Réfractomètre semi-conducteur

Les réfractomètres semi-conducteurs Vaisala K‑PATENTS®  sont compacts, prennent peu de place et sont spécialement conçus pour une intégration dans un outil de processus semi-conducteur ou dans une armoire ultra-propre, offrant ainsi la métrologie pour les mesures de concentration en chimie par voie humide.