Refractómetro Semicon K−PATENTS® PR-33-S de Vaisala

Un refractómetro compacto con un cuerpo de celda de flujo de PTFE modificado ultrapuro para procesos químicos líquidos semiconductores. Conectado al proceso por un pilar de ¼ - 1 pulgada o un accesorio acampanado.

El Refractómetro Semicon K−PATENTS® PR-33-S de Vaisala monitorea la concentración de los productos químicos de la fabricación en ambientes de salas limpias y en las herramientas de proceso integradas (mezcla, limpieza, grabado y CMP).

El modelo PR-33-S consiste en un cuerpo de celda de flujo de PTFE modificado ultrapuro y un cable Ethernet que cualquier interruptor estándar PoE (Power-over-Ethernet: Alimentación a través de Ethernet) puede utilizar para transmitir energía al sensor y los datos a una computadora. El modelo PR-33-S monitorea las concentraciones químicas en tiempo real y proporciona una señal de salida de Ethernet y retroalimentación inmediata, si la química está fuera de las especificaciones. Por ejemplo, las alarmas de baja y alta concentración pueden configurarse para controlar y aumentar la vida útil del baño. La concentración se determina al realizar una medición óptica del índice de refracción nD de la solución y la temperatura.

El PR-33-S se monta directamente en línea con un pilar o accesorio acampanado. El PR-33-S tiene una construcción compacta y libre de metales y solo necesita una superficie pequeña.

Elementos clave:

  • Calibración con trazabilidad N.I.S.T., verificación con líquidos R.I. estándar y un método validado.
  • Óptica CORE patentada (Patente de EE. UU. Nº US6067151). 
  • Panel remoto mediante Ethernet para registro de datos y funcionamiento remoto.
  • La comunicación se crea en base a los protocolos UDP/IP estándar.
  • Rango de temperatura de proceso: -20 °C – 85 °C (-4 °F – 185 °F).
  • Medición rápida de la temperatura de proceso mediante Pt1000 incorporado y compensación digital automática de temperatura.
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Beneficios clave

Dispositivo completamente digital
Refractómetro Semicon K−PATENTS® PR-33-S de Vaisala se utiliza para el monitoreo y control de procesos y proporciona una señal de salida Ethernet continua. El dispositivo, de diseño compacto, se monta directamente en línea.
Mediciones precisas y estables en todo el intervalo
Intervalo de medición completo del índice de refracción nD de 1,3200 – 1,5300, que corresponde a un 0 - 100 % en peso. Intervalo opcional nD 1,2600 – 1,4700 para HF fuerte. Precisión típica R.I.+ 0,0002, que típicamente corresponde a 0,1 % en peso, por ejemplo, para HCl en agua.

La medición no está influenciada por partículas, burbujas, flujo turbulento o impurezas en el intervalo de PPM.
Mantenimiento sencillo
Diseño de elemento óptico patentado en el interior.
Sin desviación. Sin recalibración. Sin ajustes mecánicos.