Vaisala K-PATENTS® PR-23-MS puolijohderefraktometri

Kompakti refraktometri, jossa on ultrapuhtaasta muunnellusta PTFE-muovista valmistettu virtauskenno puolijohteiden nestemäisten kemikaalien prosesseja varten. Laite kytketään prosessiin ¼–1 tuuman muhvi- tai kierreliitoksella.

Vaisala K-PATENTS® PR-23-MS puolijohderefraktometrissa on ultrapuhtaasta muunnellusta PTFE-muovista valmistettu virtauskenno, joka pitää kaikki metalliosat ja syöpyvät osat erillään prosessinesteestä. Kaikki prosessinesteen kanssa kosketuksiin joutuvat osat valmistetaan ultrapuhtaasta muunnellusta PTFE-muovista. Prisma on valmistettu safiirista.

PR-23-MS asennetaan suoraan prosessilinjaan kierre- tai muhviliitoksella. Kompakti rakenne mahdollistaa integroinnin myös hyvin pienen tilan märkäpenkkiin tai kaappiin.

Liuenneiden kiintoaineiden pitoisuus määritetään mittaamalla liuoksen taitekerroin optisesti. Tämän menetelmän etuna on, että samaa mittalaitetta voi käyttää minkä tahansa kemikaalin mittaukseen.

PR-23-MS tuottaa jatkuvan 4–20 mA:n tai digitaalisen mittaussignaalin sekä välittömän palautteen ohjausjärjestelmään, jos kemikaali ei ole määritysten mukainen. PR-23-MS on pienikokoinen laite, joka on helppo asentaa kemikaalien bulkkiannostelulinjalle tai käyttökohteeseen kemikaalien sekoitus-, terästys- ja valvontasovelluksissa.

Vaisala K-PATENTS® PR-23-MS puolijohderefraktometrin avulla voit:

  • estää väärien kemikaalien joutumisen valmistusprosessiin
  • optimoida etsausprosessia ja pidentää etsausliuoskylvyn, esimerkiksi kuumennettu KOH käyttöikää
  • lisätä kiekkojen tuotantoa tyypillisesti noin 25 % ja vähentää kemikaalien (esim. SC-1 tai EKC-265) kulutusta FEOL- ja BEOL-puhdistuksessa
  • saavuttaa tarkan CMP-slurrynesteiden hallinnan ja parantaa tasoitusprosessin yhdenmukaisuutta.

Tärkeimmät ominaisuudet:

  • Tyypillinen tarkkuus on 0,1 painoprosenttia esimerkiksi vedessä olevalle vetykloridille. Usean komponentin liuoksilla mittaussignaali toimii tarkistussummana.
  • Patentoitu CORE-optiikka (Yhdysvaltain patenttinro US6067151).
  • Kaksi liitäntää: yhdellä lähettimellä voi käyttää kahta anturia. Toisen anturin voi helposti integroida myöhemmin.
  • Prosessin lämpötila-alue: −20 ... +150 °C.
  • Nopea prosessin lämpötilamittaus sisäänrakennetun Pt1000-anturin ja automaattisen lämpötilakompensaation avulla.
  • ATEX-hyväksytty vyöhykkeelle II, alueluokitus EX II 3 G EEx nA II T4.
  • FM-hyväksytty: luokka I, osasto 2, ryhmät A, B, C ja D, T6.
  • CSA-sertifiointi: luokka I, osasto 2, ryhmät A, B, C ja D, T4.
  • Sähköturvallisuuden cCSAus-sertifiointi: anturi – luokka I, saasteluokitus 3; lähetin – luokka I, saasteluokitus 2; asennusluokka II.
+ Näytä lisää

Tärkeimmät hyödyt

Täysin digitaalinen laite
Vaisala K-PATENTS® PR-33-S puolijohderefraktometriä käytetään prosessin ohjaukseen ja valvontaan, ja se tuottaa jatkuvan Ethernet-lähtösignaalin. Laitteen rakenne on kompakti, ja se asennetaan suoraan linjaan.
Tarkat ja luotettavat mittaukset koko mittausalueella
Taitekertoimen nD-arvon koko mittausväli on 1,32–1,53, mikä vastaa 0–100 painoprosenttia. Vaihtoehtoinen mittausväli on 1,26–1,47 vahvaa hydrofluorihappoa (HF) varten. Tyypillinen tarkkuus on +0,0002, joka tavallisesti vastaa 0,1 painoprosenttia esimerkiksi vedessä olevalle vetykloridille (HCl).

Mittaukseen eivät vaikuta hiukkaset, kuplat, pyörteiset virtaukset eivätkä PPM-alueella olevat epäpuhtaudet.
Helppo huoltaa
Patentoitu optinen elementti.
Ei ryömintää. Ei uudelleenkalibrointia. Ei mekaanista säätöä.