Refractómetro Semicon K−PATENTS® PR-23-MS de Vaisala

Un refractómetro compacto con un cuerpo de celda de flujo de PTFE modificado ultrapuro para procesos químicos líquidos semiconductores. Conectado al proceso por un pilar de ¼ - 1 pulgada o un accesorio acampanado.

Refractómetro Semicon K−PATENTS® PR-23-MS de Vaisala tiene una celda de flujo de PTFE modificado ultrapuro incorporado, diseñada para evitar que todas las partes metálicas y corrosivas entren en contacto con el líquido del proceso. Todas las partes húmedas están hechas de PTFE modificado ultrapuro. El material del prisma es zafiro.

El PR-23-MS se monta directamente en línea con un pilar o accesorio acampanado. El diseño compacto permite la integración en un banco mojado o en un gabinete, donde la necesidad de superficie es muy baja.

La concentración de sólidos disueltos se determina al realizar una medición óptica del índice de refracción de una solución. La ventaja de este principio es que se puede utilizar el mismo instrumento para medir cualquier producto químico.

El modelo PR-23-MS proporciona una señal de medición digital o continua de 4-20 mA y una retroalimentación inmediata al sistema de control, si el producto químico no está dentro de las especificaciones. El PR-23-MS es un dispositivo pequeño y fácil de instalar en la dispensación de productos químicos a granel y, en el punto de uso, en aplicaciones de mezclado, adición y monitoreo de productos químicos.

Con el modelo K-PATENTS® PR-23-MS de Vaisala puede realizar lo siguiente:

  • Impedir el ingreso de productos químicos incorrectos en el proceso de fabricación.
  • Optimizar el proceso de grabado y aumentar la vida útil del baño de la solución de grabado (por ejemplo, KOH calentado).
  • Aumentar el rendimiento de la oblea generalmente en un +25 % y reducir el consumo de productos químicos de limpieza (por ejemplo, SC-1 o EKC-265) en la limpieza de FEOL y BEOL.
  • Lograr un estricto control de las suspensiones CMP y una mejor uniformidad del proceso de planarización.

Características clave:

  • Precisión típica de un 0,1 % en peso, por ejemplo, para HCl en agua. Para soluciones de múltiples componentes, la señal de medición funciona como una suma de verificación.
  • Óptica CORE patentada (Patente de EE. UU. Nº US6067151). 
  • Conectividad dual: un transmisor puede utilizar dos sensores. Un segundo sensor se puede integrar fácilmente más tarde.
  • Rango de temperatura de proceso: -20 °C – 150 °C (-4 °F – 300 °F)
  • Medición rápida de la temperatura de proceso mediante Pt1000 incorporado y compensación automática de temperatura.
  • ATEX aprobado para la Zona II, clasificación de área EX II 3 G EEx nA II T4.
  • FM aprobado para Clase I, Div. 2, Grupos A, B, C y D, T6.
  • Certificado por CSA para Clase I, Div. 2, Grupos A, B, C y D, T4.
  • Certificado por cCSAus para Seguridad Eléctrica, Sensor: Clase I, Nivel de Contaminación 3; Transmisor: Clase I, Nivel de Contaminación 2; Categoría de Instalación II.
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Beneficios clave

Dispositivo completamente digital
Refractómetro Semicon K‑PATENTS® PR-33-S de Vaisala se utiliza para el monitoreo y control de procesos y proporciona una señal de salida Ethernet continua. El dispositivo, de diseño compacto, se monta directamente en línea.
Mediciones precisas y estables en todo el intervalo
Intervalo de medición completo del índice de refracción nD de 1,3200 – 1,5300, que corresponde a un 0 - 100 % en peso. Intervalo opcional nD 1,2600 – 1,4700 para HF fuerte. Precisión típica R.I.+ 0,0002, que típicamente corresponde a 0,1 % en peso, por ejemplo, para HCl en agua.

La medición no está influenciada por partículas, burbujas, flujo turbulento o impurezas en el intervalo de PPM.
Mantenimiento sencillo
Diseño de elemento óptico patentado en el interior.
Sin desviación. Sin recalibración. Sin ajustes mecánicos.