction de la solution. L'avantage de ce principe est que le même instrument peut être utilisé pour mesurer n'importe quel produit chimique.

Le PR-23-MS fournit un signal de mesure continu de 4 à 20 mA ou numérique et un retour immédiat au système de contrôle, si le produit chimique n'est pas conforme aux spécifications. Physiquement, le PR-23-MS est un petit appareil facile à installer dans la distribution de produits chimiques en vrac et dans les applications de surveillance, de procédé par ajout connu et de mélange de produits chimiques au point d'utilisation.

Avec Vaisala K-PATENTS® PR-23-MS, vous pouvez :

  • Empêcher les mauvais produits chimiques d'entrer dans le processus de fabrication.
  • Optimiser le processus de gravure et augmenter la durée de vie du bain de la solution de gravure (par ex. KOH chauffé).
  • Augmenter le débit des plaquettes généralement de +25 % et réduire la consommation de produits chimiques de nettoyage (par exemple SC-1 ou EKC-265) lors du nettoyage FEOL et BEOL.
  • Réaliser un contrôle strict des suspensions CMP et améliorer l'uniformité du processus de planarisation.

Caractéristiques principales :

  • Exactitude type de 0,1 % en poids, par exemple pour HCl dans l'eau. Pour les solutions à plusieurs composants, le signal de mesure fonctionne comme une somme de contrôle.
  • CORE-Optics breveté (brevet américain n° US6067151). 
  • Double connectivité : un transmetteur peut faire fonctionner deux capteurs. Un deuxième capteur peut être facilement intégré ultérieurement.
  • Plage de température du process : -20 °C à 150 °C
  • Mesure rapide de la température du process par Pt1000 intégré et compensation automatique de la température.
  • Homologué ATEX pour Zone II, classification de zone EX II 3 G EEx nA II T4.
  • Approuvé FM pour Classe I, Div. 2, Groupes A, B, C et D, T6.
  • Certifié CSA pour Classe I, Div. 2, Groupes A, B, C et D, T4.
  • Certifié cCSAus pour la sécurité électrique, capteur : classe I, degré de pollution 3 ; transmetteur : Classe I, degré de pollution 2 ; catégorie d'installation II.
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Avantages clés

Appareil entièrement numérique
Le réfractomètre Vaisala K-PATENTS® Semicon PR-33-S est utilisé pour le contrôle et la surveillance des processus et fournit un signal de sortie Ethernet continu. Conception compacte et appareil monté directement en ligne.
Mesures précises et stables sur toute la plage
Plage de mesure complète de l'indice de réfraction nD 1,3200–1,5300, ce qui correspond à 0-100 % en poids. Plage en option nD 1,2600–1,4700 pour HF puissantes. Exactitude type RI+ 0,0002, ce qui correspond habituellement à 0,1 % en poids, par exemple pour HCl dans l'eau.

La mesure n'est pas influencée par des particules, des bulles, un écoulement turbulent ou des impuretés dans la plage PPM.
Entretien facile
Pas de dérive. Pas de réétalonnage. Aucun réglage mécanique.