Vaisala K-PATENTS® Halbleiterrefraktometer PR-23-MS

Ein kompaktes Refraktometer mit einem hochreinen modifizierten PTFE-Durchflusszellenkörper für flüssigchemische Halbleiterprozesse. Verbunden mit dem Prozess durch ein 0,25- bis 1-Zoll-Pillar- oder Flare-Anschlussstück.

Das Vaisala K-PATENTS® Halbleiterrefraktometer PR-23-MS verfügt über eine integrierte, hochreine, modifizierte PTFE-Durchflusszelle, die dafür sorgt, dass kein Metall und keine korrodierenden Teile mit der Prozessflüssigkeit in Kontakt kommen. Alle benetzten Teile bestehen aus hochreinem modifiziertem PTFE. Das Prismenmaterial ist Saphir.

Das PR-23-MS wird direkt inline in ein Pillar- oder Flare-Anschlussstück montiert. Die kompakte Bauart ermöglicht die Integration in eine Nassbank oder in einen Schrank, wo nur wenig Platz verfügbar ist.

Die Konzentration von gelösten Feststoffen wird durch eine optische Messung des Refraktionsindex der Lösung bestimmt. Der Vorteil dieses Prinzips ist, dass mit dem gleichen Messgerät jede Chemikalie gemessen werden kann.

Das PR-23-MS liefert ein kontinuierliches 4- bis 20-mA- oder digitales Messsignal und eine sofortige Rückmeldung an das Kontrollsystem, wenn die Chemikalie nicht den Spezifikationen entspricht. Das PR-23-MS ist physikalisch gesehen ein kleines Gerät. Es lässt sich einfach in der Dosierung von Chemikalien in großen Mengen sowie für Misch-, Spitzen- und Überwachungsprozesse vor Ort einsetzen.

Mit dem Vaisala K-PATENTS® PR-23-MS können Sie:

  • Verhindern, dass falsche Chemikalien in den Herstellungsprozess gelangen.
  • Den Ätzprozess optimieren und die Badlebensdauer der Ätzlösung (z. B. erwärmtes KOH) erhöhen.
  • Den Waferdurchsatz in der Regel um 25 % steigern und den Verbrauch an Reinigungschemikalien (z. B. SC-1 oder EKC-265) bei der FEOL- und BEOL-Reinigung reduzieren.
  • Eine genaue Kontrolle der CMP-Schlämme und eine bessere Gleichmäßigkeit des Planarisierungsprozesses erzielen.

Wichtigste Merkmale:

  • Typische Genauigkeit von 0,1 % pro Gewicht, z. B. für HCl in Wasser. Bei Mehrkomponentenlösungen fungiert das Messsignal als Prüfsumme.
  • Patentierte CORE-Optik (US-Patent Nr. US6067151). 
  • Doppelte Konnektivität: Es sind zwei Sensoren in einem Messwertgeber einsetzbar. Ein zweiter Sensor kann später einfach integriert werden.
  • Prozesstemperaturbereich bei −20 … +150 °C.
  • Schnelle Prozesstemperaturmessung durch eingebauten Pt1000 und automatische Temperaturkompensation.
  • ATEX-Zulassung für Zone II, Gebietsklassifizierung EX II 3 G EEx nA II T4.
  • FM-Zulassung für Klasse I, Div. 2, Gruppen A, B, C und D, T6.
  • CSA-Zertifizierung für Klasse I, Div. 2, Gruppen A, B, C und D, T4.
  • cCSAus-Zertifizierung für elektrische Sicherheit, Sensor: Klasse I, Verunreinigungsgrad 3; Messwertgeber: Klasse I, Verunreinigungsgrad 2; Installationskategorie II.
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Hauptvorteile

Komplett digitales Gerät
Das Vaisala K‑PATENTS® Halbleiterrefraktometer PR-33-S wird zur Prozesssteuerung und -überwachung eingesetzt und liefert ein kontinuierliches Ethernet-Ausgangssignal. Kompakte Bauart, Gerät wird direkt inline montiert.
Genaue und stabile Messungen über den gesamten Bereich
Voller Messbereich des Refraktionsindex (nD) 1,3200 bis 1,5300, was 0 bis 100 % pro Gewicht entspricht. Optionaler Bereich nD 1,2600 bis 1,4700 für starke HF. Typische Genauigkeit RI + 0,0002, was typischerweise 0,1 % pro Gewicht entspricht, z. B. für HCl in Wasser.

Die Messung wird nicht durch Partikel, Blasen, turbulente Strömungen oder Verunreinigungen im ppm-Bereich beeinflusst.
Einfache Wartung
Patentiertes Design der optischen Elemente im Inneren.
Keine Abweichungen. Keine Neukalibrierung. Keine mechanischen Justierungen.